一种实现频率转换和光束聚焦的大口径晶体倍频转换装置的制造方法_2

文档序号:8944955阅读:来源:国知局
箱体402上,四倍频卡计509安装在压板508上,四倍频调角机构504安装在第二温控箱体402和第二温控箱体403相交处的内腔中,四倍频俯仰驱动组件705和四倍频摇摆驱动组件701位于第二温控箱体402内,二倍频调角机构104安装在第三箱体803和第四箱体804相交处的内腔中,二倍频俯仰驱动组件805和二倍频摇摆驱动组件801位于第三箱体803内。
[0022]本实施方式通过恒温水箱向温控流道512来提供恒温水,以实现温控箱体和晶体组件的温度调控。本实施方式在第一温控箱体403上设有温控真空隔离窗舱门盖505,在第一温控箱体403上开有窗口,连接有可供四倍频晶体拆卸的晶体窗口盖板503,并用第一密封圈502进行密封。本实施方式的四倍频卡计是检测四倍频能量的卡计,用于检测激光能量,进而检测四倍频转换的效率。本实施方式中的四倍频俯仰驱动组件、四倍频偏摆驱动组件、二倍频俯仰驱动组件和二倍频俯仰偏摆驱动组件均为现有技术,其具体结构在公告号为CN103278997A,公告日为2013.09.04的中国专利中有明确体现,此处不在赘述。
[0023]【具体实施方式】二:结合图5说明,本实施方式的四倍频靶窗窗口导向组件404包括真空窗口玻璃组件602、透镜滚轮605、四倍频窗口框体603和两个四倍频靶室真空窗口导向板601 ;两个四倍频靶室真空窗口导向板601之间布置有倾斜设置的四倍频窗口框体603,真空窗口玻璃组件602安装在四倍频窗口框体603内,四倍频窗口框体603的两侧安装有透镜滚轮605,两个四倍频靶室真空窗口导向板601的相对侧面上各开设有滚轮槽6011,透镜滚轮605布置在滚轮槽6011内并能在透镜滚轮槽6011内上下滚动,四倍频窗口框体603封装在第一温控箱体403的法兰506上。本实施方式的真空窗口玻璃呈一定角度倾斜放置可以分离杂散光,使用在线替换装置能实现损伤晶体、透镜与窗口玻璃的更换,四倍频窗口框体603通过第二密封圈507安装在第二温控箱体403的法兰506上。其它组成和连接关系与【具体实施方式】一相同。
[0024]【具体实施方式】三:结合图6-图9说明,本实施方式的四倍频调角机构504还包括第一框体704、第二框体706、第三框体707、四倍频内框708和四倍频晶体组件11_7,第一框体704、第二框体706和第三框体707顺着光射方向依次连接,第二框体706在水平方向设有与第一框体704连接的偏摆转动连接副,偏摆微驱动机构701穿过第一框体704并与第二框体706的上部或下部连接,偏摆微驱动机构701通过偏摆转动连接副实现第二框体706的竖向摆动,内框708安装在第二框体706内,内框708和第二框体706在竖直方向设有俯仰转动连接副,俯仰微驱动机构705穿过第一框体704并与四倍频内框708的下端连接,俯仰微驱动机构705通过俯仰转动连接副实现四倍频内框708的水平摆动,四倍频晶体组件11-7滑动插装在第三框体707上的四倍频晶体组件滑槽7071内。本实施方式的晶体组件11-7上设有管状循环水路即晶体温控流道,在水路的端头采用螺栓和密封圈进行密封。四倍频调角机构上有上轴承702和下轴承712,起到定位作用。在四倍频晶体LRU(可替换单元)组件11-7上安装有可装卸用的把手703,以实现四倍频晶体的拆卸。其它组成和连接关系与【具体实施方式】一或二相同。
[0025]【具体实施方式】四:结合图8和图9说明,本实施方式的四倍频晶体组件11-7包括晶体框11-7-1、大口径晶体11-7-2、温度传感器11-7-5、多个挡条11_7_3和多个压片11-7-4,温度传感器11-7-5安装在晶体框11-7-1上,大口径晶体11_7_2通过多个挡条11-7-3和多个压片11-7-4安装在晶体框11-7-1上,晶体框11_7_1框体内沿框体横截面开设晶体温控流道11-10,晶体温控流道11-10与晶体组件进水口 710和晶体组件回水口 707贯通。如此设置,温度传感器11-7-5便于检测晶体框11-7-1的温度;框体横截面开设晶体温控流道保证对晶体框11-7-1进行温控,通过温度传感器11-7-5得知晶体框11-7-1的温度,进而通过恒温水箱对晶体框11-7-1进行调温。其它组成和连接关系与【具体实施方式】三相同。
