一种基片定位装置的制作方法

本实用新型涉及基片加工领域，尤其涉及一种基片定位装置。

背景技术：

在半导体和太阳能等领域的生产设备中，越来越多采用自动化的方式进行基片的传送和装卸载，自动化装置准确、高效，可以完成一些复杂动作和一些重复性的工作，对解放人力、提高效率、降低成本，都有积极的作用，应用也越来越广泛。

在自动化传送基片的过程中，经常会出现如下场景：基片传送到达指定位置后，需要设计定位机构对基片进行定位，完成定位后，以便于为下一步的抓取、翻转、ID读取、碎片检测等动作做好准备，此类定位机构应用较为普遍。

目前定位机构一般包括基片的支撑件，驱动气缸，驱动气缸所推动的推杆，用于推动和定位基片；定位柱作为基片定位的一个基准；具体地，基片放置到支撑件上之后，气缸带动推杆推动基片，将其往右侧推动到和定位柱紧密接触，从而实现基片的准确定位，为下一步的其它动作做好准备。

对常规应用或精度要求不高的应用而言，此类机构是简便和有效的，但是对于基片之间尺寸存在变化的要求高精度定位的应用，此类机构无法完成准确定位的目的。对于尺寸恰好匹配的基片，如上述描述的过程，该机构可以实现基片的准确定位。但是对于尺寸偏小的基片，此机构偏松，无法完成准确定位的目的；对于尺寸偏大的基片，该机构又偏紧，会造成基片的挤压变形甚至破碎，无法完成定位任务。

技术实现要素：

本实用新型的目的是提供一种基片定位装置，以解决现有技术中的问题，对基片实现准确、合适的定位。

一方面，本实用新型提供一种基片定位装置，所述基片定位装置包括支撑平台和设置在所述支撑平台上的多组定位夹持组件，所述定位夹持组件用于夹持设置在所述支撑平台上的基片；

所述定位夹持组件包括驱动机构和夹持机构，所述驱动机构包括驱动轴和弹性缓冲件，所述弹性缓冲件套设在所述驱动轴的一端，或所述驱动轴是具有轴线方向弹性伸缩的结构；所述夹持机构固定的设置在驱动轴上。

可选择地，所述驱动机构包括固定设置在支撑平台上的驱动气缸。

可选择地，所述弹性缓冲件为弹簧。

可选择地，所述夹持机构包括两根传动杆、两根推杆和转接连杆，所述转接连杆套设在所述弹性缓冲件和驱动机构之间，所述转接连杆的两端分别设置了传动杆，所述传动杆远离转接连杆的一侧还设置了推杆。

可选择地，所述驱动轴还包括穿过所述转接连杆设置的连接螺杆，所述连接螺杆的端部设置有挡块，所述弹簧套设在所述挡块与所述转接连杆之间的所述连接螺杆上，所述挡块的外径大于等于弹簧的外径。

可选择地，所述基片定位装置还包括固定设置的导向基座，所述传动杆活动的穿设在所述导向基座内。

可选择地，所述基片定位装置还包括直线轴承，所述传动杆穿过所述直线轴承设置。

可选择地，所述支撑平台上设置有通槽，所述推杆活动的设置所述通槽中，所述推杆的底部与穿设在导向基座内的传动杆连接。

另一方面，本实用新型提供一种基片定位装置，所述基片定位装置包括支撑平台和设置在所述支撑平台上的多组定位夹持组件，所述定位夹持组件用于夹持设置在所述支撑平台上的基片；

所述定位夹持组件包括驱动机构、驱动轴、弹性缓冲件和夹持机构，所述驱动轴穿过所述驱动结构，所述夹持机构设置在所述驱动轴的第一端，所述驱动轴上远离夹持机构的第二端还设置了弹性缓冲件。

另一方面，本实用新型提供一种基片定位装置，所述基片定位装置包括支撑平台和设置在所述支撑平台上的多组定位夹持组件，所述定位夹持组件用于夹持设置在所述支撑平台上的基片；

所述定位夹持组件包括驱动机构、驱动轴、弹性缓冲件和夹持机构，所述驱动机构与驱动轴连接，所述驱动轴远离驱动机构的一侧还设置了夹持组件，所述夹持组件和驱动轴之间还设置了弹性缓冲件。

本实用新型提供的基片定位装置，通过在基片周侧设置多组定位夹持组件，每组定位夹持组件包括：驱动机构、弹性缓冲件、夹持机构，或者驱动轴是具有轴线方向弹性伸缩的结构，通过弹性缓冲件或者本身弹性伸缩的驱动轴，可使得驱动机构的作用力得以缓冲，从而使得夹持机构对基片实现夹紧定位的同时，又不易损坏基片；本实用新型结构简单，成本较低，且可适用于大小各种基片，实用性较强。

