一种花篮清洗辅助装置及化学清洗设备的制作方法

1.本实用新型涉及化学清洗设备技术领域，具体涉及一种花篮清洗辅助装置及化学清洗设备。


背景技术：

2.在光伏单晶硅及高效异质结电池制备的槽式制绒工序中，会使用花篮作为载具对硅片进行装载运输，当硅片在化学液槽工艺完成后，会通过机械臂将花篮提出，经过化学液槽工艺的硅片必须进入di(去离子水)水槽进行清洗，保证花篮进入后续化学工艺槽的洁净度。
3.然而，在花篮从化学液槽提出时，花篮和硅片都会携带部分化学液，使化学液槽内化学液变少，进而使补液量变大，而增加化学液使用成本；同时，带有部分化学液的花篮和硅片在di水槽进行清洗时，导致di水槽中的化学液浓度变高，会降低di水槽内di水的使用寿命，需要频繁的换水保证di水槽的清洗效果。


技术实现要素：

4.因此，本实用新型要解决的技术问题在于克服现有技术中花篮在移出化学液槽时会携带部分化学液，使得化学液槽补液量变大和频繁更换di水的缺陷，从而提供一种花篮清洗辅助装置及化学清洗设备。
5.为解决上述技术问题，本实用新型提供了一种花篮清洗辅助装置，包括：
6.化学液槽，内部适于放置化学液，其顶部设有可供花篮进出所述化学液槽的顶部开口；
7.喷嘴，与气源相通，所述气源内的气体经过所述喷嘴喷出后用于对位于所述化学液槽正上方的花篮进行吹扫。
8.可选的，所述化学液槽上方设置有能开合的盖板，所述喷嘴设置在所述盖板上；所述盖板具有盖在所述化学液槽的顶部开口上的扣合状态，以及向外展开并使其上的所述喷嘴朝向所述化学液槽正上方设置的开启状态。
9.可选的，所述盖板包括相对设置的左盖板和右盖板，当所述盖板处于所述开启状态时，所述左盖板和所述右盖板挡在所述化学液槽上方空间的相对两侧。
10.可选的，当所述盖板处于所述开启状态时，所述喷嘴的开口朝向所述化学液槽的内部倾斜设置。
11.可选的，所述喷嘴的倾斜的角度范围为40度－50度，优选为45度。
12.可选的，所述喷嘴在所述盖板上呈矩阵式排列。
13.可选的，所述喷嘴设置在用于抓取花篮的机械臂上。
14.可选的，所述喷嘴的吹扫形状为扇形。
15.可选的，所述气源提供的气体为不活泼气体，所述不活泼气体包括氮气。
16.还提供了一种化学清洗设备，包括化学液槽、清洗槽、在所述化学液槽和所述清洗
槽之间转运花篮的机械手，以及设置在所述化学液槽上所述的花篮清洗辅助装置。
17.本实用新型技术方案，具有如下优点：
18.1.本实用新型提供的花篮清洗辅助装置，化学液槽内可以放置化学液，花篮可以通过顶部开口进出化学液槽，当花篮从化学液槽中出来时，与气源连通的喷嘴可以对化学液槽正上方的花篮进行吹扫，将花篮上携带的残余化学液吹落回化学液槽，减小化学液的消耗，延长化学液的补液周期，同时，尽可能减小花篮在进入下一工序时携带的残余化学液对对下一工序内的液体产生的影响。
19.2.本实用新型提供的花篮清洗辅助装置，在化学液槽上连接有盖板，将喷嘴设置在盖板上；当盖板处于开启状态时，喷嘴朝向化学液槽的正上方设置，喷嘴喷出的气体可以对从化学液槽正上方移动的花篮进行吹扫；将喷嘴设置在盖板上，无需在化学液槽上方额外设置用于安装喷嘴的部件，结构巧妙，节省空间。
20.3.本实用新型提供的花篮清洗辅助装置，盖板包括相对设置的左盖板和右盖板，在盖板处于开启状态时，左盖板和右盖板挡在化学液槽上方的相对两侧，喷嘴的朝向也相对设置。对花篮进行吹扫时，左盖板和右盖板上的喷嘴可相对进行吹扫，提高花篮的清洗效果；而且左盖板上喷嘴喷出的气源可以将花篮上携带的残余化学液吹落到右盖板上，然后残余化学液沿着右盖板回流至化学液槽内；同理，右盖板上喷嘴喷出的气源也可以将花篮上携带的残余化学液吹落到左盖板上，然后残余化学液沿着左盖板回流至化学液槽内，左盖板和右盖板能够使化学液尽可能多的回落至化学液槽内，避免喷嘴单方向吹扫可能将化学液吹落至化学液槽外的问题。
