内窥镜用摄像装置和内窥镜的制作方法

本发明涉及具备包括树脂透镜的光学部的内窥镜用摄像装置、以及具有具备包括树脂透镜的光学部的内窥镜用摄像装置的内窥镜。

背景技术：

为了实现内窥镜用摄像装置的低侵袭化，使其小型是重要的。

作为高效地制造小型的摄像装置的方法，具有将接合分别包括多个光学元件的多个元件晶片而成的接合晶片切断的晶片级的制作方法。

在日本特开2012-18993号公报中公开了一种由晶片级层叠体构成的摄像模块。该摄像模块通过将包括多个光学元件的光学晶片和包括多个摄像元件的摄像晶片接合之后进行切断而形成单片来制作。

在日本特开2015-38538号公报中，公开了一种在平行平板玻璃板上配设有由树脂构成的透镜的所谓的混合透镜元件。

通过使用晶片级法来制作包括多个混合透镜元件的光学部，能够高效地制造小型的摄像装置。

但是，混合透镜元件的树脂透镜与玻璃透镜相比，透湿性较高。内窥镜在高湿环境中使用，或者进行高压釜处理(高温高压蒸气处理)。因此，在将包括混合透镜元件的摄像装置用于内窥镜时，由于树脂透镜吸湿，因此，形状发生变化或者起雾，光学特性可能发生劣化。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2012-18993号公报

专利文献2：日本特开2015-38538号公报

技术实现要素：

发明要解决的问题

本发明的实施方式的目的在于，提供一种耐湿性优异的小型的内窥镜用摄像装置、以及耐湿性优异的低侵袭的内窥镜。

用于解决问题的手段

本发明的实施方式的内窥镜用摄像装置具备：作为混合透镜元件的光学部，其接合有多个光学元件，所述多个光学元件中的至少任意一个光学元件在平行平板玻璃板的主面配设有树脂透镜；以及摄像部，其接收由所述光学部聚光得到的被摄体像，所述树脂透镜的表面及所述树脂透镜的周围的所述主面被透明无机膜覆盖。

另一实施方式的内窥镜包括内窥镜用摄像装置，内窥镜用摄像装置具备：作为混合透镜元件的光学部，其接合有多个光学元件，所述多个光学元件中的至少任意一个光学元件在平行平板玻璃板的主面配设有树脂透镜；以及摄像部，其接收由所述光学部聚光得到的被摄体像，所述树脂透镜的表面及所述树脂透镜的周围的所述主面被透明无机膜覆盖。

发明的效果

根据本发明的实施方式，能够提供耐湿性优异的小型的内窥镜用摄像装置、以及耐湿性优异的低侵袭的内窥镜。

附图说明

图1是包括实施方式的内窥镜的内窥镜系统的立体图。

图2是实施方式的内窥镜用摄像装置的立体图。

图3是实施方式的内窥镜用摄像装置的沿着图2的iii-iii线剖切的剖视图。

图4是实施方式的内窥镜用摄像装置的光学元件的分解图。

图5是用于说明实施方式的内窥镜用摄像装置的制造方法的流程图。

图6是用于说明实施方式的内窥镜用摄像装置的制造方法的光学元件晶片的剖视图。

图7是用于说明实施方式的内窥镜用摄像装置的制造方法的光学元件晶片的剖视图。

图8是用于说明实施方式的内窥镜用摄像装置的制造方法的光学元件晶片的剖视图。

图9是用于说明实施方式的内窥镜用摄像装置的制造方法的光学元件晶片的剖视图。

图10是用于说明实施方式的内窥镜用摄像装置的制造方法的接合晶片的剖面分解图。

图11是用于说明实施方式的内窥镜用摄像装置的制造方法的接合晶片的剖视图。

图12是用于说明实施方式的内窥镜用摄像装置的制造方法的接合晶片的剖视图。

图13是实施方式的变形例1的内窥镜用摄像装置的剖视图。

图14是实施方式的变形例2的内窥镜用摄像装置的剖视图。

图15是实施方式的变形例3的内窥镜用摄像装置的凹透镜光学元件的俯视图。

图16是实施方式的变形例4的内窥镜用摄像装置的凹透镜光学元件的俯视图。

具体实施方式

＜实施方式＞

如图1所示，包括实施方式的内窥镜9的内窥镜系统8具备内窥镜9、处理器80、光源装置81、以及监视器82。内窥镜9的插入部90向被检体的体腔内插入，内窥镜9拍摄被检体的体内图像并输出摄像信号。