附图说明

图1为本实用新型实施例提供的基片定位装置的结构示意图；

图2为本实用新型又一实施例提供的定位夹持组件的正视图；

图3为本实用新型又一实施例提供的定位夹持组件的俯视图；

附图标记说明：

1-基片，2-支撑平台，3-定位夹持组件，4-驱动机构，41-驱动气缸，42-驱动轴，5-弹性缓冲件，51-挡块，52-连接螺杆，6-夹持机构，61-传动杆，62-推杆，63-转接连杆，7-导向基座，71-直线轴承。

具体实施方式

下面详细描述本实用新型的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，仅用于解释本实用新型，而不能解释为对本实用新型的限制。

如图1-3所示，本实用新型实施例提供一种基片定位装置，所述基片定位装置包括支撑平台2和设置在所述支撑平台2上的多组定位夹持组件3，所述定位夹持组件3用于夹持设置在所述支撑平台2上的基片1。其中，基片1放置在支撑平台2上，支撑平台2可对基片1进行支撑。

所述定位夹持组件3包括驱动机构4和夹持机构6。所述驱动机构4包括缸体和驱动轴42。在一个例子中，该缸体为气缸或液压缸。所述驱动轴设置在缸体内。

所述驱动机构4还包括弹性缓冲件5，所述弹性缓冲件5套设在所述驱动轴42的一端，或所述驱动轴42是具有轴线方向弹性伸缩的结构。在本申请的具体实施例中，弹性缓冲件5的实现方式有多种，如弹簧、气压缸、液压缸、橡胶等，均能实现缓冲的作用。在本申请的具体实现方式中，已弹簧为例进行具体说明。

所述夹持机构6固定的设置在驱动轴42上。

本实用新型一个实施例中，驱动机构4与驱动轴42连接，用于驱动所述驱动轴42运动，驱动机构4通过驱动轴42与弹性缓冲件5、夹持机构6依次接触，驱动机构4通过弹性缓冲件5向夹持机构6施力，使得夹持机构6对所述基片1进行夹持定位。

需要说明的是，本申请的具体实施例分别包括驱动轴42和弹性缓冲件5仅为本申请的一种具体实现方式。在本申请的具体实施例中，所述驱动轴42和弹性缓冲件5也作为一个整体存在。例如，所述驱动轴是具有弹性伸缩能力的轴，即不设置弹性缓冲件5，即驱动轴42本身可实现弹性伸缩，也可缓冲驱动机构4向夹持机构6施的力，使得夹持机构6对所述基片1进行夹持定位。

弹性缓冲件5或者弹性伸缩的驱动轴42本身可使得驱动机构4的作用力得以缓冲，使得驱动轴42运动趋势及受到的作用力均变缓，从而使得加载在基片1上的力也同样变缓，实现二者的“软接触”，保证在夹紧基片1的同时，不损坏基片1；本实用新型结构简单，成本较低，且可适用于大小各种基片1，实用性较强。

本实施例中，可选择地，所述驱动机构4包括固定设置在支撑平台2上的驱动气缸41。可选择地，所述弹性缓冲件5为弹簧，所述弹簧可以套装在所述驱动气缸41的驱动轴42上。

可选择地，所述夹持机构6包括两根传动杆61、两根推杆62和转接连杆63，所述转接连杆63套设在所述弹性缓冲件5和驱动机构4之间，所述转接连杆63的两端分别设置了传动杆61，所述传动杆61远离转接连杆63的一侧还设置了推杆62。

其中，本实施例中，两根传动杆61平行设置，且两根传动杆61之间通过转接连杆63连接，传动杆61与驱动气缸41位于转接连杆63的同侧，驱动气缸41的驱动轴42穿过转接连杆63并伸至转接连杆63的另一侧，弹簧套设在驱动轴42上，且弹簧与驱动气缸41分别位于转接连杆63的相对两侧；驱动气缸41通过驱动轴42向传动杆61施力，套设在驱动轴42上的弹簧可对传动杆61受力产生缓冲，使得传动杆61运动趋势及受到的作用力均变缓，从而使得加载在基片1上的力也同样变缓，实现二者的“软接触”，保证在夹紧基片1的同时，不损坏基片1。

可选择地，所述驱动轴42还包括穿过所述转接连杆63设置的连接螺杆52，所述连接螺杆52的端部设置有挡块51，所述弹簧套设在所述挡块51与所述转接连杆63之间的所述连接螺杆52上，所述挡块51的外径大于等于弹簧的外径。

其中，驱动轴42的端部连接有连接螺杆52，连接螺杆52穿过转接连杆63并伸至所述转接连杆63的另一侧，弹簧套设在连接螺杆52上。可选择地，连接螺杆52的端部设置有挡块51，挡块51的外径大于所述弹簧的外径，所述弹簧设置在所述挡块51与所述转接连杆63之间的所述连接螺杆52上。

需要说明的是，挡块51也可以采用其他方式实现，例如螺栓头等结构，只要能够对弹簧形成限位即可。

可选择地，所述基片定位装置还包括固定设置的导向基座7，所述传动杆61活动的穿设在所述导向基座7内。可选择地，所述基片定位装置还包括直线轴承71，所述直线轴承71设置在所述传动杆61与所述导向基座7之间，所述传动杆61穿过所述直线轴承71设置。

