利用对称气体喷射的颗粒去除装置的制作方法

本发明涉及一种颗粒去除装置，更加详细而言，涉及一种用于在洁净室等中从对象物表面有效去除颗粒进行回收的利用对称气体喷射的颗粒去除装置。

背景技术：

通常，随着产业的高度化，不仅是在办公环境下，而且在生产现场对灰尘等颗粒的控制的必要性也在增加，为了将生产现场保持清洁的状态，防止颗粒对产品的不良影响，导入了洁净室。

半导体、显示器、制药、医院等产业和科学研究室导入并运营这样的洁净室，尤其是在半导体或者lcd显示器制造工艺等包含纳米水准的高度精密的工艺的高新技术产业中，就连制造产品的现场的细微的环境条件也能对产品的质量产生大的影响，因此洁净室中所要求的洁净度具有逐渐强化的趋势。例如，在半导体制造工艺中，从自动化装置等振荡的粒子沉着在晶片表面，由此产生的图案缺陷被指为产品的良率降低的主要原因。

如上所述，在高新技术产业制造产品的现场存在颗粒时，在制造工艺中被移动至产品而有可能成为致命性的产品不良原因，这样颗粒堆积在制造产品的现场的天花板、墙壁、地面、生产以及测量设备和各种材料等上，也附着在工作人员的衣服上，随着机器人、工作人员、产品的移动以及空间上的温度的不均衡而导致气流的移动，从而堆积在工作人员或者物体或者邻接部分的表面上的颗粒被移动而污染产品，从而导致产品不良。

作为用于去除颗粒的现有技术，在美国授权专利公报第5,253,538(1993.10.19.授权)中公开有通过真空吸入方式的表面颗粒计数装置，其通过扫描器利用空气泵抽吸样品表面，则通过激光二极管光源计数器和过滤器过滤颗粒。

然而，由于是通过真空吸入方式吸入颗粒而从样品表面分离粒子的能力低，因此具有无法分离出最近半导体以及显示器产业中所要求的数μm以下的微小颗粒的问题。

另外，在大韩民国公开专利公报第10-2008-0017768号(2008.02.27.公开)中公开有气体喷射方式的颗粒去除装置，其包括：基板移送装置，放置有基板；气体喷射器，在基板移送装置上以一定的角度倾斜喷射气体，从而分离粘在基板上的颗粒；吸入器，在基板移送装置上与气体喷射器相对，以一定角度倾斜吸入从基板分离的颗粒。

然而，从基板分离的颗粒通过喷射气体的气流而朝周围扩散发生污染，即便喷射工作结束之后，颗粒也可能通过气流而再次附着在移送中的基板的其他位置，再次发生污染，而且难以对颗粒进行准确的回收、检测以及计数，具有工作进行中发生工作人员吸入的危险的问题。

技术实现要素：

(一)要解决的技术问题

本发明是为了全部解决上述问题而提出的，其目的在于，提供一种气体喷嘴在彼此对称方向上进行喷射，防止从对象物表面分离的颗粒的扩散，而且对象物不发生污染，可以对颗粒进行准确的回收、检测以及计数的利用对称气体喷射的颗粒去除装置。

(二)技术方案

为了解决上述问题，本发明提供一种利用对称气体喷射的颗粒去除装置，其包括：套壳，具有内部空间；气体喷射部，在套壳一侧形成有多个气体喷嘴，多个气体喷嘴对称配置而与对象物隔开配置，向对象物喷射气体，去除对象物表面的颗粒；以及回收部，在套壳的另一侧连接有回收管而引入形成，通过回收管回收从对象物分离的颗粒。

(三)有益效果

根据本发明，具有气体喷嘴在彼此对称方向上进行喷射，防止从对象物表面分离的颗粒的扩散，而且对象物不发生污染，可以对颗粒进行准确的回收、检测以及计数的效果。

另外，本发明具有即便回收部中没有形成真空，也可以将颗粒送至预定的距离进行回收，即便在对称方向喷射的喷射气体的压力或者喷射量上发生不均衡或者喷射气体随着对象物表面的多种形态发生冲突之后不规则地扩散，也可以将颗粒引导至所需方向进行回收的效果。

另外，具有注入净化气体而防止异物流入到回收部，从而可以对颗粒进行更加准确的检测和计数，设定符合对象物表面形态的喷射时间和喷射间距，从而可以自动控制，可以顺利收集和回收颗粒的效果。