[0026]【具体实施方式】五:结合图11和图12说明,本实施方式的二倍频调角机构104还包括第四框体806、第五框体807、第六框体808、二倍频内框809和二倍频晶体组件,第四框体806、第五框体807和第六框体808顺着光射方向依次连接,第五框体807在水平方向设有与第四框体806连接的偏摆转动连接副,偏摆微驱动机构801穿过第四框体806并与第五框体807的上部或下部连接,偏摆微驱动机构801通过偏摆转动连接副实现第五框体807的竖向摆动,二倍频内框809安装在第五框体807内,二倍频内框809和第五框体807在竖直方向设有俯仰转动连接副,俯仰微驱动机构805穿过第四框体806并与二倍频内框809的下端连接,俯仰微驱动机构805通过俯仰转动连接副实现二倍频内框809的水平摆动,二倍频晶体组件滑动插装在第六框体808上的二倍频晶体组件滑槽8081内。本实施方式的二倍频晶体组件没有晶体温控流道,其它结构与四倍频晶体组件结构相同。其它组成和连接关系与【具体实施方式】四相同。
[0027]【具体实施方式】六:结合图13-图22说明,本实施方式的聚集透镜I包括透镜屏蔽片组件1101、透镜替换单元组件1102、X向位置调整组件1603、Y向位置调整组件1601和Z向位置调整组件1104 ;
[0028]透镜屏蔽片组件1101安装在透镜替换单元组件1102上,透镜替换单元组件1102安装在X向位置调整组件1603上,所述X向位置调整组件1603用于驱动透镜驱动组件1102在X方向上移动,X向位置调整组件1603安装在Y向位置调整组件1601上,Y向位置调整组件1601用于驱动X向位置调整组件1603在Y方向移动,Y向位置调整组件1601安装在Z向位置调整组件1104上,Z向位置调整组件1104用于驱动Y向位置调整组件1601在Z方向移动。如此设置,本实施方式结构简单紧凑,采用配合使用透镜X向位置调整组件、Y轴位置调整组件与Z向位置调整组件实现了对聚焦透镜中的透镜可替换单元组件的空间精确移动,方便快捷地达到对高能激光束的精确聚焦。通过X向位置调整组件、Y轴位置调整组件与Z向位置调整组件配合使用可实现透镜LRU组件在X方向、Y方向和Z方向三个方向上平移,达到精确聚焦的目的,它能用于高能光束在空间某微小截面上的精确聚焦。其它组成和连接关系与【具体实施方式】一、二、四或五相同。
[0029]【具体实施方式】七:结合图14和图15说明,本实施方式所述Z向位置调整组件1104包括透镜调焦镜筒1201、透镜壳体1204和驱动组件1403 ;驱动组件1403包括电机1504、电机座1503、Z向丝杠副和支撑板1501 ;
[0030]透镜壳体1204为筒式壳体,透镜调焦镜筒1201、驱动组件1403均布置在透镜壳体1204内,电机1504安装在电机座1503上,电机座1503安装在透镜壳体1204上,支撑板1501安装在透镜壳体1204上,Z向丝杠副的丝杠1506通过轴承座1505安装在支撑板1501上,电机1503的输出端连接Z向丝杠副的丝杠1506,Z向丝杠副的丝母1507与透镜调焦镜筒1201连接,Y向位置调整组件1601安装在透镜调焦镜筒1201的端面上。其它与【具体实施方式】六相同。
[0031]【具体实施方式】八:结合图7说明,本实施方式的驱动组件1403还包括下直线导轨4013、上导轨基座1404、下导轨基座1405、联轴器1502、下滑块基座4023、两个上直线导轨4012和两个上滑块基座4021 ;
[0032]下滑块基座4023安装在透镜调焦镜筒1201的下部,下直线导轨4013安装在下滑块基座4023的下部,下导轨基座1405安装在透镜壳体1204上,下直线导轨4013滑动布置在下导轨基座1405上;上导轨基座1404安装在透镜调焦镜筒1201的上部,上导轨基座1404上沿透镜调焦镜筒1201的轴向并列安装有两个上直线导轨4012,两个上滑块基座4021分别与丝杠副的丝母1507连接,上直线导轨4012滑动布置在上滑块基座4021上,电机1504的输出端通过联轴器1502与Z向丝杠副的丝杠1506连接。如此设置,本实施方式的透镜外壳防尘罩板1203和透镜外壳1204通过螺钉紧固连接,透镜调焦镜筒
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