在内窥镜9的插入部90的基端部配设有操作部91，该操作部91设置有用于操作内窥镜9的各种按钮类。插入部90包括配设有内窥镜用摄像装置1(以下称为“摄像装置1”。)的硬性前端部90a、与硬性前端部90a的基端部连接设置的弯曲自如的弯曲部90b、以及与弯曲部90b的基端部连接设置的软性部90c。弯曲部90b通过操作部91的操作而弯曲。

从操作部91延伸的通用缆线92经由连接器93而与处理器80及光源装置81连接。传递摄像装置1输出的电信号的信号缆线94贯穿插入插入部90、操作部91及通用缆线92。

处理器80控制内窥镜系统8的整体，并且，对摄像装置1输出的摄像信号进行信号处理并作为图像信号而输出。监视器82显示处理器80输出的图像信号。

光源装置81例如具有白色led。光源装置81出射的照明光经由贯穿插入通用缆线92及插入部90的光导(未图示)而引导至硬性前端部90a，对被摄体进行照明。

如后所述，内窥镜9的摄像装置1小型且耐湿性优异，因此，内窥镜9为低侵袭且耐湿性优异。

另外，虽然内窥镜9是医疗用的软性镜，但其他实施方式的内窥镜也可以是硬性镜，还可以是工业用的内窥镜。

＜内窥镜用摄像装置的结构＞

如图2及图3所示，实施方式的内窥镜用摄像装置1具备光学部10和摄像部50。

另外，在以下的说明中，基于各实施方式的图是示意性的图，应注意各部分的厚度与宽度的关系、各个部分的厚度的比率等与现实情况不同，在图的相互之间有时也包括彼此的尺寸的关系、比率不同的部分。此外，有时省略一部分结构要素的图示、标号的标注。此外，将被摄体的方向设为上方向。

光学部10是将多个光学元件20、29、30、39、40、49接合而成的晶片级层叠体。即，光学部10通过切断将多个光学元件晶片接合而成的接合晶片10w(参照图10)来制作，因此，在侧面10ss具有切痕，光轴正交方向的外部尺寸相同或大致相同(例如，平均外部尺寸的±5％以内)。

光学元件20、30、40是在平行平板玻璃板(以下称为“玻璃板”。)21、31、41上配设有树脂透镜22、32、42的混合透镜元件。构成树脂透镜22、32、42的透镜用透明树脂例如是丙烯酸系树脂。

在包括摄像元件51和玻璃罩52的摄像部50中，玻璃罩52与光学部10接合，接受由光学部10聚光得到的被摄体像。

多个光学元件20、30、40及摄像部50的间隔分别由作为间隔件元件的光学元件29、39、49规定。光学元件29、39、49例如由硅构成，构成光路的区域成为空间。光学元件29、39、49也可以是规定形状的玻璃。

光学元件20是在具有第1主面21sa和第2主面21sb的玻璃板21的第2主面21sb上配设有由树脂构成的非球面的凹透镜22的混合透镜元件。第1主面21sa是光学部10的前表面10sa。光学元件30是在具有第3主面31sa和第4主面31sb的玻璃板31的第3主面31sa上配设有由树脂构成的非球面的凸透镜32的混合透镜元件。光学元件40是在具有第5主面41sa和第6主面41sb的玻璃板41的第6主面41sb上配设有由树脂构成的非球面的凸透镜42的混合透镜元件。

另外，光学部10的结构，即光学元件的种类、数量及层叠顺序能够根据规格而进行各种变形。例如，也可以在光学元件的主面上配设具有光圈功能的被图案化的遮光膜。

而且，在摄像装置1中，全部树脂透镜22、32、42的整个表面及全部树脂透镜22、32、42的周围的主面21sb、31sa、41sb被由透明无机材料构成的透明无机膜23、33、43覆盖。

另外，在多个光学元件20、30、40中的配置在与被摄体最近的最前部的第1光学元件即光学元件20的第1主面20sa，即光学部10的前表面10sa，未配设树脂透镜。

摄像装置1在收容于内窥镜9的硬性前端部90a时，光学部10的侧面10ss不露出到外部。但是，光学部10的前表面10sa(光学元件20的第1主面21sa)露出。即便被透明无机膜覆盖，树脂透镜的可靠性也不如玻璃透镜。此外，露出的树脂透镜可能会破损。

