排液装置及晶圆处理设备的制作方法

本发明涉及晶圆生产加工设备领域，具体涉及一种排液装置及晶圆处理设备。

背景技术：

在晶圆生产加工过程中，有很多场合都会用到化学液，也需要对使用完毕的化学液进行排出，以帮助进行机台的清洁等。

但现有技术中，经常出现排液不顺畅的情况。这将严重影响机台排液，严重时将会导致机台宕机，影响生产效率。

技术实现要素：

本发明的目的在于提供一种排液装置及晶圆处理设备，能够缓解排液管排液不畅的问题。

为了解决上述技术问题，以下提供了一种排液装置，包括：排液管，用于排液；过滤器，设置至所述排液管，用于滤除流入至所述排液管内的液体中的固体杂质，所述过滤器包括至少两个滤网，且所有所述滤网层叠设置。

可选的，所述过滤器中至少有两个滤网的网眼大小不同。

可选的，所述过滤器的各个滤网的网眼尺寸均不相同，且所述滤网按网眼的尺寸大小依次排布于所述排液管内。

可选的，网眼最大的滤网距离所述排液管的入口最近，网眼最小的滤网距离所述排液管的入口最远。

可选的，所述滤网由聚醚醚酮、聚四氟乙烯、石英中的至少一种制成。

可选的，所述滤网包括实心区域以及网眼区域，所述网眼区域内设置有网眼，且所述网眼区域环绕所述实心区域设置，呈环状。

可选的，所述滤网随网眼大小的不同配置为不同的颜色。

可选的，所述过滤器包括第一滤网和第二滤网，所述第一滤网的网眼尺寸大于第二滤网的网眼尺寸，且所述第一滤网靠近所述排液管的入口设置，所述第二滤网远离所述排液管的入口设置；所述第一滤网被设置为浅色滤网，所述第二滤网被设置为深色滤网。

可选的，所述过滤器可拆卸的安装至所述排液管，所述滤网也可拆卸的至安装至所述过滤器。

为了解决上述技术问题，以下还提供了一种晶圆处理设备，包括所述的排液装置。

本发明的排液装置及晶圆处理设备在排液管设置了至少两层层叠设置的滤网，能够实现对进入至所述排液管内的液体的至少两次过滤，有效防止固体杂质在所述排液管内某处淤积，导致所述排液管堵塞的情况的发生。

附图说明

图1为本发明的一种具体实施方式中的排液装置的立体结构示意图。

图2为本发明的一种具体实施方式中的排液装置的主视结构示意图。

图3为本发明的一种具体实施方式中的排液装置的俯视结构示意图。

图4为本发明的一种具体实施方式中第二滤网的局部示意图。

图5为本发明的一种具体实施方式中晶圆处理设备的结构示意图。

具体实施方式

研究发现，出现排液不顺畅的原因在于，排放机台使用完毕的化学液时，化学液内通常会有一些固体的副产物被同时排向排液管，一旦这些副产物淤积在排液管中，就会造成排液管的堵塞，引起排液不畅。例如化学机械抛光机台，其使用研磨液(slurry)和抛光垫(pad)对晶圆进行化学机械研磨，需要排出研磨液。在使用研磨液对晶圆进行研磨的过程中，研磨液的结晶、晶圆在研磨过程中破损形成的破碎晶片、晶圆在研磨过程中形成的粉末等都很容易在排液管的弯角或最低点处沉淀堆积，引发排液管堵塞的问题。

以下结合附图和具体实施方式对本发明提出的一种排液装置及晶圆处理设备作进一步详细说明。

请参阅图1至图3，其中图1为本发明的一种具体实施方式中的排液装置的立体结构示意图，图2为本发明的一种具体实施方式中的排液装置的主视结构示意图，图3为本发明的一种具体实施方式中的排液装置的俯视结构示意图。

在该具体实施方式中，提供了一种排液装置，包括：排液管101，用于排液；过滤器，设置至所述排液管，用于滤除流入至所述排液管101内的液体中的固体杂质，且所述过滤器包括至少两个滤网104，且所有所述滤网层叠设置。

在该具体实施方式中，所述排液装置在排液管101设置了至少两个滤网104，且所有滤网层叠设置，因此能够实现对进入至所述排液管101内的液体的至少两次过滤，有效防止固体杂质在所述排液管101内某处淤积，导致所述排液管101堵塞的情况的发生。

在一种具体实施方式中，所述过滤器中至少有两个滤网104的网眼大小不同。这样，所述过滤器至少能够对两种尺寸的固体杂质分别进行滤除。

在一种具体实施方式中，所述滤网104由聚醚醚酮、聚四氟乙烯、石英中的至少一种制成。这些材料都有一些共性，就是具有一定的耐腐蚀性能。这是因为，所述排液装置很有可能用于排放一些酸碱溶液。若所述滤网104不耐腐蚀，则很有可能随着排放量的增多而毁损。这里采用具有耐腐蚀性能的材料来制备所述滤网104，能够很好的延长所述滤网104的使用寿命。实际上，也可以根据需要选取其他具有耐腐蚀性能的材料来制备所述滤网104。