附图说明

图1是一同示出根据本发明的一实施例的颗粒去除装置和附加设施的图。

图2是示出根据本发明的一实施例的颗粒去除装置的立体图。

图3的(a)至图3的(d)是示出根据本发明的一实施例的气体喷嘴的配置的俯视图，图3的(e)是侧视图。

图4是示出从根据本发明的一实施例的从对象物表面分离的颗粒的回收作用的图。

图5是还包括根据本发明的一实施例的第二回收部的概略图。

具体实施方式

以下，参考附图以实施例为中心详细说明用于实施根据本发明的利用对称气体喷射的颗粒去除装置的具体内容。

根据本发明的利用对称气体喷射的颗粒去除装置用于在洁净室等中从对象物表面有效去除颗粒进行回收，参考图1，利用对称气体喷射的颗粒去除装置包括套壳100、气体喷射部200、回收部300，还可以选择性地包括第二回收部400、方向引导喷嘴500、气体注入部600、粒子检测部700、控制部800。

参考图2，所述套壳100可以具有内部空间，朝垂直或者水平方向设置，提供向回收部300引导从对象物表面分离的颗粒p的空间。

所述气体喷射部200在套壳100的一侧形成有喷嘴块210，喷嘴块210可以由中央部贯穿的环或者带状构成，从而对象物m的表面成为暴露在气体喷嘴220的状态，对象物m被安放在支撑架上而被支承。

喷嘴块210可以由圆环或者四边形环等形状构成，然而其形状不受特别限制。

喷嘴块210与气体供应管230连接，从而由气体供应管230供应的气体通过喷嘴块210被分布到多个气体喷嘴220。气体供应管230与空气压缩机260连接而被供应压缩气体，设置有通过控制部800自动控制开闭的开闭阀门240和空气过滤器250。

参考图3，沿着喷嘴块210设置有多个气体喷嘴220，多个气体喷嘴220彼此对称设置，朝向对象物m倾斜预定角度而与对象物m隔开配置，向对象物m喷射气体，从而使附着在对象物m表面的颗粒p发生分离。

通常，对称具有点对称、线对称、面对称等，对称要素中有对称中心、对称轴、对称面，对称中心是指经对称中心连接的线被对称中心等分的点，对称轴是指将一个垂线作为轴，将物体旋转360度时形成相同的形状两次以上的轴，具有两次对称轴、三次对称轴、四次对称轴、八次对称轴等。对称面是指将该面作为镜面，物体的两个半部成为一模一样的形状的面。

例如，也可以是两个气体喷嘴在喷嘴块210被设置为彼此对称，图3的(a)中图示的三个气体喷嘴220是通过三次对称轴对称地设置在喷嘴块210，图3的(b)中图示的四个气体喷嘴220是通过四次对称轴对称地设置在喷嘴块210，图3的(c)是通过八次对称轴对称地设置在喷嘴块210，图3的(d)是喷嘴块形成为四边形环形状，四个气体喷嘴220通过四次对称轴对称配置，图3的(e)是示出如上对称配置的气体喷嘴的配置和作用的侧视图。

如上对称配置的气体喷嘴220在对称状态下，以相同的压力向对象物m以预定的角度喷射相同量的气体，参考图4，对称喷射的气体与对象物m的表面发生碰撞而从对象物m分离颗粒p之后，与彼此碰撞而分离的颗粒p一起，在喷嘴块210的中央部向上上升。如上所述，由于在彼此对称方向上喷射的气体，防止从对象物m表面分离的颗粒朝周围扩散，而且对象物m不发生污染，颗粒被引导至回收部300而可以进行准确的回收、检测以及计数。

所述回收部300在套壳100的另一侧，即喷嘴块210的相反侧连接形成有回收管310，回收管310的一部分成为引入到套壳100内部的状态，在回收管的端部形成有相当于管入口的回收口，此时，回收口也可以形成为直径朝端部逐渐增加，通过从气体喷嘴220对称喷射的气体，从对象物m分离的颗粒p通过回收口被回收到回收管310的路径中。

回收管310可以与真空泵330连接而通过真空吸入方式吸入颗粒p，并通过排气管340进行排气，可以在回收管310的回收路径设置膜过滤器320，收集回收的颗粒p。与此同时，可以在回收管310设置膜过滤器320等的颗粒收集器，收集颗粒p，从而确认是否发生污染以及污染程度。

