一种带脉冲电源高压线电磁屏蔽层的倍频晶体激光器的制作方法

文档序号:30160805发布日期:2022-05-26 08:42阅读:208来源:国知局
一种带脉冲电源高压线电磁屏蔽层的倍频晶体激光器的制作方法

1.本发明涉及高频脉冲电子设备技术领域,具体为一种带脉冲电源高压线电磁屏蔽层的倍频晶体激光器。


背景技术:

2.目前高频脉冲电子设备,应用在激光器、激光雕刻、激光焊接;精密电镀;准分子紫外线发生器;222纳米紫外线杀菌杀毒设备;紫外线雕刻;芯片制造;抗干扰单脉冲雷达制造等高科技产品中,高频变化的高压包、高压导线、光源等,会产生很强的电磁干扰,干扰无线电通讯空间,并且会对一些电磁敏感设备带来损害,也使很多拟出口的电子产品,在检测中emc电磁传导不合格而不能取得欧盟32个国家的ce认证和出口美国、加拿大的fcc认证,导致巨大损失,因此,针对上述问题提出一种带脉冲电源高压线电磁屏蔽层的倍频晶体激光器。


技术实现要素:

3.本发明的目的在于提供一种带脉冲电源高压线电磁屏蔽层的倍频晶体激光器,以解决上述背景技术中提出的问题。
4.为实现上述目的,本发明提供如下技术方案:
5.一种带脉冲电源高压线电磁屏蔽层的倍频晶体激光器,包括金属罩、高压包、电源线和激光器,所述金属罩内侧设有高压包、电源线和激光器,所述高压包通过电源线和激光器电性连接在一起,所述高压包外侧通过铜箔纸涂胶层固定连接有铜箔纸,所述高压包内侧固定连接的变压器上固定连接有屏蔽线连接点,所述电源线外侧通过导电布涂胶层固定连接有涂胶布,所述激光器外侧通过激光器屏蔽外壳和固定板连接在一起,所述屏蔽线连接点上固定连接有第一屏蔽线和第二屏蔽线,所述第一屏蔽线另一端和导电布固定连接在一起,所述第二屏蔽线另一端和铜箔块固定连接在一起,所述铜箔块固定在激光器屏蔽外壳外侧的位置。
6.优选的,所述金属罩底端的位置和接地底板电性连接在一起,所述接地底板前端面和后端面均开设有螺纹孔,所述接地底板通过螺纹孔和固定螺杆与激光器外壳固定连接在一起,所述激光器外壳右端上侧开设有投射孔,所述投射孔内侧固定连接有橡胶盖。
7.优选的,所述高压包外侧固定连接的铜箔纸和金属罩电性连接在一起,所述第一屏蔽线和第二屏蔽线与金属罩之间电性连接在一起。
8.优选的,所述固定板固定在金属罩右侧上端内侧的位置,所述固定板上端面的位置固定在激光器外壳上端内侧的位置,所述激光器屏蔽外壳设置在固定板下端内侧的位置。
9.优选的,所述激光器、激光器屏蔽外壳和投射孔的中心点设置在同一水平面上。
10.优选的,所述铜箔纸为厚度0.065mm的铜箔制作而成,所述导电布的宽度为25mm。
11.优选的,所述高压包内侧固定连接的变压器外侧用ab胶封囊封装,所述ab胶外侧
通过铜箔纸涂胶层固定连接有铜箔纸,所述铜箔纸设置在高压包内侧的位置。
12.优选的,所述电源线为屏蔽导线,所述电源线的线芯为单根导线或者多根绞线,所述电源线的绝缘层为聚氯乙烯绝缘胶套或者聚四氟乙烯胶套,所述电源线护套为聚四氟乙烯护套或者无碱玻璃丝,所述电源线屏蔽层采用镀锡铜丝或镀锌钢丝编织、铝塑复合带、铜塑复合带绕包裹。
13.优选的,所述激光器包括激光发生器,所述激光器内侧从左到右依次固定连接有激光发生器、倍频晶体和石英散射透镜。
14.与现有技术相比,本发明的有益效果是:
15.1、本发明中,通过设置的锡箔纸、导电布、激光器屏蔽外壳和金属罩,可以在使用的过程中对激光器整体进行屏蔽,这样的方式更加的经济实惠,而且成本较低的同时便于操作,同时屏蔽效果较为良好,具有良好的实用价值,值得进行广泛的推广和使用;
16.2、本发明中,通过设置的激光器外壳、接地底板、投射孔和橡胶盖,可以在使用的过程中对高压包、电源线和激光器进行稳定的放置和保护,这样的设置可以有效地提高装置整体在使用过程中的稳定性,同时通过设置的橡胶盖在闲置的过程中工作人员需要使用橡胶盖对投射孔进行密封,这样可以放置激光器外壳内部进入灰尘的情况发生;
17.3、本发明中,采用对高压包内部的变压器进行封装绝缘和直接选用具有屏蔽功能电源线的方式,在使用的过程中可以提高安装的效率,更加的便捷,而且这样的设置在使用的过程中如果出现高压包或者电源线损坏时可以直接进行更换,具有良好的便捷性。
