技术特征：
1.一种电子管，包括：壳体，内部保持真空并且包括透射电磁波的窗；电子发射单元，其配置于所述壳体中，并且包括响应于所述电磁波的入射而发射电子的超表面；电子倍增单元，其配置于所述壳体中，并且配置为倍增从所述电子发射单元发射的电子；以及电子收集单元，其配置于壳体中，并且配置为收集由所述电子倍增单元倍增的电子，其中，所述窗包括选自石英、硅、锗、蓝宝石、硒化锌、硫化锌、氟化镁、氟化锂、氟化钡、氟化钙、氧化镁和碳酸钙中的至少一种。2.根据权利要求1所述的电子管，其中，所述电子发射单元包括：基板，其包括设置有所述超表面的第一主面和与所述第一主面相对的第二主面，所述电子倍增单元包括：入射有从所述电子发射单元发射的电子的入射面，并且所述基板对通过窗的电磁波具有透射性，以所述第一主面面向所述电子倍增单元的所述入射面并且所述第二主面面向所述窗的方式设置。3.根据权利要求1所述的电子管，其中，所述电子倍增单元包括：入射有从所述电子发射单元发射的电子的入射面，并且所述超表面设置于所述窗，以面向所述电子倍增单元的入射面。4.根据权利要求1所述的电子管，其中，所述电子发射单元包括：基板，其包括设置有所述超表面的第一主面和与所述第一主面相对的第二主面，所述电子倍增单元包括：入射有从所述电子发射单元发射的电子的入射面，并且所述基板以所述第一主面面向所述窗以及所述电子倍增单元的入射面的方式设置。5.根据权利要求1至4中任一项所述的电子管，其中，所述超表面包含于图案化的氧化物层或图案化的金属层。6.根据权利要求1至5中任一项所述的电子管，其中，所述电子倍增单元和电子收集单元为二极管，并且一体地构成。7.根据权利要求1至5中任一项所述的电子管，其中，所述电子倍增单元包括多个彼此间隔的倍增电极，并且所述电子收集单元包括：阳极或二极管，其配置为收集由所述电子倍增单元倍增的电子。8.根据权利要求1至5中任一项所述的电子管，其中，所述电子倍增单元包括微通道板，并且所述电子收集单元包括：阳极或二极管，其配置为收集由所述电子倍增单元倍增的电子。9.根据权利要求1至5中任一项所述的电子管，其中，所述电子倍增单元包括微通道板，并且所述电子收集单元包括：荧光体，其配置为接收由所述电子倍增单元倍增的电子并发光。
10.一种摄像装置，包括：权利要求9所述的电子管，以及摄像单元，其配置为基于来自所述荧光体的光来捕获图像。
技术总结
本发明的电子管包括：壳体，其内部保持真空并具有透射电磁波的窗；电子发射单元，其配置于壳体中，并且具有响应于所述电磁波的入射而发射电子的超表面；电子倍增单元，其配置于壳体中，并且倍增从电子发射单元发射的电子，以及电子收集单元，其配置于在壳体中，并且收集由电子倍增单元倍增的电子。窗包括选自石英、硅、锗、蓝宝石、硒化锌、硫化锌、氟化镁、氟化锂、氟化钡、氟化钙、氧化镁和碳酸钙中的至少一种。种。种。
技术研发人员：藤田哲也 铃木贵博 宫崎泰英 河合直弥 P
受保护的技术使用者：丹麦技术大学
技术研发日：2020.06.19
技术公布日：2022/2/25