技术特征：
1.一种电子束引出窗，其包括薄膜，其特征在于，所述电子束引出窗还包括：窗体，所述窗体的中部设置有窗口；至少一个第一格栅单元，所述第一格栅单元包括第一格栅槽，所述第一格栅槽沿纵向方向延伸设置；至少一个第二格栅单元，所述第二格栅单元包括第二格栅槽，所述第二格栅槽沿横向方向延伸设置，所述第一格栅单元与所述第二格栅单元间隔设置，且均位于所述窗口上，所述第二格栅单元相对于所述第一格栅单元沿扫描方向被配置于所述窗口的远端。2.如权利要求1所述的电子束引出窗，其特征在于，所述第二格栅单元的数量为两个，所述第一格栅单元的数量为一个，两个所述第二格栅单元分别设置于所述第一格栅单元的两侧。3.如权利要求1所述的电子束引出窗，其特征在于，所述窗体的内部还具有冷却流道，所述冷却流道环绕所述窗口设置且不通过所述窗口，所述冷却流道的进口和出口均设置于所述窗体的侧面。4.如权利要求1所述的电子束引出窗，其特征在于，所述薄膜完全覆盖于所述窗口，所述薄膜能够被电子束穿过。5.如权利要求1所述的电子束引出窗，其特征在于，所述薄膜靠近所述窗体的大气侧。6.如权利要求5所述的电子束引出窗，其特征在于，所述窗体的大气侧的表面设置有环绕所述窗口的第一密封槽，所述电子束引出窗还包括第一密封件，所述薄膜的边缘通过所述第一密封件嵌设于所述第一密封槽与所述窗体固定。7.如权利要求1所述的电子束引出窗，其特征在于，所述窗体的真空侧的表面设置有环绕所述窗口的第二密封槽，所述电子束引出窗还包括第二密封件，所述第二密封件嵌设于所述第二密封槽，所述第二密封件用于与电子束发生器的真空腔表面接触。8.如权利要求1所述的电子束引出窗，其特征在于，所述第一格栅槽和所述第二格栅槽的数量均为若干个，若干个所述第一格栅槽之间平行设置，若干个所述第二格栅槽之间平行设置。9.如权利要求1所述的电子束引出窗，其特征在于，所述窗体还包括加强筋，所述加强筋设于所述窗口内且位于所述第二格栅单元和所述第一格栅单元之间，所述加强筋沿纵向延伸设置，所述第二格栅槽的一端连接于所述加强筋。10.一种电子束发生器，其包括壳体，其特征在于，所述壳体内具有真空腔，所述电子束发生器还包括如权利要求1
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9中任意一项所述的电子束引出窗，所述电子束引出窗安装于所述壳体的开口。
技术总结
本实用新型公开了一种电子束引出窗及包含其的电子束发生器，该电子束引出窗包括：薄膜；窗体，窗体的中部设置有窗口；至少一个第一格栅单元，第一格栅单元包括第一格栅槽；至少一个第二格栅单元，第二格栅单元包括第二格栅槽，第一格栅单元与第二格栅单元间隔设置，且均位于窗口上，第二格栅单元相对于第一格栅单元沿扫描方向被配置于窗口的远端。该电子束引出窗利用了近端第一格栅槽长度短的优点，便于薄膜上的热量快速传导至窗体，同时，窗口被第一格栅单元和第二格栅单元分割，使得第二格栅槽的长度变短，有利于第二格栅单元中部的热量传导至窗体的边缘，延长薄膜及电子束引出窗的使用寿命。使用寿命。使用寿命。
技术研发人员：戴志敏 何子锋 周大勇 杨永金 黄建鸣 王永其 吴新时 林俊
受保护的技术使用者：中国科学院上海应用物理研究所
技术研发日：2021.03.15
技术公布日：2021/9/24