一种兆声清洗中晶圆转速检测装置的制作方法

本实用新型是一种兆声清洗中晶圆转速检测装置，属于半导体加工技术领域。

背景技术：

在单片型湿法刻蚀设备上晶圆是在卡盘上进行湿法刻蚀，每一片晶圆放置于卡盘之后，系统会自动侦测晶圆是否在卡盘上，之后才会进行下一步的湿法刻蚀工艺。

现有技术公开了申请号为：201721722807.1的一种晶圆检测装置，包括：卡盘，所述卡盘设置于所述晶圆下部支撑外环和支撑内环，所述支撑外环和所述支撑内环同心设置且设置于所述卡盘下部，所述支撑外环与所述支撑内环之间通过沿所述支撑外环径向设置的连接杆相连；但是该现有技术在进行晶圆加工时，需长时间供电，当出现外接电源过大时，会提高设备对晶圆的加工强度，从而使晶圆受损。

技术实现要素：

针对现有技术存在的不足，本实用新型目的是提供一种兆声清洗中晶圆转速检测装置，以解决的现有技术在进行晶圆加工时，需长时间供电，当出现外接电源过大时，会提高设备对晶圆的加工强度，从而使晶圆受损的问题。

为了实现上述目的，本实用新型是通过如下的技术方案来实现：一种兆声清洗中晶圆转速检测装置，其结构包括控制面板、启动按钮、设备主体、固定板、控制柜、端盖、报警灯、连接杆、滚筒、转盘、操作台、断路保护装置、液晶显示器、控制按钮，所述启动按钮与控制按钮在同一平面上，所述控制面板嵌入安装于设备主体的内部，所述端盖的下表面与设备主体的上表面相贴合，所述连接杆嵌入安装于报警灯的末端，所述控制柜的上方设有连接杆，所述固定板的侧面设有滚筒，所述转盘嵌入安装于操作台的内部，所述断路保护装置嵌入安装于控制面板的内部，所述液晶显示器与控制按钮在同一平面上，所述断路保护装置包括小马达、锥形齿轮、第一齿轮、筒形凸轮、连杆、装置保护壳、齿壁推杆、滑槽、第二齿轮、动触点、静触点、从动轮、传送带、主动轮、控制芯片，所述装置保护壳的内部设有小马达，所述锥形齿轮与第一齿轮相啮合，所述筒形凸轮的上方设有从动轮，所述装置保护壳的内部设有连杆，所述齿壁推杆嵌入安装于滑槽上，所述第二齿轮与齿壁推杆相啮合，所述动触点的上表面与静触点的下表面相贴合，所述传送带的内表面与主动轮的外表面相贴合，所述装置保护壳的内部设有控制芯片。

进一步地，所述启动按钮嵌入安装于控制面板的内部，所述控制柜的下表面与设备主体的上表面相焊接。

进一步地，所述固定板的下表面与设备主体的上表面相焊接，所述液晶显示器嵌入安装于控制面板的内部。

进一步地，所述装置保护壳嵌入安装于控制面板的内部，所述设备主体的内部设有小马达。

进一步地，所述报警灯为圆柱体结构，所述断路保护装置为长方体结构。

进一步地，所述液晶显示器为LM130551T61型号，显示质量高，少量的电磁辐射，体积小，重量轻，画面效果好。

进一步地，所述小马达为ZYT型号，功耗小，工作效率高，所述控制芯片为TX2/RX2型号，静态功耗小，外围元件少，工作稳定可靠。

有益效果

本实用新型一种兆声清洗中晶圆转速检测装置，结构上设有断路保护装置，将晶圆放置在转盘上，将端盖盖上，按下启动按钮，进行金圆加工，当设备长时间工作后，控制芯片检测到设备当前的电压大于额定电压时，小马达得电工作，带动锥形齿轮转动，使与锥形齿轮啮合的第一齿轮旋转，同时让主动轮与第一齿轮同步工作，再通过传送带让主动轮与从动轮产生联动作用，同时让从动轮与筒形凸轮同步动作，从而带动连杆上移，让第二齿轮转动，带动齿壁推杆在滑槽上向下移动，断开动触点与静触点，停止设备工作，从而预防晶圆损坏。

附图说明

通过阅读参照以下附图对非限制性实施例所作的详细描述，本实用新型的其它特征、目的和优点将会变得更明显：

图1为本实用新型一种兆声清洗中晶圆转速检测装置的结构示意图；

图2为本实用新型一种断路保护装置正视剖面的结构示意图。

图中：控制面板-1、启动按钮-2、设备主体-3、固定板-4、控制柜-5、端盖-6、报警灯-7、连接杆-8、滚筒-9、转盘-10、操作台-11、断路保护装置-12、液晶显示器-13、控制按钮-14、小马达-1201、锥形齿轮-1202、第一齿轮-1203、筒形凸轮-1204、连杆-1205、装置保护壳-1206、齿壁推杆-1207、滑槽-1208、第二齿轮-1209、动触点-1210、静触点-1211、从动轮-1212、传送带-1213、主动轮-1214、控制芯片-1215。

