自支撑三维器件及其制备方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及三维微纳器件技术领域，特别是涉及一种自支撑三维器件及其制备方法。
【背景技术】
[0002]随着微电子工艺的发展，器件向着小型化发展的困难也在逐步增大，三维器件的构造无疑成为提高器件集成密度的一个重要途径。因此，寻找一种三维可控的空间微纳米结构的制造方法已经引起越来越多人的关注。目前有人利用离子束辐照控制薄膜形变来制备三维结构的工艺，其是通过在自支撑的银膜上利用聚焦离子束刻蚀出悬臂结构，然后再用离子束辐照使银悬臂发生形变，获得了可以在空间自由取向的三维金属结构。这种三维金属结构可用于光电器件的设计，如基于表面等离基元的探测器、宽波段光学调制器，以及三维SQUID磁探测器等。
[0003]但是上述制备工艺得到的具有三维结构的微纳器件均是以大面积金属薄膜作为载体，所有的三维的微纳器件都与母体金属薄膜相连，其在某些要求各个三维的微纳器件相互绝缘或者要求每个微纳器件的某些部分不能被金属短接等领域无法推广应用。
【发明内容】
[0004]本发明的目的是要提供一种自支撑三维器件及其制备方法，该方法操作简单，且得到的各个自支撑三维器件相互绝缘。
[0005]为了实现上述目的，根据本发明的一个方面，提供了一种制备自支撑三维器件的方法，包括:步骤S1:提供一自支撑的绝缘介质薄膜，该绝缘介质薄膜具有基本平坦的上表面；步骤S2:在绝缘介质薄膜的上表面上形成导电层和至少一个具有预定图案的器件单元，以形成一复合层结构；步骤S3:对复合层结构进行切割，以得到至少一个与复合层结构成局部连接的悬空部；其中，每一悬空部具有对应的一个器件单元；步骤S4:采用离子束辐照悬空部，以使得导电层发生变形，从而带动悬空部绕其与复合层结构的局部连接部向远离绝缘介质薄膜的方向弯曲；步骤S5:去除至少一部分导电层，得到绝缘的自支撑三维器件。
[0006]进一步地，在步骤S2中，在绝缘介质薄膜的上表面上形成多个器件单元；并且，在步骤S5中，去除部分导电层，以使得任意两个器件单元之间彼此绝缘。
[0007]进一步地，在步骤S5中，导电层最多仅保留与器件单元的预定图案相对应的部分。
[0008]进一步地，在步骤S5中，导电层被全部去除。
[0009]进一步地，在步骤S2中:在绝缘介质薄膜的上表面上形成导电层，然后在导电层上形成器件单元；或者，在绝缘介质薄膜的上表面上形成器件单元，然后在绝缘介质薄膜的上表面上形成导电层，以使得器件单元处于绝缘介质薄膜与导电层之间。
[0010]进一步地，悬空部与复合层结构沿连续的直线连接。
[0011]进一步地，导电层为金属材料；优选地，形成导电层的材料选自铬、金和铜中的一种或多种；可选地，导电层的厚度为3?10nm。
[0012]进一步地，形成器件单元的材料选自金、银、铜、铝、镍、钛、铬、IT0、氧化锌、氧化钛和氟化镁中的一种或多种；可选地，绝缘介质薄膜为氮化硅。
[0013]进一步地，制备自支撑三维器件的方法还包括:具有窗口的基底；绝缘介质薄膜形成在基底上并覆盖窗口。
[0014]根据本发明的另一方面，还提供了一种自支撑三维器件，其采用上述的任一种方法制备而成。该自支撑三维器件包括:具有窗口的基底；自支撑的绝缘介质薄膜，该绝缘介质薄膜形成在基底上并覆盖窗口，并且该绝缘介质薄膜具有:在一延伸平面内延伸的主体部；和从主体部切出的至少一个悬空部，悬空部与主体部成局部连接并偏离出主体部的延伸平面；在每一悬空部上形成的器件单元，该器件单元具有预定图案。
