一种稳定性好的晶圆放置架的制作方法

1.本实用新型涉及晶圆放置技术领域，尤其涉及一种稳定性好的晶圆放置架。


背景技术：

2.晶圆是指制作硅半导体积体电路所用的硅晶片，其原始材料是硅。高纯度的多晶硅溶解后掺入硅晶体晶种，然后慢慢拉出，形成圆柱形的单晶硅。硅晶棒在经过研磨，抛光，切片后，形成硅晶圆片，也就是晶圆。晶圆的主要加工方式为片加工和批加工，即同时加工一片或多片晶圆。
3.晶圆放在转运架上，转运架需要放在放置架上，现在的晶圆放置架是由不锈钢制作而成，而现在的晶圆放置架由下方的支脚支撑，当晶圆放置架受到冲击后，晶圆放置架会倾倒，稳定性能较差，而造成晶圆的损坏。
4.为解决上述问题，本申请中提出一种稳定性好的晶圆放置架。


技术实现要素：

5.(一)实用新型目的
6.为解决背景技术中存在的技术问题，本实用新型提出一种稳定性好的晶圆放置架，具有当晶圆放置架受到冲击后，晶圆放置架不会倾倒，提高晶圆放置架的稳定性能，避免了晶圆放置架倾倒而造成晶圆损坏的特点。
7.(二)技术方案
8.为解决上述问题，本实用新型提供了一种稳定性好的晶圆放置架，包括放置架本体，所述放置架本体内部中部靠上方间隔均匀固定连接有第一放置板，所述放置架本体中部靠下方间隔均匀固定连接有第二放置板，所述放置架本体下方左右两端均固定连接有支撑杆的上端，所述支撑杆下端固定连接有支脚上表面中部，所述支脚内部中部上下表面均滑动连接有滑块，两个所述滑块之间固定连接有磁性板，所述磁性板左右两侧均设置有两个配重稳定三角块，两个所述配重稳定三角块之间固定连接有连接杆，所述连接杆和支脚下侧面不接触，所述支脚左侧面中部滑动连接有第一稳定杆，所述支脚右侧面中部滑动连接有第二稳定杆，所述第一稳定杆左端下方固定连接有接地稳定板，所述第二稳定杆右端下方固定连接有接地稳定板，所述接地稳定板位于支脚的外端，所述第一稳定杆的右端和第二稳定杆的左端均固定连接有磁性块，所述磁性块位于连接杆上方固定的配重稳定三角块远离磁性板的侧面。
9.优选的，所述第一放置板的重量和数量少于第二放置板的重量和数量，所述第一放置板和第二放置板上表面均固定连接有减震海绵垫。
10.优选的，所述支脚左右两侧面均固定连接有翼板，所述翼板表面开设有两个定位螺孔，所述定位螺孔相配合于螺钉。
11.优选的，所述支脚下侧面开设有两个收纳槽，所述连接杆位于收纳槽的中部，所述收纳槽和配重稳定三角块相匹配。
12.优选的，所述连接杆的倾斜角度为五度到十度，所述连接杆上端固定的配重稳定三角块和磁性板相接触。
13.优选的，所述支撑杆内部左右两侧面均固定连接有粗糙面板，所述支撑杆内部盛放有阻尼油液。
14.优选的，所述所述磁性板和磁性块的磁性相斥。
15.本实用新型的上述技术方案具有如下有益的技术效果：
16.该稳定性好的晶圆放置架，通过设置的支脚、磁性板、磁性块和第一稳定杆以及第二稳定杆，当放置架本体倾斜时，支脚随着放置架本体同时倾斜，磁性板向倾斜的方向滑动，增大磁性板和磁性块之间的斥力，使得第一稳定杆或者第二稳定杆向外伸出，使得第一稳定杆或者第二稳定杆配合接地稳定板抵住地面，使得支脚不倾倒，从而达到了具有当晶圆放置架受到冲击后，晶圆放置架不会倾倒，提高晶圆放置架的稳定性能，避免了晶圆放置架倾倒而造成晶圆损坏的效果。
附图说明
17.图1为本实用新型的整体结构示意图；
18.图2为本实用新型的支脚结构示意图；
19.图3为本实用新型的支脚内部结构示意图；
20.图4为本实用新型的支撑杆内部结构示意图。
21.图中：1、放置架本体；2、第一放置板；3、第二放置板；4、减震海绵垫；5、减震弹簧环；6、支脚；7、支撑杆；8、翼板；9、定位螺孔；10、螺钉；11、接地稳定板；12、磁性板；13、第一稳定杆；14、滑块；15、配重稳定三角块；16、第二稳定杆；17、连接杆；18、收纳槽；19、粗糙面板；20、阻尼油液；21、磁性块。
具体实施方式
22.为使本实用新型的目的、技术方案和优点更加清楚明了，下面结合具体实施方式并参照附图，对本实用新型进一步详细说明。应该理解，这些描述只是示例性的，而并非要限制本实用新型的范围。此外，在以下说明中，省略了对公知结构和技术的描述，以避免不必要地混淆本实用新型的概念。