摄像装置1在光学元件20的前表面(第1主面20sa)未配设树脂透镜，因此，可靠性高。

以下，以图4所示的光学元件20为例对混合透镜元件进行说明。作为凹透镜的树脂透镜22的由构成光路的凹面的光路面x22、包围光路面x22的外周面y22以及外侧面z22构成的表面被透明无机膜23覆盖。光路面x22及外周面y22、以及对置的接合面a22与玻璃板21的第2主面21sb1(21sb)一体地成型。

另外，为了完全覆盖树脂透镜22的外侧面z22以及为了防止树脂透镜22从玻璃板21剥离，树脂透镜22的周围的第2主面21sb2(21sb)也被透明无机膜23覆盖。树脂透镜22的成为剥离的起点的外周面y22的边缘部即外侧面z22被跨越第2主面21sb(21sb2)而配设的透明无机膜23覆盖，因此，接合可靠性高。

与光学元件20同样，作为凸透镜的光学元件30的树脂透镜32的整个表面及树脂透镜32的周围的第3主面31sa被透明无机膜33覆盖，对此未图示分解图。此外，作为凸透镜的光学元件40的树脂透镜42的整个表面及树脂透镜42的周围的第6主面41sb被透明无机膜43覆盖。

即，树脂透镜22、32、42的整个表面被透明无机膜23、33、43和玻璃板21、31、41覆盖，因此，不存在露出到外部的表面。

另外，多个光学元件20、29、30、39、40、49的全部的接合部未使用粘接剂而直接接合。直接接合例如是如下的技术：通过真空等离子体处理进行去除作为接合面的表面的污染并形成悬空键的活性化处理，仅通过将活性化的表面彼此压接而将2张基板接合。在室温下贴合之后，也能够进一步通过热处理而增加接合强度。为了直接接合，也可以在接合面上形成金属膜或氧化硅等无机膜。

树脂透镜22、32、42的整个表面被透湿性比透镜用透明树脂优异的透明无机膜23、33、43及玻璃板21、31、41完全覆盖。此外，光学部10的多个接合部被直接接合，不包括透湿性高的有机材料。

摄像装置1由于具备由晶片级层叠体构成的光学部10，因此是小型的。此外，树脂透镜22、32、42被透湿性低的透明无机膜43覆盖，因此，耐湿性优异。包括摄像装置1的内窥镜9为低侵袭，并且耐湿性优异。

另外，如后所述，光学部10与摄像部50的接合部及摄像元件51与玻璃罩52的接合部也优选不包括透湿性高的有机材料。

＜摄像装置的制造方法＞

接着，按照图5所示的流程图对内窥镜用摄像装置1的制造方法进行说明。

＜步骤s10＞光学元件晶片制作工序

例如，如图6所示，准备作为平行平板玻璃的玻璃晶片21w。玻璃晶片21w的厚度根据摄像装置1的规格来决定。另外，当玻璃晶片21w被切断后，成为光学元件20的玻璃板21。

然后，在玻璃晶片21w的第2主面20sb的规定位置配设多个树脂透镜22。例如，在涂敷透镜用透明树脂并将规定形状的模具(未图示)按压于第2主面21sb的状态下，从第1主面21sa的方向照射紫外线(uv)，由此，当将透镜用透明树脂固化后，模制成型的树脂透镜22被配设在第2主面21sb上。

树脂透镜22是凹透镜，其表面是光路面x22、包围光路面x22的外周面y22、以及外侧面z22。在摄像装置1中，在多个树脂透镜22中，各个树脂透镜22的外周面y22隔着间隙(gap)而分离，因此，各个树脂透镜22具有外周面y22。

如图7所示，在配设有多个树脂透镜22的玻璃晶片21w的第2主面21sb的整个面上形成氧化硅(sio2)膜作为透明无机膜23w。即，透明无机膜23w覆盖多个树脂透镜22的整个表面及多个树脂透镜22的周围的玻璃晶片21w的第2主面20sb。

另外，透明无机膜即便在膜厚最薄的区域，由jisz0208决定的水蒸气透湿性试验中的透湿度也优选为5g/(m²×day)以下，尤其优选为1g/(m²×day)以下。并且，透明无机膜在会聚的光的波长下优选透过率为90％以上。此外，光路面x22中的膜厚优选为0.1μm以上且10μm以下，膜厚偏差优选为膜厚的±10％以内。

