开始动作之前需要预定的待机时间(例如ATb，ATd) ο控制部1B和图2的控制部10相同，根据从通过存储在非易失性存储部22中的时刻数据得到的第一时刻TO到输出下一次的系统启动指令的第二时刻T3为止的时间Λ Tc，计算设备24a、24b的动作停止时间(ATc-ATa)。并且，如果该动作停止时间超过预定的待机时间Λ Tb，则允许设备24a的动作重新开始，如果动作停止时间超过预定的待机时间ATd，则允许设备24b的动作重新开始。另一方面，当动作停止时间在待机时间ATb以内时，禁止设备24a动作的重新开始，当动作停止时间在待机时间ATd以内时，禁止设备24b的动作重新开始。
[0057]在上述实施方式中，通过气压检测器17检测激光气体的气压，但是还可以设置检测表示激光振荡器I的动作状态的其他物理量的物理量检测部，将该检测出的物理量和检测出供给电力下降的时刻TO (第一时刻)的时刻数据一起存储在非易失性存储部22中。可以在非易失性存储部22只存储第一时刻TO的时刻数据。
[0058]在上述实施方式(图2，图7，图9)中，根据从通过存储在非易失性存储部22中的时刻数据得到的第一时刻TO到输出下一次的系统启动指令的第二时刻T3为止的供给电力的下降检测时间Λ Tc，计算送风机7或激光电源6、外部设备24等设备的动作停止时间。即，从供给电力的下降检测时间ATc减去预先确定的启动停止判定时间ATa来计算设备的动作停止时间(△ Tc- △ Ta)，如果在动作停止时间超过预定的待机时间时，允许设备的动作重新开始，并且在动作停止时间在待机时间以内时，禁止的动作设备重新开始，那么图2，图9中的作为控制装置的控制部10的结构以及图7中的作为控制装置的控制部10和电器接触器23的结构可以是任意的。例如，当检测出来自电源部20的供给电力下降时，可以立刻将设备的启动指令设为关。在图7中，控制部10经由电磁接触器23控制激光电源6的启动，但是控制部10也可以不经由电磁接触器23而直接控制激光电源6的启动。在图3、图8中表示了在电力恢复的时刻Τ3的设备的动作停止时间(ATc-ATa)，但是随着从时刻Τ3开始的时间经过，对动作停止时间加上该部分时间。即，在从时刻Τ3经过了预定时间Δ T的时刻(例如时刻Τ3和时刻Τ2之间的时刻)，设备的动作停止时间加上该预定时间，成为ATc-ATa+AT。
[0059]能够任意地将上述实施方式和一个或多个变形例进行组合。
[0060]根据本发明，根据从通过存储在非易失性存储部中的时刻数据得到的第一时刻到输出下一次的系统启动指令的第二时刻T2为止的时间，计算设备的动作停止时间，当该动作停止时间在预定的待机时间以内时，禁止设备重新开始动作。由此，能够防止由于动作停止时间短而造成的设备的损伤。
[0061]以上与优选实施方式相关联地说明了本发明，但是本领域技术人员应该理解，在不脱离权利要求书保护范围的情况下能够进行各种修正以及变更。
【主权项】
1.一种气体激光系统，其特征在于， 具备: 电源部； 激光振荡器，其通过从该电源部提供的电力进行动作，包含在由于来自上述电源部的供给电力的下降而停止了动作后，在正常地开始动作之前需要预定的待机时间的设备； 控制装置，其控制上述激光振荡器； 电力下降检测部，其检测低于能够使上述激光振荡器正常动作的电力值的、来自上述电源部的供给电力的下降；以及 非易失性存储部，其存储通过上述电力下降检测部检测出供给电力下降的第一时刻的时刻数据， 上述控制装置根据从通过上述非易失性存储部中存储的时刻数据得到的上述第一时刻到输出下一次的系统启动指令的第二时刻的时间，计算上述设备的动作停止时间，当该动作停止时间超过上述预定的待机时间时，允许上述设备的动作重新开始，在上述动作停止时间在上述预定的待机时间以内时，禁止上述设备的动作重新开始。
