一种晶圆转移限位机构的制作方法

1.本实用新型涉及半导体加工领域，具体为一种晶圆转移限位机构。


背景技术：

2.近年来，随着电子产业的蓬蓬发展，随之而来的半导体加工行业的快速发展。在对晶圆生产加工过程中，需要对晶圆进行多道工序的加工，这就需要经常对晶圆进行转移，而在对晶圆转移的过程中一般是用机械手操作，而机械手在往工作台上放置时容易出现偏差，位置调整比较复杂，不利于降低生产成本。目前，没有一种辅助机械手放置晶圆的限位机构。


技术实现要素：

3.针对现有技术的不足，本实用新型提供了一种晶圆转移限位机构，该限位机构可以在机械手放置晶圆时对晶圆起到限位作用，保证放置的准确性，有效解决背景技术中提出的问题。
4.为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种晶圆转移限位机构，包括工作台和支腿，所述的工作台呈扁平的圆柱形，其特征在于：所述的工作台在晶圆移动方向的末端的端面上和晶圆放置位置的外侧端面上分别固定设有限位组件，所述的限位组件包括横向的固定块，所述的固定块内端部与工作台焊接固定，固定块上表面向下嵌有倒t形的滑道槽，所述的滑道槽轴向延伸至外端口，滑道槽中嵌有倒t形的滑块，滑块上侧与横块固定连接，横块内端部与竖块下端部外侧面固定连接，横块上向下旋拧有对横块限位的紧固螺栓；
5.所述的竖块上还套置有保护套件。
6.优选的，所述的紧固螺栓向下螺纹贯穿横块和滑块设置，下端面与滑道槽底面抵触。
7.优选的，所述的保护套件包括可滑动套置于竖块上的套环，套环外侧向内旋拧有对自身限位的限位螺栓，竖块内侧的套环外侧面粘接有橡胶块。
8.优选的，所述的竖块横截面为矩形结构。
9.优选的，所述的橡胶块呈竖向左右扁平的长方体状。
10.优选的，所述的固定块外端面还粘接有对滑块限位的塑料块，塑料块呈长方体结构。
11.优选的，所述的竖块和横块为铝合金板材一体弯折成型。
12.与现有技术相比，本实用新型提供了一种晶圆转移限位机构，具备以下有益效果：
13.1.本实用新型通过限位组件的设置，则当机械手放置晶圆时，晶圆移动方向末端的竖块和外侧的竖块可以分别对晶圆起到限位作用，从而利于机械手放置晶圆的准确性，利于晶圆制程的后续加工，节省了人工，降低了生产成本。
14.2.本实用新型通过竖块、横块和紧固螺栓的设置，使得竖块分别可以前后和左右
滑动，并通过紧固螺栓限位，以便适应不同直径的晶圆的限位，扩大了使用范围。
15.3.本实用新型通过保护套件的设置，可以通过橡胶块对放置晶圆时对晶圆边沿起到保护作用，降低破损率，限位螺栓可以根据晶圆的厚度调节位置并限位固定。
附图说明
16.图1为本实用新型的主视结构示意图；
17.图2为图1的俯视结构示意图；
18.图3为图1中a处的放大结构示意图；
19.图4为图2中b处的放大结构示意图。
20.图中标示：1.工作台；11.支腿；2.固定块；21.滑道槽；22.滑块；3.竖块；31.横块；4.紧固螺栓；5.保护套件；51.套环；511.橡胶块；52.限位螺栓。
具体实施方式
21.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
22.如图1至图4所示，一种晶圆转移限位机构，包括工作台1和支腿11，所述的工作台1呈扁平的圆柱形，所述的工作台1在晶圆移动方向(机械手送来的方向)的末端的端面上和晶圆放置位置的外侧端面(图中右侧为外侧，左侧为内侧，通常内侧是加工设备)上分别固定设有限位组件，所述的限位组件包括横向的固定块2，所述的固定块2内端部与工作台1焊接固定，固定块2上表面向下嵌有倒t形的滑道槽21，所述的滑道槽21轴向延伸至外端口，滑道槽21中嵌有倒t形的滑块22，滑块22上侧与横块31固定连接，横块31内端部与竖块3下端部外侧面固定连接，横块31上向下旋拧有对横块限位的紧固螺栓4。所述的竖块3上还套置有保护套件5。
23.上述实施例中，具体的，所述的紧固螺栓4向下螺纹贯穿横块31和滑块22设置，下端面与滑道槽21底面抵触，以达到限位的作用。所述的保护套件5包括可滑动套置于竖块3上的套环51，套环51外侧向内旋拧有对自身限位的限位螺栓52，竖块3内侧的套环51外侧面粘接有橡胶块511。
24.上述实施例中，具体的，所述的竖块3横截面为矩形结构。所述的橡胶块511呈竖向左右扁平的长方体状。
25.上述实施例中，更为具体的，所述的固定块2外端面还粘接有对滑块22限位的塑料块(图中未示出，防止滑块22滑脱)，塑料块呈长方体结构。所述的竖块3和横块31为一体弯折成型结构，采用铝合金材料制作而成。
26.工作原理：当机械手放置晶圆时，晶圆移动方向末端的竖块3和外侧的竖块3可以分别对晶圆起到限位作用，从而利于机械手放置晶圆的准确性，利于晶圆制程的后续加工。通过竖块3、横块31和紧固螺栓4的设置，使得竖块3分别可以前后和左右滑动，并通过紧固螺栓4限位，以便适应不同直径的晶圆的限位。通过保护套件5的设置，可以通过橡胶块511对放置晶圆时对晶圆边沿起到保护作用，降低破损率，限位螺栓52可以根据晶圆的厚度调
节位置并限位固定。
27.本实用新型中使用的部件均为通用标准件或本领域技术人员知晓的部件，其结构和原理均为本领域技术人员所熟知。
28.需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。
29.尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。