如果膜厚为所述范围以上，则确保透湿性改善效果。如果膜厚及膜厚偏差为所述范围以下，则树脂透镜22的表面，尤其是光路面x22的形状不发生变化，因此，光学特性不会劣化。

如果透明无机膜23w具有上述特性，则也可以为由多个透明无机层构成的多层膜。

例如，透明无机膜23w是氧化铝(al2o3)、氮化硅(sin)、氧化镁(mgo)、氧化铌(nb2o5)、氧化硅(sio2)、氧化钽(ta2o5)、氧化钛(tio2)、氧化锆(zro2)、氟化镁(mgf2)、硫化锑(sb2s3)、硫化锌(zns)中的至少任意一种单层膜、或者由多个材料构成的多层膜。

为了防止树脂透镜22的变质及变形，透明无机膜23w优选在树脂透镜22的软化点以下的例如100℃～200℃之间成膜。透明无机膜23w例如通过cvd法、溅射法、蒸镀法或者烷氧基硅烷(水玻璃)等的脱水缩合法而配设。

如以上的说明那样，通过在玻璃晶片21w上配设多个树脂透镜22并形成覆盖树脂透镜22的透明无机膜23w，来制作光学元件晶片20w。同样，通过在玻璃晶片31w上配设多个树脂透镜32并形成覆盖树脂透镜32的透明无机膜33w，来制作光学元件晶片30w(参照图10)。此外，通过在玻璃晶片41w上配设多个树脂透镜42并形成覆盖树脂透镜42的透明无机膜43w，来制作光学元件晶片40w(参照图10)。

另外，光学元件晶片20w、30w、40w也可以通过不同的树脂来配设树脂透镜22、32、42，还可以形成不同的透明无机膜23w、33w、43w。

另一方面，如图8所示，在成为多个间隔件29的光学元件晶片29w的制作工序中，例如在硅晶片29w的主面上配设用于形成成为光路的空间的蚀刻掩模28。在与配设有蚀刻掩模28的主面对置的主面(背面)上粘接支撑基板27。

如图9所示，通过基于icp-rie法等的干蚀刻或者基于koh或tmah等碱性溶液的湿蚀刻，来制作具有作为成为光路的空间的多个贯通孔h29的间隔件晶片，即光学元件晶片29w。另外，也可以通过激光加工等物理的加工方法来形成贯通孔h29。另外，贯通孔h29的光轴正交方向的内径与树脂透镜22的外周面y22的外径相比，被设定得稍大。

通过与光学元件晶片29w同样的方法，制作成为多个间隔件39、49的光学元件晶片39w、49w(参照图10)。

此外，光学元件晶片29w、39w、49w的材料不限于硅，也可以为陶瓷、玻璃、金属、或者后述的树脂。另外，为了直接接合，也可以在由金属或树脂构成的晶片的主面上形成氧化硅膜等。

此外，例如，也可以在配设有多个树脂透镜22的玻璃晶片21w上接合作为间隔件晶片的硅晶片29w之后，形成透明无机膜23w。

＜步骤s20＞光学元件晶片接合工序

如图10所示，通过接合光学元件晶片20w、29w、30w、39w、40w、49w来制作接合晶片10w。

例如，在将对接合面进行了等离子体活性化处理的光学元件晶片20w、29w、30w、39w、40w、49w在室温下压接接合之后，在120℃中进行1小时的热处理。另外，无需同时接合全部的光学元件晶片。

＜步骤s30＞摄像元件粘接工序

如图11所示，在接合晶片10w上通过接合层(未图示)而粘接多个摄像部50。

在摄像部50的制作方法中，针对半导体晶片，通过公知的半导体制造方法将cmos受光元件等受光部53配设于受光面50sa。然后，通过制作贯通布线(未图示)，来制作连接有受光部53和背面50sb的外部连接电极54的摄像元件晶片(未图示)。在摄像元件晶片的受光面50sa上通过粘接层(未图示)而接合玻璃晶片之后进行切断，由此，制作具有摄像元件51和玻璃罩52的摄像部50。

另外，光学部10与摄像部50的接合部及摄像元件51与玻璃罩52的接合部也直接接合或者使用不包括有机材料的无机粘接剂来接合。即，在本实施方式的摄像装置中，多个接合部全部不包括有机材料。