2.—种气体激光系统，其特征在于， 具备:电源部; 激光振荡器，其通过从该电源部提供的电力进行动作； 设备，其通过从上述电源部提供的电力进行动作，在由于来自上述电源部的供给电力的下降而停止了动作后，在正常地开始动作之前需要预定的待机时间； 控制装置，其控制上述激光振荡器以及上述设备； 电力下降检测部，其检测低于能够使上述激光振荡器正常动作的电力值的、来自上述电源部的供给电力的下降；以及 非易失性存储部，其存储通过上述电力下降检测部检测出供给电力下降的第一时刻的时刻数据， 上述控制装置根据从通过上述非易失性存储部中存储的时刻数据得到的上述第一时刻到输出下一次的系统启动指令的第二时刻的时间，计算上述设备的动作停止时间，当该动作停止时间超过上述预定的待机时间时，允许上述设备的动作重新开始，在上述动作停止时间在上述预定的待机时间以内时，禁止上述设备的动作重新开始。
3.根据权利要求1或2所述的气体激光系统，其特征在于， 上述控制装置在从上述电力下降检测部检测出供给电力下降开始经过预定时间后，输出上述设备的动作停止信号，上述动作停止时间从输出了上述动作停止信号的时刻开始计时。
4.根据权利要求1?3中的任意一项所述的气体激光系统，其特征在于， 还具备物理量检测部，其检测表示上述激光振荡器的动作状态的物理量， 上述非易失性存储部把在上述第一时刻通过上述物理量检测部检测出的物理量与上述第一时刻的时刻数据一同进行存储。
5.根据权利要求4所述的气体激光系统，其特征在于， 上述控制装置执行存储处理，以使上述非易失性存储部周期性地将上述物理量检测部检测出的物理量与时刻数据一同进行存储，当上述电力下降检测部检测出供给电力下降时，中止上述存储处理。
6.根据权利要求4或5所述的气体激光系统，其特征在于， 上述物理量检测部检测上述激光振荡器内的激光气体的气压， 上述非易失性存储部存储由上述物理量检测部检测出的上述第一时刻的气压， 上述控制装置根据在上述非易失性存储部中存储的上述第一时刻的气压，在上述电源部的供给电力恢复后，将上述气压控制为目标气压，在将气压控制为上述目标气压后，允许上述激光振荡器的放电动作。
7.根据权利要求1?6中的任意一项所述的气体激光系统，其特征在于， 上述设备具备第一设备以及第二设备，其在由于来自上述电源部的供给电力的下降而停止了动作后，在正常地开始动作之前分别需要第一待机时间和第二待机时间， 上述控制装置在从上述第一时刻到上述第二时刻的上述时间在上述第一待机时间以内时，禁止上述第一设备的动作的重新开始，在上述时间在上述第二待机时间以内时，禁止上述第二设备的动作的重新开始。
【专利摘要】本发明提供一种电力供给恢复时能短时间无损伤地再启动的气体激光系统。该气体激光系统具备：激光振荡器，其包含在由于来自电源部的供给电力的下降而停止了动作后，在正常地开始动作之前需要预定的待机时间的设备；控制装置，其控制激光振荡器；电力下降检测部；以及非易失性存储部，其存储通过电力下降检测部检测出供给电力下降的第一时刻的时刻数据。控制装置根据从通过非易失性存储部中存储的时刻数据而得到的第一时刻到输出下一次的系统启动指令的第二时刻的时间，计算设备的动作停止时间，当该动作停止时间超过预定的待机时间时，允许设备的动作重新开始，在动作停止时间在预定的待机时间以内时，禁止设备的动作重新开始。
【IPC分类】H01S3-097
【公开号】CN104821479
【申请号】CN201510050358
【发明人】宫田龙介
【申请人】发那科株式会社
【公开日】2015年8月5日
【申请日】2015年1月30日
【公告号】DE102015000972A1, US20150222076