一种电子晶圆质量检测装置的制作方法

1.本实用新型涉及电子晶圆质量检测技术领域，特别涉及一种电子晶圆质量检测装置。


背景技术：

2.晶圆是指制作硅半导体电路所用的硅晶片，其原始材料是硅。高纯度的多晶硅溶解后掺入硅晶体晶种，然后慢慢拉出，形成圆柱形的单晶硅。硅晶棒在经过研磨，抛光，切片后，形成硅晶圆片，也就是晶圆。目前国内晶圆生产线以8英寸和12英寸为主，在其进行生产完成后需经过检测装置装置对其表面进行有效检测后方可进行使用。
3.传统的电子晶圆质量检测装置在使用时，无法有效的对待检测的晶圆进行固定，从而常在检测过程中发生偏移或倾斜，从而极大的影响了其检测的精确度，同时而无法对外部的撞击力进行缓冲，常使得检测装置发生碰撞或摩擦，从而极大的影响了电子晶圆质量检测装置的使用。


技术实现要素：

4.本实用新型的主要目的在于提供一种电子晶圆质量检测装置，可以有效解决背景技术中的问题。
5.为实现上述目的，本实用新型采取的技术方案为：
6.一种电子晶圆质量检测装置，包括机体，所述机体的前后表面均固定安装有四组带齿滑轨，且机体的前后表面的两组带齿滑轨位置之间活动安装有挡板，所述机体和挡板相互靠近的一侧外壁均开设有滑槽，且机体和挡板相均通过滑槽活动安装有两组硅胶垫，相互远离的两组所述硅胶垫相互靠近的一侧外壁位置之间活动安装有调节杆，且两组调节杆的上下表面位置之间活动安装有螺栓，相邻两组所述调节杆相互靠近的一侧外壁位置之间固定安装有两组压缩弹簧，且相邻两组调节杆相互靠近的一侧外壁分别固定安装有两组空心管和横杆，所述空心管的前后壁均开设有两组凹槽，且空心管通过凹槽活动安装有横板，相邻两组所述横板相互靠近的前后表面均固定安装有连接杆，且机体的上表面固定安装有安装架，所述安装架的前表面固定安装有电动滑轨，且安装架通过电动滑轨活动安装有检测头，所述机体的上表面固定安装有固定板，且固定板的两侧内壁和前后壁均固定安装有橡胶条。
7.优选的，四组所述橡胶条构成回形结构，且橡胶条的一侧外壁开设有安装槽。
8.优选的，所述挡板的横截面形状为凹形，且挡板和机体垂直贯穿连接。
9.优选的，相邻两组所述硅胶垫位于同一中轴线上，且硅胶垫与挡板水平分布。
10.优选的，相邻两组所述调节杆通过螺栓活动连接，且相邻两组调节杆之间的活动角度范围在五度至十五度。
11.优选的，相邻两组所述滑槽的下端设置在同一平面上，且硅胶垫位于滑槽的内部。
12.优选的，相邻两组所述压缩弹簧水平分布，且机体和挡板均与压缩弹簧垂直分布。
13.优选的，相邻两组所述连接杆水平分布，且横杆和空心管垂直贯穿连接。
14.与现有技术相比，本实用新型具有如下有益效果：
15.1、机体通过调节杆和带齿滑轨连接有挡板，在挡板受力时，可有效的将力传递至硅胶垫上，使其受力并将力进行缓冲，在将缓冲后的力传递至调节杆上，使得调节杆受力沿螺栓改变其自身夹角，并通过硅胶垫使其沿滑槽进行移动，从而改变其自身位置，挤压压缩弹簧，使得压缩弹簧受力产生形变缩短，而缩短后的压缩弹簧的反作用力将与外力进行缓冲，从而进行减震处理，而横杆在受力也将通过连接杆和横板沿凹槽进行移动，有效的确定了其移动轨迹，使其减震处理更加稳定。
16.2、机体通过固定板连接有橡胶条，可有效的将晶圆放置于橡胶条的内部，从而通过橡胶条上的安装槽对其进行有效的固定，从而降低晶圆在检测过程中发生移动，增加其检测的稳定性。
附图说明
17.图1为本实用新型一种电子晶圆质量检测装置的整体结构示意图；
18.图2为本实用新型一种电子晶圆质量检测装置中的固定板连接结构示意图；
19.图3为本实用新型一种电子晶圆质量检测装置中的调节杆连接结构示意图；
20.图4为本实用新型一种电子晶圆质量检测装置中的空心管内部结构示意图。
21.图中：1、机体；2、带齿滑轨；3、挡板；4、滑槽；5、硅胶垫；6、调节杆；7、螺栓；8、压缩弹簧；9、空心管；10、凹槽；11、横板；12、连接杆；13、横杆；14、安装架；15、电动滑轨；16、检测头；17、固定板；18、橡胶条。
具体实施方式
22.为使本实用新型实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体实施方式，进一步阐述本实用新型。
23.在本实用新型的描述中，需要说明的是，术语“上”、“下”、“内”、“外”“前端”、“后端”、“两端”、“一端”、“另一端”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