[0015]进一步地，在器件单元与绝缘介质薄膜的悬空部之间形成有与器件单元具有相同形状和尺寸的金属层。
[0016]进一步地，金属层的材料选择成能够在离子辐照时弯曲变形。
[0017]进一步地，形成金属层的材料为铬、金或铜。
[0018]进一步地，金属层的厚度为3?10nm。
[0019]进一步地，悬空部是通过离子束辐照使其向远离绝缘介质薄膜的方向弯曲得到的；优选地，悬空部为矩形。
[0020]进一步地，器件单元直接形成在绝缘介质薄膜的悬空部上。
[0021]进一步地，悬空部与主体部沿连续的直线连接。
[0022]进一步地，器件单元的预定图案为“U”形或三角形结构。
[0023]进一步地，悬空部与器件单元重叠。
[0024]应用本发明的技术方案，发明人创造性地采用自支撑的微纳米绝缘介质薄膜作为衬底，在其上蒸镀导电金属层，并结合微纳金属图形制备工艺，在导电金属层上形成一个或多个具有预定图案的器件单元。通过对该器件单元进行切割得到悬空部，采用电子束辐照悬空部诱导其绕与绝缘介质薄膜的局部连接处发生弯曲变形，使得悬空部在绝缘介质薄膜上形成具有三维结构的微纳器件。去除导电金属层，露出绝缘介质层，从而首次在自支撑的绝缘介质薄膜制备出了具有三维结构且相互绝缘的微纳器件。
[0025]采用本发明的技术方案具有以下效果:
[0026]I)采用自支撑的绝缘介质薄膜作为衬底，在其表面上涂覆导电金属层后进行绝缘介质薄膜的微纳加工。若不涂覆导电层，入射到介质薄膜上的电子或者离子的电荷不能够被及时传导出去，逐渐积累的电荷会使得后续电子或者离子发生偏移，不能精确定位到所需位置，从而降低加工精度。因此，通过涂覆导电层能够有效避免局部电荷积累造成的图形变形和加工精度降低的问题，而且去除导电金属层后不影响具有三维结构的单个微纳器件或多个微纳器件间的绝缘特性。
[0027]2)本发明采用离子束辐照，使得绝缘介质薄膜平面内的悬空部发生可控的三维形变，从而实现了所承载的金属图形的三维取向可控。本发明所提供的制备方法不仅工艺灵活、可控性好、成本低且可大面积制备，而且在制备过程中可以对三维微纳器件上预定图案的结构、形貌、尺寸和周期进行设计，从而制备出材料种类较多、功能独特且结构复杂的自支撑三维器件，为微纳器件的应用提供了新技术。
[0028]3)本发明的方法可以制备出具有三维结构且相互绝缘的自支撑三维器件，避免了其在外加电磁场激发时各个单元之间存在短接的问题。此外，本发明所提供的方法可以批量生产，从而得到具有相同或不同微纳米功能结构的三维结构器件阵列。
[0029]根据下文结合附图对本发明具体实施例的详细描述，本领域技术人员将会更加明了本发明的上述以及其他目的、优点和特征。
【附图说明】
[0030]后文将参照附图以示例性而非限制性的方式详细描述本发明的一些具体实施例。附图中相同的附图标记标示了相同或类似的部件或部分。本领域技术人员应该理解，这些附图未必是按比例绘制的。附图中:
[0031]图1是本发明一个实施例中制备相互绝缘的自支撑器件的工艺流程图；
[0032]图2是按照图1中的工艺流程制备出的具有“U”形预定图案的微纳器件的结构示意图；以及
[0033]图3是本发明一个实施例中制备出的具有“U”形预定图案的微纳器件的扫描电子显微镜照片。
【具体实施方式】
[0034]如图1所示，本发明提供了一种制备自支撑三维器件的方法，包括:步骤S1:提供一个具有基本平坦的上表面11的自支撑绝缘介质薄膜10。图1的步骤①为基底50上覆盖有介质薄膜层10的结构示意图。绝缘介质薄膜10形成在具有窗口的基底50上，并