技术总结
一种具有模场扩散结构的窄脊分布式反馈激光器及其应用，该分布式反馈激光器包括N面电极层；衬底层；缓冲层；第一波导层；多量子阱有源层；第二波导层；光栅层；刻蚀自停止层；包层；欧姆接触层；以及P面电极层；其中，在所述包层和欧姆接触层上刻蚀形成脊波导，脊波导包括直波导和模场扩散结构。本发明利用水平方向脊宽的收缩，端面脊的断开以及端面淀积一层低折射率材料薄膜三种方案，能够有效地增大输出激光的模场面积，降低激光器端面的功率密度，提高激光器端面的损伤阈值，增大最大注入电流，增大带宽，提高无杂散动态范围，改善激光器的高频响应特性，提高调制速率。
技术研发人员：夏施君;许博蕊;祝宁华;包帅;袁海庆;孙甲政;班德超;徐长达;孙文惠
受保护的技术使用者：中国科学院半导体研究所
技术研发日：2019.12.16
技术公布日：2020.04.03