23.如图1
‑
4所示，本实用新型提出的一种稳定性好的晶圆放置架，包括放置架本体1，放置架本体1内部中部靠上方间隔均匀固定连接有第一放置板2，放置架本体1中部靠下方间隔均匀固定连接有第二放置板3，放置架本体1下方左右两端均固定连接有支撑杆7的上端，支撑杆7下端固定连接有支脚6上表面中部，支脚6内部中部上下表面均滑动连接有滑块14，两个滑块14之间固定连接有磁性板12，磁性板12左右两侧均设置有两个配重稳定三角块15，两个配重稳定三角块15之间固定连接有连接杆17，连接杆17和支脚6下侧面不接触，支脚6左侧面中部滑动连接有第一稳定杆13，支脚6右侧面中部滑动连接有第二稳定杆16，第一稳定杆13左端下方固定连接有接地稳定板11，第二稳定杆16右端下方固定连接有接地稳定板11，接地稳定板11位于支脚6的外端，第一稳定杆13的右端和第二稳定杆16的左端均固定连接有磁性块21，磁性块21位于连接杆17上方固定的配重稳定三角块15远离磁性板12的侧面。
24.本实施例中，需要说明的是，第一放置板2的重量和数量少于第二放置板3的重量和数量，第一放置板2和第二放置板3上表面均固定连接有减震海绵垫4，采用这样的设置方式，可以降低放置架本体1重心，使得放置架本体1的重心位于放置架本体1种下，提高放置架本体1的稳定性。
25.本实施例中，需要说明的是，支脚6左右两侧面均固定连接有翼板8，翼板8表面开设有两个定位螺孔9，定位螺孔9相配合于螺钉10，采用这样的设置方式，设置的翼板8可以增大支脚6和地面的接触面积，进一步提高放置架本体1的稳定性能。
26.本实施例中，需要说明的是，支脚6下侧面开设有两个收纳槽18，连接杆17位于收纳槽18的中部，收纳槽18和配重稳定三角块15相匹配，采用这样的设置方式，使得支脚6和地面接触时，配重稳定三角块15会被收纳槽18收纳，当支脚6部分脱离地面时，配重稳定三角块15从收纳槽18漏出，与地面接触。
27.本实施例中，需要说明的是，连接杆17的倾斜角度为五度到十度，连接杆17上端固定的配重稳定三角块15和磁性板12相接触，采用这样的设置方式，表面了连接杆17的倾斜角度较大，造成晶圆从放置架本体1中倾倒出来，当连接杆17倾斜时，带着配重稳定三角块15倾斜，配重稳定三角块15会推动磁性板12移动，增大磁性板12和磁性块21之间的斥力。
28.本实施例中，需要说明的是，支撑杆7内部左右两侧面均固定连接有粗糙面板19，支撑杆7内部盛放有阻尼油液20，采用这样的设置方式，增大的阻尼油液与粗糙面板19之间的摩擦力，把减震弹簧环5的弹性势能吸收，防止了减震弹簧环5回程时，造成放置架本体1震动。
29.本实施例中，需要说明的是，磁性板12和磁性块21的磁性相斥，采用这样的设置方式，可以使得第一稳定杆13和第二稳定杆16身处，抵在地面上，避免放置架本体1倾倒。
30.工作原理：当放置架本体1受到外部的冲击后，支脚6向前或者向后倾斜，当支脚6向前倾斜时，位于支脚6内部后方的配重稳定三角块15从收纳槽18中漏出与地面相接触，给支脚6一个向后的拉力，当支脚6继续向前倾斜时，连接杆17上方固定的配重稳定三角块15向前倾斜，把磁性板12向前推动，增大磁性板12和磁性块21之间的斥力，磁性块21和磁性板12之间的斥力推动第二稳定杆16向前滑动，在第二稳定杆16和接地稳定板11相配合，抵在地面上，防止了支脚6和放置架本体1倾倒，即支脚6倾斜很小的角度，就会使得第一稳定杆13或者第二稳定杆16配合接地稳定板11抵住地面，提高了放置架本体1的稳定性。
31.以上显示和描述了本实用新型的基本原理、主要特征和本实用新型的优点。本行业的技术人员应该了解，本实用新型不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的仅为本实用新型的优选例，并不用来限制本实用新型，在不脱离本实用新型精神和范围的前提下，本实用新型还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本实用新型范围内。本实用新型要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。