从具有与透明无机膜相同的透湿性的材料中选择无机粘接剂。例如，无机粘接剂由基于水玻璃(硅烷醇盐)等的脱水缩合法(溶胶凝胶法)形成的氧化硅层、含有无机系粘合剂的粘接剂、熔点为100℃～200℃的低熔点玻璃或者焊料构成。

作为无机系粘合剂，能够使用硅酸钠、硅酸钾、硅酸锂等碱金属硅酸盐、磷酸铝、磷酸镁、磷酸钙等磷酸盐、或者硅溶胶等。

此外，作为固化辅助剂，无机粘接剂也可以包括氧化锌、氧化镁、氧化钙等氧化物、氢氧化锌、氢氧化镁、氢氧化钙等氢氧化物、硼酸钙、硼酸钡、硼酸镁等硼酸盐等。

并且，为了防止由热收缩引起的破裂等，无机粘接剂也可以包括无机粉体。作为无机粉体，例示出氧化锆，二氧化硅，氧化铝，氧化镁，氮化铝，氧化钇等陶瓷。无机粉体可以为1种，或者也可以混合2种以上来使用。作为无机粉体，优选配合有氧化铝及二氧化硅的无机粘接剂。无机粉体的平均粒径优选为0.1μm～5μm的范围。

另外，在多个接合部的至少任意一个接合中，也可以代替无机粘接剂，而使用由透湿性低例如透湿度为30g/(m²×day)以下的有机树脂构成的粘接层。即便水有时经由粘接层而浸入，由于树脂透镜的表面被透明无机膜覆盖，因此，树脂透镜本身也不受到水的影响。

多个接合部也可以全部不包括有机材料，也可以全部包括有机材料，还可以由不包括有机材料的接合部和包括有机材料的接合部构成。

＜步骤s40＞切断工序

如图12所示，通过切断将多个摄像部50粘接而成的接合晶片10w，来制作具有光学部10和摄像部50的摄像装置1。在利用切割锯等而形成单片的光学部10的侧面10ss，具有微细的凹凸即切痕。即，在作为晶片级构造体的光学部10的侧面10ss具有切痕。此外，构成光学部10的多个光学元件的外形形状相同或大致相同，外部尺寸相同或大致相同(例如，平均外部尺寸的±5％以内)。

切断工序例如也可以是基于激光切割的切断工序、通过喷砂或蚀刻形成切断槽的单片化工序。

另外，如果配设于玻璃晶片的多个凹透镜分别具有光路面x22，则即便外周面y22连续，也具有作为光学元件的功能。但是，即便外周面y22连续的多个凹透镜被透明无机膜覆盖，当单片化(切断)为凹透镜时，凹透镜的树脂也露出到侧面。

与此相对，在摄像装置1中，在配设于玻璃晶片21的多个树脂透镜22中，各个树脂透镜22的外周面y22隔着间隙(gap)而分离，因此，各个树脂透镜22具有外周面y22。因此，当单片化(切断)为凹透镜时，在侧面只露出透明无机膜。

另外，多个光学元件20等全部为长方体，光轴正交方向的剖面为相同的形状且为相同的大小，因此，光学部10为四棱柱。另外，在摄像装置1中，摄像部50的光轴正交方向的剖面是与光学部10的光轴正交方向的剖面大致相同的形状且为大致相同的大小。

即，为了实现摄像装置1的小型化，优选摄像部50的光轴正交方向的剖面的大小为光学部10的光轴正交方向的剖面的大小以下，在将光学部10的前表面10sa沿光轴方向延长的空间内收容有摄像部50。

此外，也可以通过在接合晶片10w上粘接摄像元件晶片之后进行切断，来制作摄像装置1。在该情况下，摄像部50的光轴正交方向的剖面成为与光学部10的光轴正交方向的剖面相同的形状且相同的大小。

通过上述制造方法，能够容易且大量地制作小型且耐湿性优异的摄像装置1。摄像装置1配设在内窥镜9的硬性前端部90a。

＜变形例＞

接着，对实施方式的变形例的摄像装置1a～1d及包括摄像装置1a～1d的变形例的内窥镜9a～9d进行说明。变形例的摄像装置1a～1d或变形例的内窥镜9a～9d与摄像装置1或内窥镜9类似，具有相同的功能，因此，针对相同功能的结构要素标注相同的标号，并省略说明。