技术特征：
1.一种晶圆转移限位机构，包括工作台和支腿，所述的工作台呈扁平的圆柱形，其特征在于：所述的工作台在晶圆移动方向的末端的端面上和晶圆放置位置的外侧端面上分别固定设有限位组件，所述的限位组件包括横向的固定块，所述的固定块内端部与工作台焊接固定，固定块上表面向下嵌有倒t形的滑道槽，所述的滑道槽轴向延伸至外端口，滑道槽中嵌有倒t形的滑块，滑块上侧与横块固定连接，横块内端部与竖块下端部外侧面固定连接，横块上向下旋拧有对横块限位的紧固螺栓；所述的竖块上还套置有保护套件。2.根据权利要求1所述的一种晶圆转移限位机构，其特征在于：所述的紧固螺栓向下螺纹贯穿横块和滑块设置，下端面与滑道槽底面抵触。3.根据权利要求1所述的一种晶圆转移限位机构，其特征在于：所述的保护套件包括可滑动套置于竖块上的套环，套环外侧向内旋拧有对自身限位的限位螺栓，竖块内侧的套环外侧面粘接有橡胶块。4.根据权利要求1所述的一种晶圆转移限位机构，其特征在于：所述的竖块横截面为矩形结构。5.根据权利要求3所述的一种晶圆转移限位机构，其特征在于：所述的橡胶块呈竖向左右扁平的长方体状。6.根据权利要求1所述的一种晶圆转移限位机构，其特征在于：所述的固定块外端面还粘接有对滑块限位的塑料块，塑料块呈长方体结构。7.根据权利要求1所述的一种晶圆转移限位机构，其特征在于：所述的竖块和横块为铝合金板材一体弯折成型。

技术总结
本实用新型涉及半导体加工领域，且公开了一种晶圆转移限位机构，该限位机构可以在机械手放置晶圆时对晶圆起到限位作用，保证放置的准确性。包括工作台和支腿，所述的工作台在晶圆移动方向的末端的端面上和晶圆放置位置的外侧端面上分别固定设有限位组件，所述的限位组件包括横向的固定块，所述的固定块内端部与工作台焊接固定，固定块上表面向下嵌有倒T形的滑道槽，所述的滑道槽轴向延伸至外端口，滑道槽中嵌有倒T形的滑块，滑块上侧与横块固定连接，横块内端部与竖块下端部外侧面固定连接，横块上向下旋拧有对横块限位的紧固螺栓；所述的竖块上还套置有保护套件。它操作简单，使用方便，适用于多种规格的晶圆。适用于多种规格的晶圆。适用于多种规格的晶圆。


技术研发人员：丁桃宝 张志华
受保护的技术使用者：如东汇盛通半导体科技有限公司
技术研发日：2021.12.27
技术公布日：2022/6/3