在一种具体实施方式中，采用喷射成型或发泡成型的方式，在所述滤网104上形成网眼301。具体的，当出水量大、需要较大尺寸的网眼301时，使用喷射成型的方式形成网眼301，当出水量小、需要较小尺寸的网眼301时，采用发泡成型的方式形成网眼301。

在一种具体实施方式中，所述过滤器的各个滤网104的网眼尺寸均不相同，这样，每一个滤网104都可以用于滤除不同尺寸的滤渣。如图1至4所示，其中图4为所述第二滤网103的局部示意图。在该具体实施方式中，所述过滤器包括两层滤网104，其中第一滤网102设置在靠近所述排液管101入口的地方，第二滤网103远离所述排液管101的入口设置，设置在靠近所述排液管101出口的地方，且第一滤网102的网眼301尺寸大于第二滤网103的网眼301尺寸。

在该具体实施方式中，所述第一滤网102和第二滤网103设置网眼301的区域尺寸相同，因此滤网104上设置的网眼301的尺寸越大，网眼301的数目越少。例如，在网眼301尺寸较大的第一滤网102上，网眼301数目在50至200目左右，能够用于过滤体积较大的固体杂质，如晶圆在研磨过程中破损形成的破碎晶片，以及研磨液结晶等，而在网眼301尺寸较小的第二滤网103上，网眼301数目在400到600目左右，用于过滤体积较小的固体杂质，如晶圆在研磨过程中形成的粉末以及研磨液废液离得颗粒物等。

在图1至3所示的具体实施方式中，该排液管101是应用到化学机械研磨机台的，因此在对过滤器的过滤效果进行规划时，需要考虑对研磨液的结晶、晶圆在研磨过程中破损形成的破碎晶片、晶圆在研磨过程中形成的粉末等的滤除。因此，在设置图1至3所示的具体实施方式中的滤网104的网眼301尺寸时，需要考虑研磨液的结晶、晶圆在研磨过程中破损形成的破碎晶片、晶圆在研磨过程中形成的粉末等的尺寸。

在图1至3所示的具体实施方式中，采用网眼301尺寸不同的滤网104先后对液体中的固体杂质进行两次滤除，并且按照先大网眼滤网、后小网眼滤网的方式排布所述滤网104，一是可以保证足够的过滤效果，二是可以防止一开始就设置具有较小网眼301的第二滤网103，导致液体流动速度变慢，影响排液速度。

实际上，设置具体不同大小的网眼301的滤网104，还可以方便用户对滤出的固体杂质的回收。例如化学机械研磨机台的研磨液内可能掺杂的破碎的硅片等，这属于较大片的固体杂质，在研磨液经过第一滤网102时，就会被第一滤网102拦住，便于用户回收该大片的破碎硅片。

在一种具体实施方式中，所述滤网104按网眼301的尺寸大小依次排布于所述排液管101内。这与图1至3中的具体实施方式相符合。图1至3中按滤网104的网眼301大小，将网眼301较大的第一滤网102排布到靠近所述排液管101入口的位置，此处可参阅图3，并将网眼301较小的第二滤网103排布到远离所述排液管101入口的位置，这样，就可以先过滤较大尺寸的固体杂质，再过滤较小尺寸的固体杂质，便于用户根据固体杂质的大小进行处理。

在一种具体实施方式中，网眼301最大的第一滤网102距离所述排液管101的入口最近，网眼301最小的第二滤网103距离所述排液管101的入口最远，可以将最终过滤获取的固体杂质按照大小分至多级，以便用户对大小不同的杂质进行不同的处理。

在一种具体实施方式中，所述滤网104包括实心区域303以及网眼区域302，所述网眼区域302内设置有网眼301，且所述网眼区域302环绕所述实心区域303设置，呈环状。这与该排液装置放置到的环境相匹配。在该具体实施方式中，所述排液装置被放置到化学机械研磨机台内，置于研磨垫下，用于排出研磨过程中所用到的研磨液。研磨液自研磨垫周围向下流至所述排液装置，因此所述排液管101的入口应当能覆盖所述研磨垫的周边区域，以便将所有自研磨垫流下的研磨液收纳进所述排液管101。

在一种具体实施方式中，所述网眼区域302的内径尺寸为33cm，外径尺寸为38cm。这样，所述网眼区域302设置在宽度为5cm的环形内。在一种具体实施方式中，所述网眼301均匀分布于所述网眼区域302内。