附图说明
18.图1为本发明整体结构示意图;
19.图2为本发明导电布安装位置结构示意图;
20.图3为本发明铜箔纸结构示意图;
21.图4为本发明导电布结构示意图;
22.图5为本发明激光器外壳内部结构示意图;
23.图6为本发明变压器安装位置结构示意图;
24.图7为本发明激光器结构示意图。
25.图中:1-激光器外壳、2-接地底板、3-固定螺杆、4-投射孔、5-橡胶盖、6-金属罩、7-螺纹孔、8-高压包、9-铜箔纸、10-铜箔纸涂胶层、11-电源线、12-导电布涂胶层、13-激光器屏蔽外壳、14-固定板、15-激光器、16-第一屏蔽线、17-第二屏蔽线、18-铜箔块、19-ab胶、20-导电布、21-屏蔽线连接点、22-变压器、1501-激光发生器、1502-倍频晶体、1503-石英散射透镜。
具体实施方式
26.在本发明的描述中,需要理解的是,方位词如“前、后、上、下、左、右”、“横向、竖向、垂直、水平”和“顶、底”等所指示的方位或位置关系通常是基于附图所示的方位或位置关系,仅是为了便于描述本发明和简化描述,在未作相反说明的情况下,这些方位词并不指示和暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位或者以特定的方位构造和操作,因此不能理解为对本发明保护范围的限制;方位词“内、外”是指相对于各部件本身的轮廓的内外。
27.此外,需要说明的是,使用“第一”、“第二”等词语来限定零部件,仅仅是为了便于对相应零部件进行区别,如没有另行声明,上述词语并没有特殊含义,因此不能理解为对本发明保护范围的限制。
28.实施例1:
29.请参阅图1、图2、图3、图4和图7,本发明提供一种技术方案:
30.一种带脉冲电源高压线电磁屏蔽层的倍频晶体激光器,可以得到窄带222纳米紫外线(用于人机共存(消毒)或者得到13.5纳米的极紫外光等等(euv光刻光源),包括金属罩6、高压包8、电源线11和激光器15,金属罩6内侧设有高压包8、电源线11和激光器15,高压包8通过电源线11和激光器15电性连接在一起,高压包8外侧通过铜箔纸涂胶层10固定连接有铜箔纸9,高压包8内侧固定连接的变压器22上固定连接有屏蔽线连接点21,电源线11外侧通过导电布涂胶层12固定连接有涂胶布20,激光器15外侧通过激光器屏蔽外壳13和固定板14连接在一起,屏蔽线连接点21上固定连接有第一屏蔽线16和第二屏蔽线17,第一屏蔽线16另一端和导电布20固定连接在一起,第二屏蔽线17另一端和铜箔块18固定连接在一起,铜箔块18固定在激光器屏蔽外壳13外侧的位置。
31.金属罩6底端的位置和接地底板2电性连接在一起,接地底板2前端面和后端面均开设有螺纹孔7,接地底板2通过螺纹孔7和固定螺杆3与激光器外壳1固定连接在一起,激光器外壳1右端上侧开设有投射孔4,投射孔4内侧固定连接有橡胶盖5,可以在使用的过程中对高压包8、电源线11和激光器15进行稳定的放置和保护,这样的设置可以有效地提高装置整体在使用过程中的稳定性,同时通过设置的橡胶盖5在闲置的过程中工作人员需要使用橡胶盖5对投射孔4进行密封,这样可以放置激光器外壳1内部进入灰尘的情况发生;高压包8外侧固定连接的铜箔纸9和金属罩6电性连接在一起,第一屏蔽线16和第二屏蔽线17与金属罩6之间电性连接在一起,电性连接可以使装置整体更好的接地;固定板14固定在金属罩6右侧上端内侧的位置,固定板14上端面的位置固定在激光器外壳1上端内侧的位置,激光器屏蔽外壳13设置在固定板14下端内侧的位置,通过设置的固定板14可以对激光器15进行稳定的限位和固定;激光器15、激光器屏蔽外壳13和投射孔4的中心点设置在同一水平面上,提高了装置在使用过程中的合理性;铜箔纸9为厚度0.065mm的铜箔制作而成,导电布20的宽度为25mm,便于对高压包8和电源线11进行电磁屏蔽,同时便于将铜箔纸9和导电布20分别安装在高压包8和电源线11外侧的位置,具有良好的实用性;激光器15包括激光发生器1501,所述激光器15内侧从左到右依次固定连接有激光发生器1501、倍频晶体1502和石英散射透镜1503,生产成本较低,而且可以避免对人体造成伤害,安全性更高。
