技术特征：
技术总结
本发明属于真空反应设备技术领域，具体涉及一种用于真空反应设备的破真空装置，所述装置包括第一端面和第二端面，所述第一端面和所述第二端面上均设有若干气孔，所述第一端面上的气孔和所述第二端面上的气孔均相通，破真空时，所述装置在真空反应设备腔体内，所述第一端面与所述进气孔所在面相连，所述第一端面上的气孔与所述进气孔相通，所述第二端面上的气孔总面积大于所述第一端面上的气孔总面积。本装置可以有效缩短破真空的时间，提高产品制造效率。
技术研发人员：刘京京;林大野;何进;李春来;胡国庆
受保护的技术使用者：深港产学研基地;北京大学深圳研究院
技术研发日：2018.12.19
技术公布日：2019.04.26