在该具体实施方式中，所述排液管101的最外围尺寸应当大于所述研磨垫的外径，并且，为了便于对所述滤网104滤除的固体杂质进行处理，在所述排液管101设置所述过滤器，配置所述滤网104时，通常将所述滤网104设置到所述排液管101的入口处，所述滤网104所在平面与所述研磨垫所在平面平行，所述实心区域303在水平面上的投影被所述研磨垫在水平面上的投影覆盖，所述滤网104在所述水平面上的投影覆盖所述研磨垫在水平面上的投影。这样，所述网眼区域302的内侧边缘设置在所述研磨垫的覆盖区域内，所述网眼区域302的外侧边缘设置在所述研磨垫的覆盖区域外，保证了所述滤网104能够让绝大多数自所述研磨垫流下的研磨液通过。

在一种具体实施方式中，所述滤网104随网眼301大小的不同配置为不同的颜色，便于用户确定该滤网104滤除的固体杂质的量，从而便于用户判断是否需要对滤网104进行清理。若滤网104滤除的固体杂质的量已经较多，但用户没有及时清理，则会影响该排液装置的排液速度。

在该具体实施方式中，预先规划不同网眼301大小的滤网104分别用于滤除什么固体杂质，并获知这些固体杂质的大致颜色，就可以获知应当设置什么颜色的滤网104了。只要让滤网104的颜色，与该层滤网104要滤除的固体杂质的颜色有色差，优选的，有较大的色差，就能够让用户通过滤网104的颜色确定滤网104滤除的固体杂质的量。

这里可以看图1至3所示的具体实施方式，将该排液装置应用到化学机械研磨机台中时，第一滤网102用于滤除破碎的硅片等杂质，这些杂质大多呈深黑色等，因此所述第一滤网102被设置为浅色滤网，如淡白色，便于与破碎的硅片等的黑色固体杂质形成对比，从而便于用户获知这些杂质的数目。第二滤网103用于滤除研磨液的结晶、晶圆在研磨过程中形成的粉末等杂质，这些杂质大多呈黄白色或白色，因此所述第二滤网103被设置为深色滤网，如黑色，便于与这些黄白色、白色的杂质形成对比，便于用户获知这些杂质的数目。

在该具体实施方式中，用户能够通过目测，就能获知当前固体杂质的滤除情况，便于及时处理过多的被滤除的固体杂质，以便时刻保持所述排液管101的通畅，防止过多的杂质影响液体的排出速度。

在一种具体实施方式中，所述过滤器可拆卸的安装至所述排液管101，所述滤网104也可拆卸的至安装至所述过滤器。这便于用户根据需要更换过滤器，如在滤网104难以清洁时，将过滤器拆下清洁，或直接更换等。又例如，当所述排液装置需要滤除尺寸较大的固体杂质时，将安装到排液管101的小网眼301的第二滤网103更换为大网眼301的第一滤网102。又或者，用户需要获取更好的过滤效果，将安装到所述排液管101的大网眼301第一滤网102更换为小网眼301的第二滤网103。

在一些具体实施方式中，所述排液管101内壁设置有多个限位单元，所述限位单元突出设置于所述排液管101的内壁，用于对放置到这一位置的滤网104进行限位。在一些具体实施方式中，所述限位单元是突出于所述排液管101内壁设置的凸起柱201，且每一限位单元至少包括三个凸起柱201，以使得具有更牢固的限位作用。实际上，可以根据需要设置所述限位单元的具体结构，如使用螺钉等。在使用凸起柱201时，在将下方的滤网104放置到其所应当放置到的位置时，可以将滤网104倾斜的自没有设置凸起柱201的区域放至该滤网104应当放置到的位置。

请看图1至图5，为本发明的一种具体实施方式中晶圆处理设备的结构示意图。在该具体实施方式中，还提供了一种晶圆处理设备，包括所述的排液装置。

该具体实施方式中的晶圆处理设备在排液管101设置了至少两个滤网104，且所有所述滤网104层叠设置，能够实现对进入至所述排液管101内的液体的至少两次过滤，有效防止固体杂质在所述排液管101内某处淤积，导致所述排液管101堵塞的情况的发生。

在一种具体实施方式中，所述晶圆处理设备包括晶圆研磨机台，所述晶圆研磨机台包括研磨垫401，所述排液管101设置于所述研磨垫401下方，用于排出自所述研磨垫401流下的液体。

本发明的排液装置及晶圆处理设备在排液管101的管口处设置至少两个滤网104，且所有所述滤网104层叠设置，能够实现对进入至所述排液管101内的液体的至少两次过滤，有效防止固体杂质在所述排液管101内某处淤积，导致所述排液管101堵塞的情况的发生。

以上所述仅是本发明的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员，在不脱离本发明原理的前提下，还可以做出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本发明的保护范围。