其中，本实施例中，通过设置转接连杆63、连接螺杆52以及挡块51，可使得推杆62与基片1释放时，采用“硬脱离”的方式，压紧时，考虑到基片1尺寸的变化，因此采用“软压紧”的方式。

另一方面，本实用新型另一个实施例提供一种基片定位装置，所述基片定位装置包括支撑平台2和设置在所述支撑平台2上的多组定位夹持组件3，所述定位夹持组件3用于夹持设置在所述支撑平台2上的基片1；

所述定位夹持组件3包括驱动机构4、驱动轴42、弹性缓冲件5和夹持机构6，所述驱动轴42穿过所述驱动结构4，所述夹持机构6设置在所述驱动轴42的第一端，所述驱动轴42上远离夹持机构6的第二端还设置了弹性缓冲件5。

其中，驱动轴42两端都穿过驱动机构4，其两端位于驱动机构4的两侧，弹性缓冲件5设置在驱动轴42一端，夹持机构6设置在驱动轴42另一端，通过弹性缓冲件5，可使得驱动机构4的作用力得以缓冲，从而使得夹持机构6对基片1实现夹紧定位的同时，又不易损坏基片1。

另一方面，本实用新型另一个实施例提供一种基片定位装置，所述基片定位装置包括支撑平台2和设置在所述支撑平台2上的多组定位夹持组件3，所述定位夹持组件3用于夹持设置在所述支撑平台2上的基片1；

所述定位夹持组件3包括驱动机构4、驱动轴42、弹性缓冲件5和夹持机构6，所述驱动机构4与驱动轴42连接，所述驱动轴42远离驱动机构4的一侧还设置了夹持组件6，所述夹持组件6和驱动轴42之间还设置了弹性缓冲件5。

其中，驱动轴42一端穿过驱动机构4，驱动轴42和夹持机构6通过弹性缓冲件5连接，同样道理，通过弹性缓冲件5，可使得驱动机构4的作用力得以缓冲，从而使得夹持机构6对基片1实现夹紧定位的同时，又不易损坏基片1。

具体地，当驱动气缸41往外推至最大行程处的过程中，驱动轴42往外移动并直接推动转接连杆63，转接连杆63通过螺钉与两根传动杆61的端部相连接，传动杆61与导向基座7之间，通过直线轴承71进行导向和润滑，因此在驱动气缸41的驱动轴42的驱动下，带动转接连杆63、传动杆61、及推杆62向远离基片1的一侧移动，从而实现推杆62对基片1的释放，该过程无缓冲，即实现“硬脱离”的方式，确保与基片1的脱离；

当驱动气缸41往内缩至最小行程的过程时，驱动轴42往内侧移动，带动连接螺杆52往内侧移动，连接螺杆52依次推动挡块51、弹簧进入压缩状态，压缩后的弹簧的弹力，推动转接连杆63往内侧移动，进而推动传动杆61、及推杆62向内侧移动，实现推杆62对基片1的推动和定位；且该推杆62的推力来源，是弹簧压缩后的弹力，弹簧自身具有一定的弹性调整量，所以即使面对不同大小的基片1，弹簧会根据不同的工况，自动调整弹簧的压缩量，以确保始终有弹簧力将基片1压紧、实现准确定位，同时，又不会压坏基片1；且弹簧力是一个渐进的力，降低了因为推力太大或推动太快，造成的力学冲击及碎片的风险；根据不同的基片1材质、硬度、强度，以及定位精度的要求，可以选用不同的弹簧的弹力系数和压缩量，以满足不同工况的不同要求。

另外，本实施例提供了一个驱动方式，一个驱动气缸41通过转接连杆63同时带动两个或多个传动杆61、多个推杆62，对基片1进行准确定位，即使基片1尺寸较大时，也能使用较少的驱动气缸41来推动多个推杆62实现定位的目标；且避免了多个推杆62分别驱动时，各个推杆62之间，存在动作不同步、损坏基片1的风险。

可选择地，所述基片1周侧的支撑平台2上设置有通槽，所述推杆62活动的设置所述通槽中，所述导向基座7固定在所述支撑平台2底部，所述推杆62的底部与穿设在导向基座7内的传动杆61连接。

其中，实际操作时，基片1可放置在支撑平台2上，便于加工；而且，方便各个部件与其连接安装；通槽在横向方向具有一定空间，便于推杆62在通槽内横向活动，实现不同大小基片1的松开或夹紧。

以上依据图式所示的实施例详细说明了本实用新型的构造、特征及作用效果，以上所述仅为本实用新型的较佳实施例，但本实用新型不以图面所示限定实施范围，凡是依照本实用新型的构想所作的改变，或修改为等同变化的等效实施例，仍未超出说明书与图示所涵盖的精神时，均应在本实用新型的保护范围内。