21.4.本实用新型提供的花篮清洗辅助装置，盖板处于开启状态时，喷嘴的开口朝向化学液槽的内部倾斜设置，有利于花篮上被吹落化学液回落至化学液槽内。
22.5.本实用新型提供的花篮清洗辅助装置，喷嘴在盖板上呈矩阵式排列，矩阵式排列的喷嘴，吹向花篮的气体能够对花篮各部分均匀的进行吹扫，使花篮各部分都能均匀受到吹扫，保证花篮上残留的化学液都能被吹到，提高花篮上残留的化学液的清洗效果。
23.6.本实用新型提供的花篮清洗辅助装置，将喷嘴设置在用于抓取花篮的机械臂上，使机械臂在抓取过程中对花篮进行吹扫，使花篮上残留的化学液回落至化学液槽内。
24.7.本实用新型提供的花篮清洗辅助装置，喷嘴的吹扫形状为扇形，增加喷嘴的吹扫面积，使花篮能够受到更多的吹扫，保证吹扫效果。
25.8.本实用新型提供的花篮清洗辅助装置，气源提供的气体为氮气，氮气为惰性气体，不会与化学液发生反应。
附图说明
26.为了更清楚地说明本实用新型具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本实用新型的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
27.图1为本实用新型实施例提供的花篮清洗辅助设备的结构示意图；
28.图2为本实用新型实施例提供的左盖板的结构示意图；
29.图3为本实用新型实施例提供的喷嘴的结构示意图；
30.图4为本实用新型实施例提供的化学清洗设备的结构视图。
31.附图标记说明：
32.1、左盖板；2、喷嘴；3、机械臂；4、右盖板；5、化学液槽；6、清洗槽。
具体实施方式
33.下面将结合附图对本实用新型的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
34.在本实用新型的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。
35.在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
36.此外，下面所描述的本实用新型不同实施方式中所涉及的技术特征只要彼此之间未构成冲突就可以相互结合。
37.实施例1
38.本实施例提供了花篮清洗辅助装置的一种具体的实施方式，如图1所示，包括用于放置有化学液的化学液槽5，在化学液槽5顶部设有顶部开口，花篮可以通过顶部开口进出化学液槽5。在化学液槽5顶部的位置转动连接有盖板，盖板上设有喷嘴2，盖板具有扣合状态和开启状态，喷嘴2连通有气源。当盖板处于开启状态时，盖板处于化学液槽5正上方的外周，盖板上的喷嘴2可以对化学液槽5正上方通过机械臂3移出的花篮进行吹扫，将花篮上携带的残余化学液吹落回化学液槽5，减小化学液的消耗，延长化学液的补液周期，同时，尽可能减小花篮在进入下一工序时携带的残余化学液对下一工序内的液体产生的影响。
39.其中，气源提供的气体为不活泼气体，本实施例中采用氮气，氮气不会与化学液发生反应，还可以采用惰性气体，惰性气体常温下很难跟其他物质发生反应，当然也不会与化学液发生反应，作为可以替换的气体，只要是不会与化学液发生反应的气体均可采用，不局限于仅使用氮气和惰性气体。本实施例中，氮气在花篮离开化学液槽时对花篮(及其硅片)进行吹扫，减少花篮将化学液带走量，从而达到节约化学液使用量，增加后工序水槽的使用寿命，同时也最大限度保证在同样工艺条件下的清洗效果。