另外，参考图5，在对象物m形成有孔(hole)时，也可以在对象物m的反面侧进一步设置第二回收部400，从而将通过从气体喷嘴220对称喷射的气体而从对象物m分离的颗粒p与气体一起通过第二回收管410进行回收，防止通过孔的从对象物m表面分离的颗粒与气体朝周围扩散。此时，在第二回收管410的端部形成有相当于管入口的回收口，此时，回收口也可以形成为直径朝端部逐渐增加。

所述方向引导喷嘴500与方向引导管510连接而形成在套壳100的中间，向回收部300的回收管310喷射方向引导气体，从而起到将从对象物m分离的颗粒p引导至所需方向的作用。此时，方向引导管510与空气压缩机260连接而被供应压缩气体，设置有通过控制部800自动控制开闭的开闭阀门520和空气过滤器530。

即便回收管310中没有形成真空，所述方向引导喷嘴500也可以朝向回收管310的入口喷射方向引导气体，将从对象物m分离的颗粒引导至回收管310并送至预定的距离进行回收，即便在气体喷嘴220的对称方向喷射的喷射气体的压力或者喷射量上发生不均衡或者喷射气体随着对象物表面的多种形态发生冲突之后被不规则地扩散，也可以朝向回收管310的入口喷射方向引导气体，从而将从对象物m分离的颗粒p引导至所需方向进行回收。

所述气体注入部600在套壳100的另一侧，即喷嘴块210的相反侧连接有气体注入管610，气体注入管610与空气压缩机260连接而被供应压缩气体，设置有通过控制部800自动控制开闭的开闭阀门620和空气过滤器630。此时，从所述气体注入部600注入的净化气体沿着回收管310的外侧朝套壳100的内部的长度方向移动。

即，从气体喷嘴220朝向对象物m表面喷射具有预定压力的气体，则气体喷嘴220周围的气体的一部分一起被冲到喷嘴块210的中央部，此时，在周围存在的异物也一起移动而流入到回收管310，从而成为与从对象物m分离的颗粒p一起混合的状态，因此通过与回收部300连接的粒子检测部700进行检测以及计数时，可能难以进行准确的测定。

为此，通过所述气体注入管610向套壳100的内部，更加具体地为沿着回收管310的周围以预定的压力注入净化气体，则防止除颗粒p之外的异物流入到回收部300，由此可以对从对象物m分离的颗粒p进行更加准确的检测和计数。此时，朝与向回收部300流入的颗粒p的方向相反的方向注入净化气体。

所述粒子检测部700的吸入口710与回收部300的回收管310连接，吸入在回收管310的回收路径上移动的颗粒p，从而完成检测或者计数。通过所述颗粒p的检测和计数，测定颗粒p的数量、大小、分布等，从而可以容易且快速地确认在洁净室是否发生污染和污染程度，进一步地可以防止产品的不良。

所述控制部800可以控制气体喷射部200的开闭阀门240，自动调整气体的喷射时间和喷射间距，与此同时，也自动控制开闭阀门520、620进行开闭，从而也可以调整通过方向引导喷嘴500和气体注入管610喷射的方向引导气体以及净化气体的喷射时间和喷射量。

从气体喷嘴220持续喷射气体，则喷射量大幅度增加而使气体行进至目标距离以上，具有回收部300的规模也需要相应增加的问题。为此，为了符合回收管310的大小、吸入力等回收部300的规模，控制部800按照事先保存的设定控制开闭阀门240以间歇性地喷射气体，从而可以顺利完成颗粒p的回收和收集。例如，如果回收部300可以在10秒之后回收气体喷嘴220的1秒期间的气体喷射量，则控制部800控制开闭阀门240，使气体喷嘴220喷射气体1秒之后，具有10秒的休止时间。

本发明中，所述实施形态作为一个示例，本发明不限于此。只要是具有与本发明的专利权利要求书中记载的技术思想实质上相同的构成，并完成相同的作用效果，则均包含在本发明的技术范围中。

工业实用性

根据本发明的利用对称气体喷射的颗粒去除装置，气体喷嘴在彼此对称方向上进行喷射，从而防止从对象物表面分离的颗粒的扩散，而且对象物不发生污染，可以对颗粒进行准确的回收、检测以及计数，因此具有工业实用性。