一种在线监控电气保护电路的制作方法
【技术领域】
[0001]本发明是一种在线监控电气保护电路，通过在线检测安全联锁电路的状态且可以控制电路的开启或者关闭，检测出外边环境条件信号，并对环境做出判断，如果条件不满足并可以自动做出安全关闭电路系统的命令，进而达到提高电路电气安全性能的目的。
【背景技术】
[0002]集成电路制造技术及工艺是关乎国计民生的战略性工程，对保障国家安全和增强综合国力具有重大战略意义，是一种高新技术产业。
[0003]经过对低能大束流项目的指标参数和工艺要求分析，但由于工艺技术和工艺特点不同，从注入安全性方面和工艺调试方面提出了更高的要求，因此本发明提供了在线可控性安全保护，确保注入工艺的安全性和可靠性。
【发明内容】
[0004]本发明是一种在线监控电气保护电路在离子注入机中的应用，采用在线检测控制电路。
[0005]本发明通过以下技术方案实现:
[0006]1，一种在线监控电气保护电路，如图1 一种在线监控电气保护电路原理图包括:电源控制器(1)、安全联锁电源系统(2)、供电装置(3)、电源装置(4)此系统可以检控电源装置安全可靠工作。其中电源控制器(1)，去检测安全联锁电路系统(2)的状态；如果安全联锁电路系统(2)的条件联锁满足，进而远程控制供电系统单元(3)的开启状态，从而使供电装置(3)为电源装置(4)安全地提供供电。
[0007]2，此电路可以通过上位机电源控制器在线检测安全联锁电路的状态且可以控制供电电路的开启或者关闭。从而达到监控电路电气安全性能的目的。
[0008]3，此电路可以通过上位机电源控制器检测出外边环境条件信号，并对环境做出判断，如果条件不满足并可以自动做出安全关闭电路系统的命令，进而达到提高电路电气安全性能的目的。
[0009]本发明具有如下优点:
[0010]本发明是一种在线监控电气保护电路，通过在线检测安全联锁电路的状态且可以控制电路的开启或者关闭，检测出外边环境条件信号，并对环境做出判断，如果条件不满足并可以自动做出安全关闭电路系统的命令，进而达到提高电路电气安全性能的目的。
【附图说明】
[0011]图1 一种在线监控电气保护电路原理图
[0012]图2 —种在线监控电气保护电路框图
【具体实施方式】
[0013]下面结合附图的具体实施例对本发明作进一步介绍，这些描述都是说明性的，本发明不限于此。本发明的范围仅由所附权利要求的范围所限定。
[0014]一种在线监控电气保护电路，其图1 一种在线监控电气保护电路框图包括:电源控制器(1)、安全联锁电源系统(2)、供电装置(3)、电源装置(4)此系统可以检控电源装置安全可靠工作。工作流程:首先安全联锁系统(2)中外部条件联锁开关AIR SWITCH闭合，此时反馈信号进入电源控制器(l)DIN端且继电器K2线包得电，表示外部条件满足；此时可以开启或者关闭外部电源设备(4);如果要开启，电源控制器(1)输出D0UT使能开启，此时继电器K1线包得电，此时安全联锁装置(2)进入安全联锁状态，此时继电器K3线包得电，使得供电装置(3)安全供电，此时电源装置安全可靠工作。如果外界环境突然变化成不满足条件，继电器K2线包断电，并且反馈给电源控制器错误信号，使得电源安全断开。所以通过此装置可以监控电源装置安全可靠工作。
[0015]以上所述已对本发明的内容做了详尽说明。对本领域一般技术人员而言，在不背离本发明精神的前提下对它所做的任何显而易见的改动，都构成对本发明专利的侵犯，将承担相应的法律责任。
【主权项】
1.一种在线监控电气保护电路，其图1 一种在线监控电气保护电路框图包括:电源控制器(1)、安全联锁电源系统(2)、供电系统单元(3)、电源装置(4)此系统可以控制电源装置安全可靠工作。工作流程:首先安全联锁系统(2)中外部条件联锁开关AIR SWITCH闭合，此时反馈信号进入电源控制器(l)DIN端且继电器K2线包得电，表示外部条件满足；此时可以开启或者关闭外部电源设备(4);如果要开启，电源控制器(1)输出DOUT使能开启，此时继电器K1线包得电，此时安全联锁装置(2)进入安全联锁状态，此时继电器K3线包得电，使得供电装置(3)安全供电，此时电源装置安全可靠工作。如果外界环境条件突然变化，不满足条件，继电器K2线包断电，并且反馈给电源控制器错误信号，使得电源安全断开。所以通过此装置可以在线控制电源装置安全可靠工作。2.如权利要求1所述一种在线监控电气保护电路如图1，其特征在于，此电路可以通过上位机电源控制器在线检测安全联锁电路的状态且可以控制供电电路的开启或者关闭。从而达到监控电路电气安全性能的目的。3.如权利要求1所述，一种在线监控电气保护电路如图1，此电路可以通过上位机电源控制器检测出外边环境条件信号，并对环境做出判断，如果条件不满足并可以自动做出安全关闭电路系统的命令，进而达到提高电路电气安全性能的目的。
【专利摘要】本发明讲述的是一种在线监控电气保护电路，该电路包括：电源控制器(1)、安全联锁电路系统(2)、供电装置(3)、电源装置(4)，此系统可以控制电源装置安全可靠工作。说明书对本硬件电路进行了详细的说明，并给出具体实施方案。
【IPC分类】H01J37/317, H01J37/244
【公开号】CN105321789
【申请号】CN201410334682
【发明人】丁振理
【申请人】北京中科信电子装备有限公司
【公开日】2016年2月10日
【申请日】2014年7月15日