40.盖板包括相对设置的左盖板1和右盖板4，在盖板处于开启状态时，左盖板1和右盖板4挡在化学液槽5上方的相对两侧，喷嘴2的朝向也相对设置。对花篮进行吹扫时，左盖板1和右盖板4上的喷嘴2可相对进行吹扫，提高花篮的清洗效果；而且左盖板1上喷嘴2喷出的气源可以将花篮上携带的残余化学液吹落到右盖板4上，然后残余化学液沿着右盖板4回流至化学液槽5内；同理，右盖板4上喷嘴2喷出的气源也可以将花篮上携带的残余化学液吹落
到左盖板1上，然后残余化学液沿着左盖板1回流至化学液槽5内，左盖板1和右盖板4能够使化学液尽可能多的回落至化学液槽5内，避免喷嘴2单方向吹扫可能将化学液吹落至化学液槽5外的问题，同时，将喷嘴2设置在盖板上，避免安装其余装置对喷嘴2进行固定，节省空间。
41.作为一种可替换的实施方式，盖板也可设为一个。当盖板处于开启状态时，盖板立于化学液槽5顶部一侧，在化学液槽5的另外一侧可选择设置与盖板相对的挡板，将喷嘴2设置在盖板上，喷嘴2朝向化学液槽的正上方设置，可以对从化学液槽5正上方移动的花篮进行吹扫；还可以在盖板的上方在设置一个固定板用于安装喷嘴2，使喷嘴2可以对花篮进行吹扫。
42.盖板处于开启状态时，喷嘴2的开口向下倾斜设置，本实施例中喷嘴2的倾斜角度范围为40度－50度，优选为向下倾斜45度，进一步使化学液更便于回落至化学液槽5。
43.如图2所示，喷嘴2在盖板上呈矩阵式排列，矩阵式排列的喷嘴2，吹向花篮的气体能够对花篮各部分均匀的进行吹扫，使花篮各部分都能均匀受到吹扫，保证花篮上残留的化学液都能被吹到。
44.喷嘴2也可以设置在用于抓取花篮的机械臂3上，可以与盖板同时设置，也可分别单独设置，使机械臂3在抓取过程中对花篮进行吹扫，使花篮上残留的化学液回落至化学液槽5内。
45.如图3所示，喷嘴2的吹扫形状为扇形，增加喷嘴2的吹扫面积，使花篮能够受到更多的吹扫，保证吹扫效果。
46.工作原理：
47.化学液槽5内放置有化学液，在化学液槽5顶部设有顶部开口，花篮可以通过顶部开口进出化学液槽5，在化学液槽5顶部的位置转动连接有左盖板1和右盖板4，盖板上设有喷嘴2，左盖板1和右盖板4处于开启状态时，左盖板1和右盖板4相对设置，使喷嘴2相对设置，吹出的气体在花篮位置处进行抵消水平冲力，形成向下的冲力，当花篮从化学液槽5中出来时，与气源连通的喷嘴2可以对化学液槽5正上方的花篮进行吹扫，使花篮上残余的化学液在中间位置回落至化学液槽5，减小化学液的消耗，延长化学液的补液周期，同时，尽可能减小花篮在进入下一工序时携带的残余化学液对下一工序内的液体产生的影响。
48.实施例2
49.本实施例提供了化学清洗设备的一种具体的实施方式，如图4所示，在化学液槽5一侧设有清洗槽6，在化学液槽5和清洗槽6之间设置有转运花篮的机械手，在机械手抓取花篮离开化学液槽5时，左盖板1和右盖板4上的喷嘴2对花篮进行吹扫，使花篮上的残余化学液回落至化学液槽5内，这样花篮在进入清洗槽6时，减小对清洗槽6内的液体影响，增加清洗槽6内液体的使用寿命。
50.显然，上述实施例仅仅是为清楚地说明所作的举例，而并非对实施方式的限定。对于所属领域的普通技术人员来说，在上述说明的基础上还可以做出其它不同形式的变化或变动。这里无需也无法对所有的实施方式予以穷举。而由此所引伸出的显而易见的变化或变动仍处于本实用新型的保护范围之中。