一种光学谐振腔的制作方法
【专利摘要】本发明公开了一种光学谐振腔，适用于气体激光器，包括输出镜支撑板、反射镜支撑板、输出镜托板和反射镜托板，本方案提供的气体激光器增加了定位销、第一缓冲件、第二缓冲件和限位块。其中定位销能够保证输出镜输出光线的方向；在车载运输过程中第一缓冲件和第二缓冲件能够减缓冲击和上下震动，起到保护整体桁架和输出镜与反射镜安全的作用，降低了对气体激光器的损伤，保证了光学谐振腔在车载条件下的稳定性；反射镜支撑板能够沿着谐振腔的长度方向滑动，当温度出现较大变化时，车基底会发生伸缩变化，反射镜托板的运动能够消除因为基底伸缩造成的反射镜托板和输出镜托板之间的位置变化，保证整个桁架的稳定性。
【专利说明】
一种光学谐振腔
技术领域
[0001 ]本发明涉及激光器技术领域，特别涉及一种光学谐振腔。
【背景技术】
[0002]气体激光器在军事领域、工业加工、新材料领域及核物理领域具有广阔的应用前景。
[0003]气体激光器是利用气体作为工作物质产生激光的器件，它由光学谐振腔、放电腔和电源三个主要部分组成，光学谐振腔是光波在其中来回震荡从而提供光能反馈的空腔，其通常由两块与工作介质轴线垂直的平面或凹球面反射镜构成。
[0004]稳定的光学谐振腔，光线在光学谐振腔内往返任意多次也不会横向逸出腔外。
[0005]现有技术气体激光器的光学谐振腔包括输出镜、反射镜、固定输出镜的输出镜支撑板、固定反射镜的反射镜支撑板和用于连接输出镜支撑板与反射镜支撑板的三根铟钢管，输出镜支撑板通过输出镜托板固定，反射镜支撑板通过反射镜托板固定，气体激光器在车载条件下使用或者温度剧烈变化条件下使用时，会因为车身震动或者温度变化造成光学谐振腔失稳，影响光学谐振腔的稳定性。
[0006]因此，如何保证光学谐振腔在车载条件下或者温度剧烈变化条件下的稳定性，成为本领域技术人员亟待解决的技术问题。
【发明内容】
[0007]有鉴于此，本发明提供了一种光学谐振腔，以保证光学谐振腔在车载条件下或者温度剧烈变化条件下的稳定性。
[0008]为实现上述目的，本发明提供如下技术方案:
[0009]—种光学谐振腔，适用于于气体激光器，包括输出镜支撑板、与所述输出镜支撑板相对平行布置的反射镜支撑板、固定所述输出镜支撑板的输出镜托板和固定所述反射镜支撑板的反射镜托板，所述反射镜支撑板能够沿所述谐振腔的长度方向滑动；
[0010]还包括:
[0011]设置在所述输出镜支撑板的下端中部用于保证输出镜的输出光线方向不变的定位销，所述输出镜支撑板与所述输出镜托板通过所述定位销连接；
[0012]与所述输出镜支撑板连接能够对所述输出镜支撑板的上下震动起缓冲作用的第一缓冲件，所述第一缓冲件与所述输出镜托板连接；
[0013]与所述反射镜支撑板连接对所述反射镜支撑板的上下震动起缓冲作用的第二缓冲件；
[0014]控制所述反射镜支撑板沿直线方向滑动的限位块，所述限位块与所述反射镜托板固定连接，所述限位块通过所述第二缓冲件与所述反射镜支撑板连接。
[0015]优选的，在上述光学谐振腔中，所述第一缓冲件包括:
[0016]第一连接板，所述第一连接板包括第一水平板和与所述第一水平板竖直布置的第一竖直板，所述第一水平板位于所述输出镜支撑板与所述输出镜托板之间，所述第一竖直板与所述输出镜支撑板通过螺栓连接，所述第一水平板伸出所述输出镜支撑板的部分设置有第一安装孔；
[0017]与所述第一安装孔间隙配合的导向柱，所述导向柱的中部开设有第二安装孔，所述第二安装孔与所述第一安装孔同轴布置；
[0018]套设在所述导向柱上的第一弹性件，所述第一弹性件的末端与所述第一水平板的上端面相抵；
[0019]套设在所述第一弹性件外侧的第一壳体，所述第一壳体的顶壁与所述第一弹性件和所述导向柱的上端面相抵，所述第一壳体的下端面距离所述第一水平板上端面的距离为3-5mm，所述第一壳体的顶壁开设有第三安装孔，所述第三安装孔与所述第二安装孔同轴；