具体实施方式

为使本实用新型实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体实施方式，进一步阐述本实用新型。

请参阅图1、图2，本实用新型提供一种兆声清洗中晶圆转速检测装置技术方案：其结构包括控制面板1、启动按钮2、设备主体3、固定板4、控制柜5、端盖6、报警灯7、连接杆8、滚筒9、转盘10、操作台11、断路保护装置12、液晶显示器13、控制按钮14，所述启动按钮2与控制按钮14在同一平面上，所述控制面板1嵌入安装于设备主体3的内部，所述端盖6的下表面与设备主体3的上表面相贴合，所述连接杆8嵌入安装于报警灯7的末端，所述控制柜5的上方设有连接杆8，所述固定板4的侧面设有滚筒9，所述转盘10嵌入安装于操作台11的内部，所述断路保护装置12嵌入安装于控制面板1的内部，所述液晶显示器13与控制按钮14在同一平面上，所述断路保护装置12包括小马达1201、锥形齿轮1202、第一齿轮1203、筒形凸轮1204、连杆1205、装置保护壳1206、齿壁推杆1207、滑槽1208、第二齿轮1209、动触点1210、静触点1211、从动轮1212、传送带1213、主动轮1214、控制芯片1215，所述装置保护壳1206的内部设有小马达1201，所述锥形齿轮1202与第一齿轮1203相啮合，所述筒形凸轮1204的上方设有从动轮1212，所述装置保护壳1206的内部设有连杆1205，所述齿壁推杆1207嵌入安装于滑槽1208上，所述第二齿轮1209与齿壁推杆1207相啮合，所述动触点1210的上表面与静触点1211的下表面相贴合，所述传送带1213的内表面与主动轮1214的外表面相贴合，所述装置保护壳1206的内部设有控制芯片1215，所述启动按钮2嵌入安装于控制面板1的内部，所述控制柜5的下表面与设备主体3的上表面相焊接，所述固定板4的下表面与设备主体3的上表面相焊接，所述液晶显示器13嵌入安装于控制面板1的内部，所述装置保护壳1206嵌入安装于控制面板1的内部，所述设备主体3的内部设有小马达1201，所述报警灯7为圆柱体结构，所述断路保护装置12为长方体结构，所述液晶显示器13为LM130551T61型号，显示质量高，少量的电磁辐射，体积小，重量轻，画面效果好，所述小马达1201为ZYT型号，功耗小，工作效率高，所述控制芯片1215为TX2/RX2型号，静态功耗小，外围元件少，工作稳定可靠。

本专利所说的锥形齿轮1202是指轮缘上有齿轮连续啮合传递运动和动力的机械元件，所述从动轮1212是一个周边有槽，能够绕轴转动的小轮。

例如：凌师傅将晶圆放置在转盘10上，将端盖6盖上，按下启动按钮2，进行金圆加工，当设备长时间工作后，控制芯片1215检测到设备当前的电压大于额定电压时，小马达1201得电工作，带动锥形齿轮1202转动，使与锥形齿轮1202啮合的第一齿轮1203旋转，同时让主动轮1214与第一齿轮1203同步工作，再通过传送带1213让主动轮1214与从动轮1212产生联动作用，同时让从动轮1212与筒形凸轮1204同步动作，从而带动连杆1205上移，让第二齿轮1209转动，带动齿壁推杆1207在滑槽1208上向下移动，断开动触点1210与静触点1211，停止设备工作。

本实用新型解决现有技术在进行晶圆加工时，需长时间供电，当出现外接电源过大时，会提高设备对晶圆的加工强度，从而使晶圆受损的问题，本实用新型通过上述部件的互相组合，结构上设有断路保护装置，将晶圆放置在转盘上，将端盖盖上，按下启动按钮，进行金圆加工，当设备长时间工作后，控制芯片检测到设备当前的电压大于额定电压时，小马达得电工作，带动锥形齿轮转动，使与锥形齿轮啮合的第一齿轮旋转，同时让主动轮与第一齿轮同步工作，再通过传送带让主动轮与从动轮产生联动作用，同时让从动轮与筒形凸轮同步动作，从而带动连杆上移，让第二齿轮转动，带动齿壁推杆在滑槽上向下移动，断开动触点与静触点，停止设备工作，从而预防晶圆损坏。

以上显示和描述了本实用新型的基本原理和主要特征和本实用新型的优点,对于本领域技术人员而言，显然本实用新型不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本实用新型的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本实用新型。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本实用新型的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本实用新型内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。

此外，应当理解，虽然本说明书按照实施方式加以描述，但并非每个实施方式仅包含一个独立的技术方案，说明书的这种叙述方式仅仅是为清楚起见，本领域技术人员应当将说明书作为一个整体，各实施例中的技术方案也可以经适当组合，形成本领域技术人员可以理解的其他实施方式。