一种基板搬运机械手及基板搬运装置的制作方法

1.本实用新型涉及显示技术领域，特别涉及一种基板搬运机械手及基板搬运装置。


背景技术：

2.在液晶显示产品中，在玻璃基板上有一道重要的生产工艺-取向膜涂布工艺，取向膜的成型质量很重要，现有设备中，采用机械手搬运玻璃基板，一般是采用多个固定部件与玻璃基板接触固定之后进行空间内移动搬运，但是，在玻璃基板的一表面涂布取向膜之后，由于固定件与玻璃基板的另一表面接触固定，对玻璃基板具有一定的张力，且固定件与玻璃基板接触，固定件的温度会影响与玻璃基板接触部位的取向膜的温度，则会对刚刚涂布的取向膜具有一定的影响，导致玻璃基板上的取向膜涂布不均匀，造成成型不良。因此，如何使取向膜成型均匀是目前亟需解决的问题。


技术实现要素：

3.本实用新型公开了一种基板搬运机械手及基板搬运装置，该基板搬运机械手中，在承载架上，抓取组件可以与基板的非显示区的部分固定连接，基板的显示区的部位靠防接触组件非接触式支撑，同时防止二者接触，且基板的显示区温度不会受影响，有效保证取向膜的涂布均匀性，有利于提高取向膜成型质量，使取向膜成型良好。
4.为达到上述目的，本实用新型提供以下技术方案：
5.一种基板搬运机械手，包括：
6.承载架，所述承载架具有承载面；
7.安装于所述承载架且用于与所述基板的非显示区配合的抓取组件；
8.安装于所述承载架的防接触组件，所述防接触组件用于至少给所述基板的显示区的提供自所述承载面指向所述基板的方向的气体以支撑所述基板。
9.上述基板搬运机械手中，承载架为一抓取末端，可以用来承载基板，承载架具有承载面，基板安装在承载架的承载面，其中，具体地，在承载架上安装有抓取组件，抓取组件与基板的非显示区对应，基板与抓取组件固定安装，且抓取组件与基板接触固定时，是与基板的周边的非显示区的部位连接固定，避免碰触到基板涂布取向膜的部分，不会对基板上涂布的取向膜造成影响，且可以稳定的将基板固定在承载架上，方便承载架搬运基板，其中，由于抓取组件与基板的非显示区的部分固定连接，也就是抓取组件与基板的周边的部分支撑连接，将基板支撑起一定的高度，使基板与承载面之间具有间隔，为避免基板中间部位凹陷，保证基板平整，设置防接触组件，防接触组件可以与承载架相固定，防接触组件至少与基板的显示区对应，且沿垂直于承载面的方向，当基板固定于抓取组件时，基板朝向承载面的表面高于防接触组件朝向基板的表面，也就是防接触组件与基板之间具有一定的间隔，相对而言，基板安装在抓取组件上时，基板在抓取组件上方，基板的中部由于重力会出现下垂，防接触组件可以对基板的显示区提供气体，也就是防接触组件向基板吹气，气体可以对基板提供排斥力，阻止基板中部区域的部分下垂，对基板起到支撑作用，有效避免基板的显
示区部分接触到下方的部件，并且使基板整体平整，可以有利于取向膜成型良好，并且，其中，气体为具有一定气压的气体，防接触组件沿自承载面朝向基板的方向对基板吹气体，利用气体流对基板起到支撑作用，实现了对基板的显示区非接触式的气浮支撑，避免了现有技术中接触式支撑对基板显示区产生温度传导而影响基板上的取向膜成型，且支撑性好，避免对基板本身产生影响，利用气体支撑基板的显示区，既可以保证基板的平整性，又可以保证基板显示区的取向膜均匀性良好，保证成型质量。
10.因此，上述基板搬运机械手中，在承载架上，抓取组件可以与基板的非显示区的部分固定连接，基板的显示区的部位靠防接触组件非接触式支撑，可以起到更好的支撑作用，且基板的显示区温度不会受影响，有效保证取向膜的涂布均匀性，有利于提高取向膜成型质量，使取向膜成型良好。
11.可选地，所述防接触组件包括：
12.安装于所述承载架的承载面上、且用于与所述基板的显示区对应的吹气盘，所述吹气盘具有多个用于输出所述气体的通气孔，所述多个通气孔的出气口用于与所述基板相对；
13.用于提供所述气体的气体供给装置，所述气体供给装置与所述通气孔连通。
14.可选地，所述吹气盘通过固定连接架安装于所述承载架。
15.可选地，所述基板搬运机械手还包括与所述气体供给装置信号连接且用于控制所述气体供给装置的供气状态的供气控制装置。
16.可选地，所述承载架的承载面上设置有多个均匀间隔分布的所述吹气盘。
17.可选地，所述抓取组件包括用于与基板固定连接的固定部，所述固定部通过固定支架安装于所述承载架。
18.可选地，所述固定部通过弹性组件安装于所述固定支架，且所述弹性组件用于给所述固定部提供沿与所述承载面垂直的方向的弹力。
19.可选地，所述固定部包括真空吸盘。
20.可选地，所述抓取组件设置有多个，所述基板的每个角部均对应有所述抓取组件。