[0020]依次穿过所述第三安装孔和所述第二安装孔用于将所第一缓冲件固定在所述输出镜托板上的紧固件，所述输出镜托板3上设置有与所述紧固件配合的安装孔。
[0021 ]优选的，在上述光学谐振腔中，所述紧固件为螺栓，所述安装孔为螺栓孔。
[0022]优选的，在上述光学谐振腔中，所述螺栓与所述第一壳体之间设置有第一调平垫圈。
[0023]优选的，在上述光学谐振腔中，所述限位块的下端设置有两个支撑脚，所述限位块内沿竖直方向开设有容纳空腔，所述限位块的支撑脚与所述反射镜托板固定连接；
[0024]所述第二缓冲件包括:
[0025]第二连接板，所述第二连接板包括第二水平板和与所述第二水平板竖直布置的第二竖直板，所述第二竖直板与所述反射镜支撑板螺栓连接，所述第二水平板的上端面与所述反射镜支撑板的下端面配合，所述第二水平板的下端面与所述反射镜托板的上端面配合，所述第二水平板伸出所述反射镜支撑板的部分位于所述限位块与所述反射镜托板之间，所述第二水平板上设置有两个用于供所述支撑脚滑动的滑动槽；
[0026]第二弹性件，所述第二弹性件位于所述容纳空腔内，所述第二弹性件一端与所述容纳空腔的顶壁相抵，另一端与所述第二水平板相抵。
[0027]优选的，在上述光学谐振腔中，所述第二缓冲件还包括:
[0028]与所述第二弹性件的顶端配合的压块；
[0029]用于调整所述压块施加在所述第二弹性件上的压紧力的压紧螺钉，所述压紧螺钉与所述限位块螺纹配合；
[0030]与所述第二弹性件的末端配合的滑块。
[0031]优选的，在上述光学谐振腔中，还包括套设在所述滑块外侧的滑块套，所述滑块套与所述第二弹性件的末端配合。
[0032]优选的，在上述光学谐振腔中，还包括滚珠结构，所述滚珠结构包括:
[0033]开设于所述反射镜托板上的椭圆形通槽，所述椭圆形通槽的长轴延伸方向与所述谐振腔的长度方向相同，所述椭圆形通槽内设有钢珠，所述钢珠与所述第二水平板的下端面相抵；
[0034]设置在所述反射镜托板下端面的钢珠支撑板，所述钢珠支撑板与所述反射镜托板通过螺钉连接；
[0035]开设于所述反射镜托板上且位于所述椭圆形通槽一端的通孔，所述通孔内设置有第三弹性件，所述第三弹性件的顶端与所述钢珠相抵，所述第三弹性件与所述钢珠之间设置有第一弹性件保护套；
[0036]与所述第三弹性件的末端配合的固定杆，所述固定杆与所述反射镜托板螺栓连接；
[0037]开设于所述反射镜托板上且与所述通孔沿同一直线布置的台阶状通孔，所述台阶状通孔直径较大的一端设置有第四弹性件，所述第四弹性件的顶端与所述钢珠相抵，所述第四弹性件与所述钢珠之间设置有第二弹性件保护套；
[0038]与所述第四弹性件的末端相抵的压杆，所述压杆位于所述台阶状通孔直径较小的一端，所述压杆通过顶丝调整对所述第四弹性件提供的压紧力，所述顶丝上设置有锁紧螺母。
[0039]优选的，在上述光学谐振腔中，所述第一缓冲件的个数为两个，且对称布置在所述定位销的两侧；
[0040]所述第二缓冲件的个数为一个，且位于所述反射镜托板的中部；
[0041 ]所述第二缓冲件的两侧设置有缓冲垫。
[0042]优选的，在上述光学谐振腔中，所述定位销与所述输出镜支撑板通过螺栓连接，所述定位销与所述输出镜托板通过销连接。
[0043]从上述技术方案可以看出，本发明提供的光学谐振腔，包括输出镜支撑板、反射镜支撑板、输出镜托板和反射镜托板，本方案提供的光学谐振腔增加了定位销、第一缓冲件、第二缓冲件和限位块。其中定位销能够保证输出镜输出光线的方向，避免光线在谐振腔内往返任意多次时横向逸出腔外，保证了光学谐振腔的稳定性;在车载运输过程中第一缓冲件和第二缓冲件能够减缓冲击和上下震动，起到保护整体桁架和输出镜与反射镜安全的作用，降低了对光学谐振腔的损伤，保证了光学谐振腔在车载条件下的稳定性;反射镜支撑板能够沿着谐振腔的长度方向滑动，当温度出现较大变化时，车基底会发生伸缩变化，反射镜托板的运动能够消除因为基底伸缩造成的反射镜托板和输出镜托板之间的位置变化，保证整个桁架的稳定性，限位块能够对反射镜支撑板的运动位置起到限位和导向作用，保证在反射镜支撑板的运动方向不变，从而避免光线在光学谐振腔内往返任意多次时横向逸出腔外，保证了光学谐振腔在温度剧烈变化时使用的稳定性。
