用于228.5nm波长深紫外全固态激光装置的输出镜光学膜的制作方法

本实用新型涉及全固态激光装置技术领域，具体为用于228.5nm波长深紫外全固态激光装置的输出镜光学膜。

背景技术：

全固态激光器是指以半导体激光器作为泵浦源的固体激光器，相对于只要求工作物质为固体激光材料的传统固体激光器，DPL的激光工作物质、激励源等部分均由固体物质构成，它集中了传统固体激光器和半导体激光器的优势于一身，具有体积小、重量轻、效率高、性能稳定、可靠性好、寿命长、易操作、运转灵便、易智能化、无污染等优点，成为目前最具潜力的新一代激光源之一。

在全固态激光装置工作过程中，当激光器的输出功率达到数千瓦以上时，激光输出镜出现明显的损伤或损坏现象，随着功率的增大，输出镜使用寿命大大缩短，对激光输出造成较为严重的影响，一定程度上降低工作效率。

技术实现要素：

本实用新型的目的在于提供用于228.5nm波长深紫外全固态激光装置的输出镜光学膜，以解决上述背景技术中提出的输出镜较易损坏及工作效率相对低下的问题。

为解决上述技术问题，本实用新型提供如下技术方案：用于228.5nm波长深紫外全固态激光装置的输出镜光学膜，包括输出镜密封壳和密封圆板，所述输出镜密封壳的一侧固定安装有密封板，所述密封板的内部开设有安装孔，所述密封板嵌入安装在密封圆板的外缘，所述密封圆板的内部固定安装有输出镜主体，所述密封板的一侧设置有喷吹器，所述喷吹器的两侧均开设有缓存腔。

优选的，所述输出镜主体的两侧均安装有光学膜片，且输出镜主体设置有不少于四个，两个所述输出镜主体中部组成一个空腔，且输出镜主体、喷吹器和缓存腔之间连通。

优选的，所述密封圆板呈两端密封中部开孔型。

优选的，所述输出镜主体输出波长为228.5nm波长。

优选的，所述输出镜密封壳的内壁安装有滑块。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

1.本实用新型，通过输出镜密封壳进行外部防撞保护，同时起到稳定支撑的作用，密封板的设置，便于锁紧稳定，防止出现在真空密封过程中，内部元件因内外压强相差而发生损坏的问题，密封圆板进行内部密闭保护输出镜主体，当真空抽取完成后，输入氮气，由于氮的化学惰性，用作保护气体，具有较高的安全性，解决了元件较易损坏问题。

2.通过设置喷吹器，输出镜主体、喷吹器和缓存腔之间连通，便于氮气流通，全方位保护输出镜主体，喷吹器的两侧均开设有缓存腔，喷吹的同时加强其内部氮气流通性，扇热效果显著，零件损坏率降低，减少了更换频率，一定程度上提高了工作效率，有效的解决了工作效率较低下的技术问题。

附图说明

图1为本实用新型实施例的结构示意图；

图2为本实用新型实施例的主视图；

图3为本实用新型实施例的剖视图。

图中：1、输出镜密封壳；2、安装孔；3、密封板；4、密封圆板；5、输出镜主体；6、喷吹器；7、缓存腔；8、光学膜片。

具体实施方式

为了减少输出镜较易损坏的现象及提高工作效率，本实用新型实施例提供了用于228.5nm波长深紫外全固态激光装置的输出镜光学膜。下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

实施例1

请参阅图1-2，本实施例提供了用于228.5nm波长深紫外全固态激光装置的输出镜光学膜，包括输出镜密封壳1和密封圆板4，输出镜密封壳1的一侧固定安装有密封板3，密封板3的内部开设有安装孔2，密封板3嵌入安装在密封圆板4的外缘，所述密封圆板4的内部固定安装有输出镜主体5，输出镜主体5的两侧均安装有光学膜片8，且输出镜主体5设置有不少于四个，两个输出镜主体5中部组成一个空腔，且输出镜主体5、喷吹器6和缓存腔7之间连通，密封板3的一侧设置有喷吹器6，喷吹器6的两侧均开设有缓存腔7。

本实施例中，输出镜密封壳1进行外部防撞保护，同时起到稳定支撑的作用，密封板3的设置，便于锁紧稳定，防止出现在真空密封过程中，内部元件因内外压强相差而发生损坏的问题，密封圆板4进行内部密闭保护输出镜主体5，当真空抽取完成后，输入氮气，由于氮的化学惰性，用作保护气体，具有较高的安全性，光学膜片8的安装，具有外部防护的作用，且输出镜主体5设置有不少于四个，便于扩展输送距离，防止间距过薄，造成元件损坏的问题，两个输出镜主体5中部组成一个空腔，便于高效散热，一定程度上增强了输出镜主体5抗热能力，且输出镜主体5、喷吹器6和缓存腔7之间连通，便于氮气流通，全方位保护输出镜主体5，喷吹器6的两侧均开设有缓存腔7，喷吹的同时加强其内部氮气流通性，扇热效果显著，零件损坏率降低，减少了更换频率，一定程度上提高了工作效率。

实施例2

请参阅图1-2，在实施例1的基础上做了进一步改进：密封圆板4呈两端密封中部开孔型，两端密闭保护，中部氮气流通，起到良好的散热保护，输出镜密封壳1的内壁安装有滑块，滑动连接，安装便捷，卡紧稳定。

其中，输出镜主体5输出波长为228.5nm波长，便于指定工作适用，提高了工作精密性。

本实用的描述中，需要说明的是，术语“竖直”、“上”、“下”、“水平”等指示的方位或者位置关系为基于附图所示的方位或者位置关系，仅是为了便于描述本实用和简化描述，而不是指示或者暗示所指的装置或者元件必须具有特定的方位，以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用的限制。

本实用的描述中，还需要说明的是，除非另有明确的规定和限制，术语“设置”、“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接，可以是机械连接，也可以是电连接，可以是直接连接，也可以是通过中间媒介相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用中的具体含义。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。