21.本实用新型还提供了一种基板搬运装置，包括如上述技术方案提供的任意一种基板搬运机械手。
附图说明
22.图1为本实用新型实施例提供的一种基板搬运机械手的结构示意图；
23.图2为本实用新型实施例提供的一种基板搬运机械手的结构示意图；
24.图3为图2中沿a向的结构示意图；
25.图4为本实用新型实施例提供的一种抓取组件与承载架的结构示意图；
26.图5为本实用新型实施例提供的一种抓取组件的结构示意图；
27.图6为本实用新型实施例提供的一种防接触组件的结构示意图；
28.图7为本实用新型实施例提供的一种吹气盘的结构示意图；
29.图标：1-承载架；2-抓取组件；3-防接触组件；4-基板；11-承载面；21-固定部；22-固定支架；23-弹性组件；31-吹气盘；32-固定连接架；311-通气孔。
具体实施方式
30.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
31.如图1至图3以及图6所示，本实用新型实施例提供了一种基板搬运机械手，包括：承载架1，承载架1具有承载面11；安装于承载架1且用于与基板4的非显示区配合以抓取基板的抓取组件2；安装于承载架的防接触组件3，防接触组件3用于至少给基板的显示区的提供自承载面指向基板的方向的气体排斥力。
32.上述基板搬运机械手中，承载架1为一抓取末端，可以用来承载基板，承载架1具有承载面，基板安装在承载架1的承载面，其中，具体地，在承载架1上安装有抓取组件2，抓取组件2与基板的非显示区对应，且抓取组件2与基板接触固定时，是与基板周边的非显示区的部位连接固定，避免碰触到基板涂布取向膜的部分，不会对基板上涂布的取向膜造成影响，且可以稳定的将基板固定在承载架1上，方便承载架1搬运基板，其中，由于抓取组件2与基板的非显示区的部分固定连接，也就是抓取组件2与基板的周边的部分支撑连接，将基板支撑起一定的高度，使基板与承载面之间具有间隔，为避免基板中间部位凹陷，保证基板平整，设置防接触组件3，防接触组件3可以与承载架1相固定，防接触组件3至少与基板的显示区对应，且沿垂直于承载面的方向，当基板固定于抓取组件2时，基板朝向承载面的表面高于防接触组件3朝向基板的表面，也就是使基板与防接触组件之间具有一定的间距d(如图3中所示出的间距d)，使基板与防接触组件的出气口可以具有一定的空间，便于防接触组件3与基板之间具有一定的间隔，相对而言，基板安装在抓取组件上时，基板在抓取组件上方，基板的中部由于重力会出现下垂，防接触组件可以对基板的显示区提供气体，也就是防接触组件向基板吹气，气体可以对基板提供排斥力，阻止基板的中部区域的部分下垂，对基板起到支撑作用，有效避免基板的显示区部分接触到下方的部件，并且使基板整体平整，可以有利于取向膜成型良好，具体地，可以设置基板与防接触组件之间的间距d为0.8
㎜
～1.5
㎜
，具体地可以为1
㎜
，并且，其中，气体为具有一定气压的气体，防接触组件3沿自承载面朝向基板的方向对基板吹气体，利用气体流对基板起到支撑作用，实现了对基板的显示区非接触式的气浮支撑，避免了现有技术中接触式支撑对基板显示区产生温度传导而影响基板上的取向膜成型，且支撑性好，避免对基板本身产生影响，利用气体支撑基板的显示区，既可以保证基板的平整性，又可以保证基板显示区的取向膜均匀性良好，保证成型质量。
33.因此，上述基板搬运机械手中，在承载架1上，抓取组件2可以与基板的非显示区的部分固定连接，基板的显示区的部位靠防接触组件3非接触式支撑，可以起到更好的支撑作用，且基板的显示区的取向膜的温度不会受影响，有效保证取向膜的涂布均匀性，有利于提高取向膜成型质量，使取向膜成型良好。
34.具体地，如图6所示，上述基板搬运机械手中，防接触组件3包括：安装于承载架1的承载面上、且用于与基板的显示区对应的吹气盘31，具体地，承载面上可以设置有与吹气盘31对应的开口，吹气盘31安装在承载面的开口，便于吹气盘31安装，以及其它通气部件设置，其中，如图7所示，吹气盘31具有多个用于输出气体的通气孔311，多个通气孔311的出气口与基板相对，可以对基板进行吹气支撑，具体的，吹气盘31上的多个通气孔均匀间隔分
布，可以提高支撑稳定性，其中，吹气盘上的通气孔数量可以设置为49个、50个或者其它数量，本实施例不做局限，并且，每个通气孔的直径可以设置为0.5
㎜
、0.6
㎜
，或者其它尺寸，本实施例不做局限；防接触组件3还包括用于提供气体的气体供给装置，气体供给装置与通气孔连通，具体地，可以通过输气管路连接气体供气装置和通气孔，同一个吹气盘31上的多个通气孔通过一个输气管连接于气体供给装置，其中，可以在输气管路上设置调压阀，可以调节吹气盘31喷出的气体的压力，从而调节对基板的支撑力，使用灵活性高，且有利于更好的支撑基板。