【附图说明】
[0044]为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0045]图1为本发明实施例提供的光学谐振腔的结构示意图；
[0046]图2为本发明实施例提供的第一缓冲件的结构示意图；
[0047]图3为本发明实施例提供的第二缓冲件的结构示意图；
[0048]图4为本发明实施例提供的滚珠结构的结构示意图。
[0049 ] 1、输出镜支撑板，2、反射镜支撑板，3、输出镜托板，4、反射镜托板，5、定位销，6、限位块，7、第一连接板，8、导向柱，9、第一弹性件，10、第一壳体，11、第二连接板，12、第二弹性件，13、压块，14、压紧螺钉，15、滑块，16、滑块套，17、钢珠，18、第三弹性件，19、固定杆，20、第四弹性件，21、压杆，22、顶丝，23、锁紧螺母。
【具体实施方式】
[0050]本发明公开了一种光学谐振腔，以保证光学谐振腔在车载条件下或者温度剧烈变化条件下的稳定性。
[0051]下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
[0052]请参阅图1-图4，图1为本发明实施例提供的光学谐振腔的结构示意图；图2为本发明实施例提供的第一缓冲件的结构示意图；图3为本发明实施例提供的第二缓冲件的结构示意图；图4为本发明实施例提供的滚珠结构的结构示意图。
[0053]本发明公开了一种光学谐振腔，适用于气体激光器，包括输出镜支撑板1、与输出镜支撑板I相对平行布置的反射镜支撑板2、固定输出镜支撑板I的输出镜托板3和固定反射镜支撑板2的反射镜托板4，输出镜支撑板I和反射镜支撑板2之前设置有三根铟钢管，后文描述中对输出镜支撑板1、反射镜支撑板2和铟钢管的组合结构称为桁架。
[0054]本方案提供的光学谐振腔还包括:定位销5、第一缓冲件、第二缓冲件和限位块6。
[0055]定位销5设置在输出镜支撑板I的下端中部，输出镜支撑板I与输出镜托板3通过定位销5连接，定位销5能够固定输出镜支撑板I在输出镜托板3上的位置，从而保证输出镜的输出光线的方向，保证光学谐振腔使用的稳定性。
[0056]第一缓冲件与输出镜支撑板I连接，且第一缓冲件与输出镜托板3连接，能够对输出镜支撑板I的上下震动起缓冲作用。车载过程中车辆震动，输出镜支撑板I随着车身一起震动，震动的过程中会对桁架和输出镜造成一定的损伤，第一缓冲件能够有效减缓车辆行驶过程中的冲击和震动，对桁架和输出镜起到有效的保护作用，从而避免由于桁架和输出镜受损影响光学谐振腔的稳定性。
[0057]第二缓冲件与反射镜支撑板2连接，能够对反射镜支撑板2的上下震动起缓冲作用。车载过程中车辆震动，反射镜支撑板2随着车身一起震动，震动的过程中会对桁架和反射镜造成一定的损伤，第二缓冲件能够有效减缓车辆行驶过程中的冲击和震动，对桁架和反射镜起到有效的保护作用，从而避免由于桁架和反射镜受损影响光学谐振腔的稳定性。
[0058]第一缓冲件和第二缓冲件分别对气体激光器的输出镜支撑板I和反射镜支撑板2起到了保护作用，即从两个方面对光学谐振腔起到了保护作用，相对于现有技术中没有设置缓冲件的光学谐振腔，不仅保证了光学谐振腔的稳定性，还在一定程度上提高了光学谐振腔的使用寿命。该调节过程中通过第一缓冲件和第二缓冲件自动实现，不需要进行人工调节，从而降低了调节光学谐振腔的人工劳动强度。
