射频激光器电极可调装置的制造方法
【专利说明】一种CO2射频激光器电极可调装置
[0001]
技术领域
[0002]本发明涉及CO2射频激光器设备技术领域，具体涉及一种CO2射频激光器电极可调
目.ο
【背景技术】
[0003]射频激励扩散冷却板条波导CO2激光器被称为第四代气体激光器，以独特的优势如:体积小、重量轻、结构紧凑、安装方便(可直接安装在工业机器的臂上，门式切割机的横梁上)、封离运行、免维护、低成本、调制特性优良、光电转换效率搞、输出光束质量高、功率稳定性优异、运行可靠性高和使用寿命长等逐渐受到人们的青睐，市场对于高功率板条CO2激光器的需求也越来越大，因此关于板条波导CO2激光器的研究将成为气体激光发展的重要创新方向。
[0004]目前的板条电极CO2射频激光器的相关核心技术主要还是被国外相关机构垄断，目前可以生产稳定0)2射频激光器的公司在国际上只有四家，即相干、新锐、罗芬、宙斯。在CO2激光器的生产过程中，电极的设计至关重要，是激光器的核心部分，它的相关参数对最后激光器的性能至关重要，所以电极的设计可以说是CO2激光器设计过程中最重要的一个环节。传统0)2射频激光器电极在电极进行精加工安装后，电极之间的距离就无法再调整，而电极之间的距离直接关乎激光的产生，根据实际需要电极之间的距离可能需要进一步优化调整，这就需要重新拆装激光器腔体，甚至有时要修改激光器中相关器件的尺寸参数，使用非常不方便。
【发明内容】
[0005]本发明的目的是提供一种CO2射频激光器电极可调装置，从而克服目前市场上传统的0)2射频激光器电极在电极进行精加工安装后，电极之间的距离就无法再调整，当电极需要优化调整，则需要重新拆装激光器腔体甚至要修改相关器件的尺寸参数，由于激光器腔体为真空腔体，属于精密部件，上述调整方式不但需要借助专业器械和人员，而且会影响激光器腔体的精度。
[0006]本发明通过以下技术方案实现:
一种C02射频激光器电极可调装置，包括真空腔体(I )，真空腔体(I)内设置有上电极
(3)、下电极(4)，上电极(3)、下电极(4)之间通过匹配电感(5)连接，其特征在于:所述真空腔体(I)两侧对称固定设置有端盖(2)，下电极(4)通过底板(6)与真空腔体(I)底部内壁固定，上电极(3 )设置有高度调节装置；
所述的高度调节装置包括一组呈直角三角形设置的上调节滑块(7)、下调节滑块(8)，上调节滑块(7)、下调节滑块(8)的斜面相对设置，且整体呈矩形形状，上调节滑块(7)与下调节滑块(8)的一侧直角边均设置有调节螺杆(10)，调节螺杆(10)与真空腔体(I)两侧对称设置的端盖(2)可调连接；
所述下调节滑块(8)底部两侧通过对称设置的绝缘瓷片(9)与上电极(3)上表面连接，上电极(3 )沿长度方向侧端的中央位置设置有射频信号连接座(11)。
[0007]本发明进一步技术改进方案是:
所述固定下电极(4)底板(6)的两侧对称设置有用于固定输出镜、反射镜的镜片安装架(12)。
[0008]本发明进一步技术改进方案是:
所述绝缘瓷片(9)厚度为0.2mm。
[0009]本发明进一步技术改进方案是:
所述上电极(3)、下电极(4)沿长度方向侧端的对应位置均匀设置有多个电感插孔
(13)，上电极(3)、下电极(4)之间通过每组对应设置的电感插孔(13)内设置的匹配电感
(5)连接。
[0010]本发明进一步技术改进方案是:
所述上电极(3)与真空腔体(I)上部内壁之间设置有调整间隙(14)。
[0011]本发明进一步技术改进方案是:
所述上电极(3)、下电极(4)、上调节滑块(7)、下调节滑块(8)以及底板(6)均由铝材料制成。
[0012]本发明与现有技术相比，具有以下明显优点:
本发明真空腔体内主要结构由放电极板，底板，调节滑块组成，放电结构由两个金属铝电极构成，两对上下极板沿长度方向并行放置，上极板和下极板之间由绝缘瓷片如三氧化二铝陶瓷隔开，构成波导侧壁，上电极和下电极的间距可以通过真空腔体两侧的调节螺杆进行调节，配合相应的谐振腔，形成矩形的放电增益空间，此种电极结构十分方便腔体和电极的安装，另外可以在腔体外部实现电极之间距离的调整。
【附图说明】
[0013]图1为本发明系统结构框图。
【具体实施方式】
[0014]如图1所示，本发明包括真空腔体1，真空腔体I内设置有上电极3、下电极4，上电极3、下电极4之间通过匹配电感5连接，所述真空腔体I两侧对称固定设置有端盖2，下电极4通过底板6与真空腔体I底部内壁固定，上电极3设置有高度调节装置；
所述的高度调节装置包括一组呈直角三角形设置的上调节滑块7、下调节滑块8，上调节滑块7、下调节滑块8的斜面相对设置，且整体呈矩形形状，上调节滑块7与下调节滑块8的一侧直角边均设置有调节螺杆10，调节螺杆10与真空腔体I两侧对称设置的端盖2可调连接；所述下调节滑块8底部两侧通过对称设置的绝缘瓷片9与上电极3上表面连接，上电极3沿长度方向侧端的中央位置设置有射频信号连接座11 ;
所述固定下电极4底板6的两侧对称设置有用于固定输出镜、反射镜的镜片安装架12;所述绝缘瓷片9厚度为0.2mm ；
所述上电极3、下电极4沿长度方向侧端的对应位置均匀设置有多个电感插孔13，上电极3、下电极4之间通过每组对应设置的电感插孔13内设置的匹配电感5连接；所述上电极3与真空腔体I上部内壁之间设置有调整间隙14 ;
所述上电极3、下电极4、上调节滑块7、下调节滑块8以及底板6均由铝材料制成。
[0015]如图1所示，真空腔体I为激光器腔体，由6063-T5