24.在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“设置有”、“连接”等，应做广义理解，例如“连接”，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体的情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
25.如图1-4所示，一种电子晶圆质量检测装置，包括机体1，机体1的前后表面均固定安装有四组带齿滑轨2，且机体1的前后表面的两组带齿滑轨2位置之间活动安装有挡板3，机体1和挡板3相互靠近的一侧外壁均开设有滑槽4，且机体1和挡板3相均通过滑槽4活动安装有两组硅胶垫5，相互远离的两组硅胶垫5相互靠近的一侧外壁位置之间活动安装有调节杆6，且两组调节杆6的上下表面位置之间活动安装有螺栓7，相邻两组调节杆6相互靠近的
一侧外壁位置之间固定安装有两组压缩弹簧8，且相邻两组调节杆6相互靠近的一侧外壁分别固定安装有两组空心管9和横杆13，空心管9的前后壁均开设有两组凹槽10，且空心管9通过凹槽10活动安装有横板11，相邻两组横板11相互靠近的前后表面均固定安装有连接杆12，且机体1的上表面固定安装有安装架14，安装架14的前表面固定安装有电动滑轨15，且安装架14通过电动滑轨15活动安装有检测头16，机体1的上表面固定安装有固定板17，且固定板17的两侧内壁和前后壁均固定安装有橡胶条18。
26.四组橡胶条18构成回形结构，且橡胶条18的一侧外壁开设有安装槽，橡胶条18上的安装槽对晶圆进行有效的固定，从而降低晶圆在检测过程中发生移动，增加其检测的稳定性。
27.挡板3的横截面形状为凹形，且挡板3和机体1垂直贯穿连接，凹形结构可有效的将机体1置于挡板3的内部，从而使得挡板3可更好的对机体1进行防护，有效的增加其安全性。
28.相邻两组硅胶垫5位于同一中轴线上，且硅胶垫5与挡板3水平分布，在挡板3受力时，可有效的将力均与的传递至硅胶垫5上，使得硅胶垫5有效的对外部撞击力进行缓冲，从而降低挡板3倾斜的可能。
29.相邻两组调节杆6通过螺栓7活动连接，且相邻两组调节杆6之间的活动角度范围在五度至十五度，在调节杆6受力时，调节杆6将沿螺栓7进行旋转，从而有效的调节相邻两组调节杆6之间的夹角大小，从而挤压压缩弹簧8，进行缓冲处理。
30.相邻两组滑槽4的下端设置在同一平面上，且硅胶垫5位于滑槽4的内部，在调节杆6受力时，可有效的通过硅胶垫5使其沿滑槽4进行移动，从而改变其自身角度位置。
31.相邻两组压缩弹簧8水平分布，且机体1和挡板3均与压缩弹簧8垂直分布，在挤压压缩弹簧8时，压缩弹簧8将受力产生形变缩短，而缩短后的压缩弹簧8的反作用力将与外力进行缓冲，从而进行减震处理。
32.相邻两组连接杆12水平分布，且横杆13和空心管9垂直贯穿连接，横杆13在受力时，将通过连接杆12和横板11沿凹槽10进行移动，有效的确定了调节板6的移动轨迹，使其减震处理更加稳定。
33.需要说明的是，在使用前将机体1水平放置，即可将晶圆放置于橡胶条18的内部，从而通过橡胶条18上的安装槽对其进行有效的固定，从而降低晶圆在检测过程中发生移动，增加其检测的稳定性，在有外力对挡板3进行撞击时，其挡板3可有效的将力传递至硅胶垫5上，使其受力并将力进行缓冲，在将缓冲后的力传递至调节杆6上，使得调节杆6受力沿螺栓7改变其自身夹角，并通过硅胶垫5使其沿滑槽4进行移动，从而改变其自身位置，挤压压缩弹簧8，使得压缩弹簧8受力产生形变缩短，而缩短后的压缩弹簧8的反作用力将与外力进行缓冲，从而进行减震处理，而横杆13在受力也将通过连接杆12和横板11沿凹槽10进行移动，有效的确定了调节板6移动轨迹，使其减震处理更加稳定。本实用新型为一种电子晶圆质量检测装置，可有效的对外力进行缓冲，从而降低外力对其产生损害，有效的增加其检测装置的稳定性，同时也可对待检测的晶圆进行固定，从而降低其在检测过程中发生移动，增加检测过程的准确度。
34.以上显示和描述了本实用新型的基本原理和主要特征和本实用新型的优点。本行业的技术人员应该了解，本实用新型不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是说明本实用新型的原理，在不脱离本实用新型精神和范围的前提下，本实用新型还
会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本实用新型范围内。本实用新型要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。