35.具体地，如图6所示，上述基板搬运机械手中，吹气盘31可以通过固定连接架32安装于承载架1，连接稳定性好，其中，上述输气管路可以穿过承载架1上的开口与吹气盘31连接，给吹气盘31的通气孔供气。
36.具体地，上述基板搬运机械手还包括与气体供给装置信号连接且用于控制气体供给装置的供气状态的供气控制装置。通过供气控制装置控制气体供给装置的供气状态，可以实现对气体供给装置进行自动控制，方便调节气体供给装置的供气状态，具体地，输气管路上的调压阀可以与供气控制装置信号连接，供气控制装置还可以对调压阀进行控制，通过控制调压阀调节输气管路输出的气体的压力从而实现调节对基板的支撑力，更方便的调节对基板的支撑。
37.具体地，如图2和图6所示，上述基板搬运机械手中，承载架1的承载面上设置有多个均匀间隔分布的吹气盘31，可以更好的对基板进行支撑，增加对基板的支撑均匀性，有利于保证基板平整性，保证基板上的取向膜成型良好；每个吹气盘31均通过输气管路与气体供给装置连接，可以通过气体供给装置对每个吹气盘31的供气状态的调节实现对吹气盘31的支撑效果，具体的，可以对多个吹气盘31中的部分吹气盘31进行多种组合控制，以便于配合不同尺寸的基板，或者，基板在配合在承载架1上不同方向的方式，比如，承载架1的承载面内具有第一方向和第二方向，第一方向与第二方向垂直，当基板的长边与第一方向平行放置时，可以称基板横向放置(如图1中虚线示出的基板)，当基板的长边与第二方向平行时，可以称基板纵向放置(如图1中实线示出的基板)，则，无论基板在承载架1上横行放置或者纵向设置，可以控制与基板的显示区对应的吹气盘31通气，对基板进行支撑。
38.具体地，如图4所示，上述基板搬运机械手中，抓取组件2包括用于与基板固定连接的固定部21，固定部21通过固定支架22安装于承载架1，固定部21与基板直接接触固定，将基板固定住，方便操作，既可以将基板固定在承载架1上便于搬运，又可以起到一定的支撑作用。
39.具体地，如图5所示，上述基板搬运机械手中，固定部21通过弹性组件23安装于固定支架22，且弹性组件23用于给固定部21提供沿与承载面垂直的方向的弹力，固定部21通过弹性组件23安装在固定支架22上，弹性组件23可以在垂直于承载面的方向具有一定的弹性伸缩，当固定部21固定基板后，防接触组件3对基板进行吹气支撑，弹性组件23可以给固定部21起到一定的缓冲作用，保证基板支撑平稳、平整。更具体地，弹性组件23可以包括弹簧。
40.具体地，上述基板搬运机械手中，固定部可以设置为真空吸盘，采用真空吸盘对基板进行吸附固定，操作简单，且稳定性好。具体地，真空吸盘对基板产生一定的吸力实现与基板固定连接，为保证基板稳固的与真空吸盘固定连接，控制中吸盘的吸力要大于防接触
组件吹气对基板产生的支撑力。
41.具体地，如图1和图2所示，上述基板搬运机械手中，抓取组件2设置有多个，基板的每个角部均对应有抓取组件2，抓取组件2对应的基板的非显示区设置，具体地，可以将抓取组件2对应基板的角部设置，如，基板一般为矩形，可以在承载架1中与基板的四个角部对应的部位各设置一个抓取组件2，使抓取组件2与基板的角部固定连接；具体地，针对基板在承载架1上放置位置不同，可以设置两组抓取组件2，每一组抓取组件2包括四个抓取组件2，其中，对于横向放置基板的位置，在承载架1上设置四个抓取组件2，该四个抓取组件2分别对应横向放置的基板的四个角部；对于纵向放置的基板的位置，在承载架1上设置另外四个抓取组件2，该四个抓取组件2分别对应纵向放置的基板的四个角部；需要说明的是，对于抓取组件2的具体的位置设置，可以根据实际需求进行布置，只要与基板的非显示区的部位对应设置，可以稳定的将基板固定在承载架1上即可，本实施例不做局限。
42.本实用新型还提供了一种基板搬运装置，包括如上述实施例提供的任意一种基板搬运机械手，基板搬运装置好包括与基板搬运机械手传动连接的机械臂，机械臂可以在空间内移动基板搬运机械手。上述基板搬运装置中，在基板搬运机械手的承载架1上，抓取组件2可以与基板的非显示区的部分固定连接，基板的显示区的部位靠防接触组件3非接触式支撑，可以起到更好的支撑作用，且基板的显示区温度不会受影响，有效保证取向膜的涂布均匀性，有利于提高取向膜成型质量，使取向膜成型良好。
43.显然，本领域的技术人员可以对本实用新型实施例进行各种改动和变型而不脱离本实用新型的精神和范围。这样，倘若本实用新型的这些修改和变型属于本实用新型权利要求及其等同技术的范围之内，则本实用新型也意图包含这些改动和变型在内。