一种改善分层的载片台的制作方法

本实用新型涉及载片台技术领域，具体为一种改善分层的载片台。

背景技术：

在等离子体刻蚀工艺中所使用的载片台是一种芯片固定结构，选择合理的芯片固定结构，对等离子体刻蚀工艺的可靠性和稳定性有重要的作用，在选择芯片固定结构时，应当考虑芯片的尺寸，刻蚀工艺的气体流量分布，芯片固定结构材料对于刻蚀工艺过程的物理和化学影响，以及刻蚀工艺过程产生的热效应等因素，因载片台正面需装载芯片，故增阻槽只能设在载片台背面功能，通过此槽增大树脂与载片台接触面积，阻止树脂因热胀冷缩发生位移时与载片台分开，增强结合力度，因此，对一种改善分层的载片台的需求日益增长。

目前市场上存在的大部分载片台均设置有增阻槽，传统的载片台上的现有增阻槽形状为一段式下沉，槽状为口大底小的梯形，只在一定程度上增大树脂与载片台的接触面积，但无法锁住树脂，对剥离分层效果不明显传统的载片台仅仅为一块单独式设计，若需要大块或者小块载片台需要重新制作，成本较高，费事费力，因此，针对上述问题提出一种改善分层的载片台。

技术实现要素：

本实用新型的目的在于提供一种改善分层的载片台，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：

一种改善分层的载片台，包括第一载片台，所述第一载片台顶端内侧开设有第一增阻槽，所述第一载片台顶端内侧开设有第二增阻槽，所述第一载片台内侧滑动连接有限位杆，所述限位杆底端固定连接有卡块，所述卡块顶端固定连接有第一弹簧，所述第一弹簧顶端与所述第一载片台固定连接，所述第一载片台右侧设置有第二载片台，所述第二载片台左侧固定连接有贴合块，所述贴合块左侧固定连接有底座，所述底座左侧滑动连接有滑块，所述滑块左侧固定连接有安装块，位于底端所述安装块顶端固定连接有套管，所述套管内侧滑动连接有顶块，所述顶块底端固定连接有第二弹簧，所述第二弹簧底端与所述套管固定连接，所述套管顶端内侧固定连接有挡块，所述顶块左端面和右端面固定连接有限位块，所述第二载片台右侧设置有第三载片台。

优选的，所述第一增阻槽内侧壁底端与所述第二增阻槽相互连通，所述第一增阻槽和所述第二增阻槽呈燕尾槽状设置，所述第一增阻槽和所述第二增阻槽分别设置在所述第一载片台、第二载片台和第三载片台顶端。

优选的，所述限位杆的组数为两组，每组所述限位杆的数量为四个，所述第一载片台和第二载片台内侧均开设有限位槽，所述限位杆外侧与所述限位槽内侧壁滑动连接，所述第一载片台和第二载片台内侧均开设有安装槽，所述卡块外侧与所述安装槽内侧壁滑动连接，每组所述卡块呈两两上下对称设置在第一载片台和第二载片台内侧。

优选的，所述贴合块的数量为两个，两个所述贴合块分别设置在所述第二载片台和第三载片台左侧，所述第一载片台和第二载片台右侧均开设有连接槽，所述贴合块分别设置在两个所述连接槽内侧，所述底座左侧开设有滑槽，所述滑块的数量为两个，所述滑块外侧与所述滑槽内侧壁滑动连接。

优选的，所述安装块的组数为两组，每组所述安装块的数量为两个，所述安装块内侧开设有卡槽，所述卡槽的运动轨迹为直线状，所述卡块设置在所述安装块的运动轨迹上。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

1、本实用新型中，通过设置的第一增阻槽和第二增阻槽，两个增阻槽为两段式下沉，两段增阻槽均为燕尾槽式设置，使得树脂与引线框架结合得更牢固，更有利于改善产品分层风险，有利于锁住树脂，防止与载片台脱离，从而提高改善分层效果，加强了树脂与载片台的结合，提高产品防止分层的能力。

2、本实用新型中，通过设置的第二载片台、卡块、安装块和套管，将安装块插入连接槽内，可以使装置根据需要进行拼接，通过卡块与卡槽卡合，固定稳定，安装与拆卸十分方便，且贴合块的设置，提高连接处的密封性，可以做到无缝凭借，提高装置使用的稳定性，拓展了装置使用范围，间接提高了装置的生产效率，操作简单使用方便，且大大节约的成本。

