有源矩阵基板、具备其的X射线摄像面板及其制造方法与流程

文档序号:18517512发布日期:2019-08-24 09:33阅读:来源:国知局

技术特征:

技术总结
本发明提供一种能够抑制由偏压配线的高电阻化引起的检测不良的技术。有源矩阵基板(1)以矩阵状具备的多个检测部。多个检测部的每一个具备:光电转换层(15)、夹着光电转换层(15)的一对的第一电极(14a)及第二电极(14b)、覆盖光电转换层(15)的侧端部的绝缘膜(106)、设置在绝缘膜(106)上且对第二电极(14b)施加偏压的偏压配线(16)、以及设置在绝缘膜(106)上且覆盖偏压配线(16)的表面并包含对酸具有抗性的导电材料的保护膜(17)。第二电极(14b)的至少一部分覆盖保护膜(17)。

技术研发人员:美崎克纪
受保护的技术使用者:夏普株式会社
技术研发日:2019.02.13
技术公布日:2019.08.23
当前第2页1 2 
网友询问留言 已有0条留言
  • 还没有人留言评论。精彩留言会获得点赞!
1