＜变形例1＞

图13所示的摄像装置1a包括具有多个光学元件20a、29、30a、39、40a、49的光学部10a、以及摄像部50a。

光学元件20a具有作为凹透镜的树脂透镜22a。树脂透镜22a的外侧面z22相对于光轴o倾斜。此外，作为间隔件元件的光学元件29与光学元件20a的外周面y22接合。因此，覆盖光学元件20a的外侧面z22的透明无机膜23的一部分在光学部10a的侧面10ss露出。

光学元件30a在玻璃板31的第3主面31sa上配设有作为凸透镜的树脂透镜32a，在第4主面31sb上配设有作为凸透镜的树脂透镜32b。即，在玻璃板31的主面的两个面上配设有树脂透镜32a、32b。

光学元件40a是具有切断红外线的功能的红外线截止滤光片元件，未配设树脂透镜。即，光学部10a的至少任意一个光学元件是混合透镜元件即可。

摄像部50a是摄像元件51，不具有玻璃罩。此外，摄像装置1a的摄像部50a的光轴正交方向的剖面的大小比光学部10a小。

另外，光学元件20a、29、30a、39、40a、49及摄像部50a通过由氧化硅构成的粘接层粘接。

在摄像装置1a中，树脂透镜22a、32a、32b的表面及树脂透镜的周围的玻璃板31、32的主面21sb、31sa、31sb被透明无机膜23、33a、33b覆盖。此外，多个光学元件20a、29、30a、39、40a、49的多个接合部使用已经说明的无机粘接剂28、37、38、47、48而接合。另外，优选无机粘接剂28进一步覆盖将光学元件20a的外侧面z22覆盖的透明无机膜23。

从具有与透明无机膜相同的透湿性的材料中选择无机粘接剂28、37、38、47、48，因此，摄像装置1a具有与摄像装置1相同的效果。

另外，多个接合部的至少任意一个不使用粘接剂而直接接合，未直接接合的接合部可以使用无机粘接剂而接合。

＜变形例2＞

如图14所示，在变形例2的摄像装置1b中，光学元件20b具有凹透镜及间隔件的功能。由树脂构成的光学元件20b被透明无机膜23覆盖。

摄像装置1b与摄像装置1a相比，不需要作为间隔件元件的光学元件29，因此，构造简单，所以制造容易，但具有与摄像装置1a相同的效果。即，间隔件元件也可以是被透明无机膜覆盖的树脂透镜元件。此外，间隔件元件也可以是被透明无机膜覆盖的树脂元件。

＜变形例3、4＞

如图15所示，在变形例3的摄像装置1c中，光学元件20c的配设在玻璃板21的第2主面21sb上的凹透镜即树脂透镜22c的外侧面z22的光轴正交方向的形状是角部为曲线的大致矩形。

此外，如图16所示，在变形例4的摄像装置1d中，光学元件20d的配设在玻璃板21的第2主面21sb上的凹透镜即树脂透镜22d的外侧面z22的光轴正交方向的形状是圆形。

摄像装置1c、1d与包括外侧面z22的光轴正交方向的形状为长方体的树脂透镜22的摄像装置1相比，树脂透镜22c、22d不易从玻璃板21、21d剥离。因此，摄像装置1c、1d的可靠性比摄像装置1高。

此外，摄像装置1d的光学元件20d的玻璃板21d的角部在光轴方向上被倒角加工，光轴正交方向的剖面形状为六边形。摄像装置1d的光学部的其他光学元件也与光学元件20d相同，与光轴平行的角部被倒角加工。即，摄像装置1d的光学部不是四棱柱，而是六棱柱。

摄像装置1d的光轴正交方向的尺寸比摄像装置1小，更加小型。

包括摄像装置1a～1d的内窥镜9a～9d除了内窥镜9具有的效果之外，当然还具有摄像装置1a～1d具有的效果。

本发明不限于上述实施方式等，能够在不脱离发明的主旨的范围内进行各种变更、组合及应用。

标号说明

1、1a～1d…内窥镜用摄像装置；

8…内窥镜系统；

9、9a～9d…内窥镜；

10…光学部；

10w…接合晶片；

20、29、30、39、40、49…光学元件；

20w、29w、30w、39w、40w、49w…光学元件晶片；

21、31、41…平行平板玻璃板；

22、32、42…树脂透镜；

23、33、43…透明无机膜；

50…摄像部；

51…摄像元件；

52…玻璃罩；

a22…粘接面；

h29…贯通孔；

x22…光路面；

y22…外周面；

z22…外侧面。