一种微型发光二极管转移系统的制作方法

文档序号:16558120发布日期:2019-01-08 21:48阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种微型发光二极管转移系统,包括计算机系统(101)、静电控制系统(102)、量测系统(103)、运动控制系统(104)、运动控制部件Ⅰ(105)、运动控制部件Ⅱ(106)、光学定位部件(107)、抓取部件(108)、转移基板(109)、转移头阵列(110)、载盘(111)、回收部件(112)、载台(113)、微型发光二极管(114)、承载基板(115);其特征在于:抓取部件(108)与转移基板(109)连接,用于抓取转移基板(109),并将所述转移基板(109)作为转移头,所述转移基板(109)用于抓取微型发光二极管(114),量测系统(103)通过抓取部件(108)与转移基板(109)上的集成电路连接,所述量测系统(103)对抓取到转移基板(109)上的微型发光二极管(114)进行测试,所述量测系统(103)与计算机系统(101)连接,静电控制系统(102)上具有微型开关阵列,静电控制系统(102)与计算机系统(101)连接,静电控制系统(102)通过抓取部件(108)与转移基板(109)上的集成电路连接,运动控制系统(104)与运动控制部件Ⅰ(105)连接,运动控制部件Ⅰ(105)与运动控制部件Ⅱ(106)连接,运动控制系统(104)通过运动控制部件Ⅰ(105)和运动控制部件Ⅱ(106)来控制抓取部件(108)移动,运动控制系统(104)与计算机系统(101)连接,运动控制部件Ⅱ(106)与抓取部件(108)连接,抓取部件(108)上设有光学定位部件(107),光学定位部件(107)具有识别对位功能用于检测抓取部件(108)的运动轨迹,并将检测的结果反馈给计算机系统(101),转移基板(109)下方放置有载盘(111),载盘(111)上放置有承载基板(115),载盘(111)放置于载台(113)上。

2.根据权利要求1所述的一种微型发光二极管转移系统,其特征在于:所述载台(113)上放置有回收部件(112)。

3.根据权利要求1所述的一种微型发光二极管转移系统,其特征在于:所述转移基板(109)可以采用TFT驱动背板或硅基CMOS驱动背板。

4.根据权利要求1所述的一种微型发光二极管转移系统,其特征在于:所述承载基板(115)选择的材质可为玻璃、硅、聚碳酸酯或其任意组合。

5.根据权利要求1所述的一种微型发光二极管转移系统,其特征在于:所述转移基板(109)靠近微型发光二极管(114)进行抓取时,两者的距离控制在2~10μm。

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