1.一种磁悬浮系统(100、200),包括:
一个或多个磁悬浮单元(120、220),所述一个或多个磁悬浮单元(120、220)用于将载体(10)保持在载体运输空间(15)中;和
驱动单元(130),所述驱动单元(132)用于在运输方向(t)上移动所述载体(10),所述驱动单元(130)包括异步线性马达的定子部分(132),所述定子部分(132)相对于所述载体运输空间(15)侧向地布置。
2.如权利要求1所述的磁悬浮系统,其中所述异步线性马达的所述定子部分(132)经构造以与所述异步线性马达的动子部分(182)相互作用,所述动子部分(182)设置在所述载体的基本上竖直地延伸的侧面(11)处。
3.如权利要求1或2所述的磁悬浮系统,进一步包括磁性侧稳定装置(140),所述磁性侧稳定装置(140)经构造以在垂直于所述运输方向(t)的侧向方向(l)上稳定所述载体。
4.如权利要求3所述的磁悬浮系统,其中所述磁性侧稳定装置(140)是包括至少一个第一永磁体(141)的被动稳定装置。
5.如权利要求1至4中任一项所述的磁悬浮系统,其中所述异步线性马达的所述定子部分(132)包括多个线圈单元,所述多个线圈单元经构造以产生用于在所述异步线性马达的设置在所述载体(10)处的动子部分(182)中感生电流的磁场。
6.如权利要求1至5中任一项所述的磁悬浮系统,其中所述定子部分(132)相对于所述载体运输空间(15)的下部部分(16)侧向地设置并且经构造以与侧向地设置在所述载体(10)的下部部分处的动子部分(182)相互作用。
7.如权利要求1至6中任一项所述的磁悬浮系统,其中所述一个或多个磁悬浮单元(220)是包括经构造以在所述载体上施加升力的永久悬浮磁体(221)的被动单元。
8.如权利要求1至7中任一项所述的磁悬浮系统,进一步包括至少一个传感器(201),所述至少一个传感器(201)经构造以检测沿所述运输方向(t)的特定位置处的所述载体的存在,特别是用于检测所述载体(10)的前缘(18)。
9.一种用于磁悬浮系统的载体(10),包括:
保持装置(17),所述保持装置(17)用于承载物体;
一个或多个磁体单元(181),所述一个或多个磁体单元(181)经构造以与所述磁悬浮系统的一个或多个磁悬浮单元(120、220)磁性地相互作用,以使所述载体悬浮;和
异步线性马达的动子部分(182),所述动子部分(182)用于在运输方向(t)上移动所述载体,所述动子部分布置在所述载体的侧面(11)处并且经构造以与所述异步线性马达的定子部分(132)相互作用。
10.如权利要求9所述的载体,其中所述动子部分(182)布置在所述侧面(11)的下部部分处,并且所述保持装置(17)经构造以将在所述侧面(11)的上部部分处保持所述物体,所述侧面(11)在运输期间基本上竖直地定向。
11.如权利要求9或10所述的载体,其中所述动子部分(182)包括沿所述侧面(11)在所述运输方向(t)上延伸的导电材料部分。
12.如权利要求9至11中任一项所述的载体,其中所述动子部分(182)包括设置在所述载体的所述侧面(11)处并在所述运输方向(t)上延伸的铝板。
13.一种真空系统,包括:
真空腔室(101);
载体(10),所述载体用于在所述真空腔室中承载物体;和
磁悬浮系统,所述磁悬浮系统用于在运输方向(t)上运输所述载体,所述磁悬浮系统包括:
一个或多个磁悬浮单元(120、220),所述一个或多个磁悬浮单元(120、220)用于将所述载体保持在所述真空腔室内的载体运输空间(15)中;和
驱动单元(130),所述驱动单元(130)用于在所述运输方向(t)移动所述载体,所述驱动单元包括异步线性马达的定子部分(132),所述定子部分(132)相对于所述载体运输空间侧向地布置;
所述载体包括所述异步线性马达的动子部分(182),所述动子部分(182)布置在所述载体的侧面(11)处。
14.一种在真空腔室中在运输方向(t)上运输载体的方法,包括:
利用磁悬浮系统的一个或多个磁悬浮单元(120、220)将载体悬浮在所述真空腔室中的载体运输空间中;和
利用驱动单元(130)在所述运输方向上移动所述载体,所述驱动单元包括异步线性马达的定子部分(132),所述定子部分(132)相对于所述载体侧向地布置并作用在设置在所述载体的侧面(11)处的动子部分(182)上。
15.如权利要求14所述的方法,其中利用包括至少一个第一永磁体(141)的磁性侧稳定装置(140)在垂直于所述运输方向(t)的侧向方向(l)上稳定所述载体,和/或其中所述一个或多个磁悬浮单元(220)包括至少一个永久悬浮磁体(221),特别是其中所述载体被动地悬浮在竖直方向(v)上并且被动地稳定在所述侧向方向(l)上。
16.一种用于在运输方向上运输载体(10)的磁悬浮系统(100),包括:
一个或多个磁悬浮单元(120、220),所述一个或多个磁悬浮单元(120、220)用于保持所述载体(10);和
驱动单元(130),所述驱动单元(130)用于在所述运输方向(t)上移动所述载体(10),所述驱动单元(130)包括异步线性马达的定子部分(132),所述定子部分(132)经构造以与所述异步线性马达的动子部分(182)相互作用,所述动子部分(182)布置在所述载体的侧面(11)处。