附图说明

图1为本实用新型整体结构示意图；

图2为本实用新型图1的a处结构示意图；

图3为本实用新型图1的b处结构示意图。

图中：1-第一载片台、2-限位杆、3-卡块、4-第一弹簧、5-第二载片台、6-贴合块、7-底座、8-滑块、9-安装块、10-套管、11-顶块、12-第二弹簧、13-挡块、14-限位块、15-第三安装板。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1-3，本实用新型提供一种技术方案：

一种改善分层的载片台，包括第一载片台1，所述第一载片台1顶端内侧开设有第一增阻槽，所述第一载片台1顶端内侧开设有第二增阻槽，所述第一载片台1内侧滑动连接有限位杆2，所述限位杆2底端固定连接有卡块3，所述卡块3顶端固定连接有第一弹簧4，所述第一弹簧4顶端与所述第一载片台1固定连接，所述第一载片台1右侧设置有第二载片台5，可以更具需要拓展装置，所述第二载片台5左侧固定连接有贴合块6，提高装置拼接密闭性，所述贴合块6左侧固定连接有底座7，所述底座7左侧滑动连接有滑块8，所述滑块8左侧固定连接有安装块9，装置拼接的固定，位于底端所述安装块9顶端固定连接有套管10，所述套管10内侧滑动连接有顶块11，所述顶块11底端固定连接有第二弹簧12，所述第二弹簧12底端与所述套管10固定连接，所述套管10顶端内侧固定连接有挡块13，提高装置使用稳定性，放置意外顶块11脱落，所述顶块11左端面和右端面固定连接有限位块14，所述第二载片台5右侧设置有第三载片台15。

所述第一增阻槽内侧壁底端与所述第二增阻槽相互连通，所述第一增阻槽和所述第二增阻槽呈燕尾槽状设置，所述第一增阻槽和所述第二增阻槽分别设置在所述第一载片台1、第二载片台5和第三载片台15顶端，这种设置有利于加强了树脂与各个载片台的结合，提高产品防止分层的能力，所述限位杆2的组数为两组，每组所述限位杆2的数量为四个，所述第一载片台1和第二载片台5内侧均开设有限位槽，所述限位杆2外侧与所述限位槽内侧壁滑动连接，所述第一载片台1和第二载片台5内侧均开设有安装槽，所述卡块3外侧与所述安装槽内侧壁滑动连接，每组所述卡块3呈两两上下对称设置在第一载片台1和第二载片台5内侧，这种设置有利于可以根据需要对装置的进行拼接，操作简单方便，所述贴合块6的数量为两个，两个所述贴合块6分别设置在所述第二载片台5和第三载片台15左侧，所述第一载片台1和第二载片台5右侧均开设有连接槽，所述贴合块6分别设置在两个所述连接槽内侧，所述底座7左侧开设有滑槽，所述滑块8的数量为两个，所述滑块8外侧与所述滑槽内侧壁滑动连接，这种设置有利于提高装置连接的便捷性，保证装置卡合的同时，装置拼接作业省时省力，所述安装块9的组数为两组，每组所述安装块9的数量为两个，所述安装块9内侧开设有卡槽，所述卡槽的运动轨迹为直线状，所述卡块3设置在所述安装块9的运动轨迹上，这种设置有利于装置拼接作业操作简单，固定稳定。

工作流程：该装置通过设置的第一增阻槽和第二增阻槽，两个增阻槽为两段式下沉，两段增阻槽均为燕尾槽式设置，使得树脂与引线框架结合得更牢固，更有利于改善产品分层风险，有利于锁住树脂，防止与载片台脱离，从而提高改善分层效果，加强了树脂与载片台的结合，提高产品防止分层的能力，根据需要可以将装置进行拼接，可以将多个第二载片台5进行拼接，第一载片台1置于最左端，第三载片台15置于最右端，然后安装块9插入连接槽，然后第一弹簧4推动卡块3与安装块9上的卡槽卡合，然后套管10中的第二弹簧12推动顶块11使两个所述安装块9可以保持卡合状态的同时，安装块9通过滑块8在底座7上的滑槽滑动，方便卡块3与卡槽卡合，挡块13和顶块11提高装置使用稳定性，放置意外顶块11和套管10脱落，固定稳定，安装与拆卸十分方便，且贴合块6的设置，提高连接处的密封性，提高装置使用的稳定性，拓展了装置使用范围，间接提高了装置的生产效率，操作简单使用方便，节约成本。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。