技术特征：
技术总结
本发明提供基板处理装置和基板处理方法，能够按照每种处理液实现分离回收。基板处理装置将多种处理液依次供给来处理基板，具有：保持着基板(12)旋转的基板旋转构件；向通过基板旋转构件旋转的基板供给处理液的喷嘴；设在基板周围而接收从基板飞散的处理液的杯体(51)；与杯体接收的处理液的种类对应地供来自杯体的处理液流过的各种回收配管(55)；转动构件，其使杯体水平转动而将杯体切换到与处理液的种类相对应的回收配管所位于的方向；以及升降构件，其使杯体沿上下方向升降而切换为如下的高度位置：通过转动构件使杯体和与处理液的种类对应的回收配管相连通的第1高度位置；和使杯体接收的处理液流到废液路径(61)中的第2高度位置。
技术研发人员：古矢正明;山崎克弘;森秀树;林航之介
受保护的技术使用者：芝浦机械电子装置股份有限公司
技术研发日：2018.09.26
技术公布日：2019.04.02