32.工作流程:在需要对一种带脉冲电源高压线电磁屏蔽层的倍频晶体激光器进行制作的过程中,首先工作人员需要将高压包8和激光器15之间通过电源线11固定在一起,接着工作人员需要将铜箔纸9通过铜箔纸涂胶层10固定在高压包8外侧的位置,接着工作人员需要将导电布20通过导电布涂胶层12固定在电源线11外侧的位置,固定完成后,工作人员需要将第一屏蔽线16和第二屏蔽线17分别和导电布20与铜箔块18固定在一起,固定完成后将高压包8、电源线11和激光器15放置在金属罩6内侧的位置并通过固定板14进行固定的同时需要注意高压包8、电源线11和激光器15与金属罩6电性连接在一起,接着工作人员将金属罩6放置在激光器外壳1中进行固定,固定的过程中,工作人员需要注意将激光器15和投射孔4进行对齐,在闲置的过程中工作人员需要使用橡胶盖5对投射孔4进行密封,这样可以放
置激光器外壳1内部进入灰尘的情况发生,具有良好的密封性和保护效果,同时这样对激光器15整体进行屏蔽的方式更加的经济实惠,而且成本较低的同时便于操作,同时屏蔽效果较为良好,具有良好的实用价值,值得进行广泛的推广和使用。
33.实施例2:
34.请参阅图1、图3、图4、图5、图6和图7,本发明提供一种技术方案:
35.一种带脉冲电源高压线电磁屏蔽层的倍频晶体激光器,可以得到窄带222纳米紫外线(用于人机共存(消毒)或者得到13.5纳米的极紫外光等等(euv光刻光源),包括金属罩6、高压包8、电源线11和激光器15,金属罩6内侧设有高压包8、电源线11和激光器15,高压包8通过电源线11和激光器15电性连接在一起,高压包8外侧通过铜箔纸涂胶层10固定连接有铜箔纸9,高压包8内侧固定连接的变压器22上固定连接有屏蔽线连接点21,电源线11外侧通过导电布涂胶层12固定连接有涂胶布20,激光器15外侧通过激光器屏蔽外壳13和固定板14连接在一起,屏蔽线连接点21上固定连接有第一屏蔽线16和第二屏蔽线17,第一屏蔽线16另一端和导电布20固定连接在一起,第二屏蔽线17另一端和铜箔块18固定连接在一起,铜箔块18固定在激光器屏蔽外壳13外侧的位置。
36.高压包8内侧固定连接的变压器22外侧用ab胶19封囊封装,ab胶19外侧通过铜箔纸涂胶层10固定连接有铜箔纸9,铜箔纸9设置在高压包8内侧的位置,可以在高压包8内部直接对变压器22进行封装用来进行电磁屏蔽;电源线11为屏蔽导线,电源线11的线芯为单根导线或者多根绞线,电源线11的绝缘层为聚氯乙烯绝缘胶套或者聚四氟乙烯胶套,电源线11护套为聚四氟乙烯护套或者无碱玻璃丝,电源线11屏蔽层采用镀锡铜丝或镀锌钢丝编织、铝塑复合带、铜塑复合带绕包裹,这样的设置在使用的过程中可以提高安装的效率,更加的便捷,而且这样的设置在使用的过程中如果出现高压包8或者电源线11损坏时可以直接进行更换,具有良好的便捷性。
37.与实施列1中相同的部分不在进行阐述,不同之处在:
38.工作人员在对高压包8进行屏蔽的过程中,可以首先通过ab胶19封囊封装变压器22,然后在ab胶19外侧通过铜箔纸涂胶层10固定连接有铜箔纸9,最后将封装完成的变压器22放置在高压包8中进行使用,而且在对装置进行组装的过程中工作人员可以采用具有屏蔽效果的电源线11进行使用,这样的设置在使用的过程中可以提高安装的效率,更加的便捷,而且这样的设置在使用的过程中如果出现高压包8或者电源线11损坏时可以直接进行更换,具有良好的便捷性。
39.本文中应用了具体个例对本发明的原理及实施方式进行了阐述,以上实例的说明只是用于帮助理解本发明的方法及其核心思想。以上所述仅是本发明的优选实施方式,应当指出,由于文字表达的有限性,而客观上存在无限的具体结构,对于本技术领域的普通技术人员来说,在不脱离本发明原理的前提下,还可以做出若干改进、润饰或变化,也可以将上述技术特征以适当的方式进行组合;这些改进润饰、变化或组合,或未经改进将发明的构思和技术方案直接应用于其它场合的,均应视为本发明的保护范围。
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