[0059]当外界温度发生剧烈变化时，车基底会因为温度变化伸缩，由于输出镜托板与反射镜托板均与车基底固定连接，输出镜托板和反射镜托板会随着车基底的伸缩而与车基底一起发生位置的变化，进而影响桁架的结构，影响桁架的稳定性，本方案中反射镜支撑板2能够沿谐振腔的长度方向滑动，当反射镜托板4随着车基底发生位置的变化时，反射镜支撑板2能够通过沿着谐振腔长度方向的滑动，反射镜支撑板2的运动方向与反射镜托板4的运动方向相反，实现对反射镜支撑板2与输出镜支撑板I之间的位置调整，保证桁架的结构不会发生变化，保证了桁架的稳定性，从而保证了光学谐振腔在温度发生剧烈变化时的稳定性。
[0060]另外，该调节过程为自动调节过程，不需要人工介入，进一步降低了人工劳动强度。
[0061]限位块6控制反射镜支撑板2在直线上的滑动方向，保证反射镜支撑板2只能沿着谐振腔的长度方向滑动，且不会发生左右摆动，保证输出激光束的方向性，避免光线在谐振腔内往返任意多次时横向逸出腔外，保证了光学谐振腔的稳定性。
[0062]本方案中限位块6与反射镜托板4固定连接，限位块6通过第二缓冲件与反射镜支撑板2连接，从而也就实现了第二缓冲件与反射镜托板4的间接连接，从而实现了反射镜支撑板2与反射镜托板4的连接。
[0063]在本发明的一个具体实施例中，第一缓冲件包括:第一连接板7、导向柱8、第一弹性件9、第一壳体10和紧固件。
[0064]第一连接板7包括第一水平板和与第一水平板竖直布置的第一竖直板，第一水平板位于输出镜支撑板I与输出镜托板3之间，第一竖直板与输出镜支撑板I通过螺栓连接。
[0065]第一水平板伸出输出镜支撑板I的部分设置有第一安装孔，第一水平板的一部分被输出镜支撑板I遮挡，另一部分不被输出镜支撑板I遮挡，不被遮挡的部分用来安装导向柱8、第一弹性件9和第一壳体10。
[0066]优选的，第一连接板7的第一水平板为T型结构，第一壳体10对第一连接板7的上下震动起到限位作用。
[0067]与第一安装孔间隙配合的导向柱8，导向柱8能够对第一弹性件9的伸缩运动起到导向作用，导向柱8的中部开设有第二安装孔，第二安装孔与第一安装孔同轴布置；
[0068]套设在导向柱8上的第一弹性件9，第一弹性件9为起到缓冲作用的主要部件，第一弹性件9的末端与第一水平板的上端面相抵，顶端与第一壳体10相抵，第一弹性件9能够有效减缓车辆行驶过程中的冲击和震动。
[0069]优选的，第一弹性件9的下端与第一水平板固定连接。
[0070]套设在第一弹性件9外侧的第一壳体10，第一壳体10的顶壁与第一弹性件9和导向柱8的上端面相抵，导向柱8可以对第一壳体10起到支撑作用，第一壳体10也能够第一弹性件9和导向柱8起到保护作用。
[0071]第一壳体10的顶壁开设有第三安装孔，第三安装孔与第二安装孔同轴，第三安装孔和第二安装孔为紧固件提供了安装基础。
[0072]第一壳体10的下端距离第一水平板上端面的距离为3_5mm，该距离为输出镜支撑板I的上下运动提供了空间，同时能够限制输出镜支撑板3的弹起高度。
[0073]依次穿过第三安装孔和第二安装孔用于将所第一缓冲件固定在输出镜托板3上的紧固件，紧固件将导向柱8和第一壳体10固定在输出镜托板3上，输出镜托板3上开设有与紧固件配合的安装孔。
[0074]导向柱8通过紧固件固定在输出镜托板3上，使得导向柱8不会随着第一连接板7上下运动，但是第一连接板7可以沿着导向柱8的轴线方向上下运动。
[0075]第一缓冲件由外到内的结构依次为第一壳体10、第一弹性件9、导向柱8、紧固件，其中，导向柱8的长度较外壳10的长度长，紧固件依次穿过第一壳体10和导向柱8后与输出轴托板3连接。
[0076]导向柱8可以为金属导向柱。
[0077]本方案中第一弹性件9可以为压缩弹簧、橡胶圈或者弹片。
[0078]优选的，紧固件为螺栓或者螺钉，输出镜托板3上开设有与螺栓配合的螺栓孔，螺栓孔与第二安装孔和第三安装孔同轴布置。通过拧紧或者拧松螺栓或者螺钉可以调节第一壳体10施加在第一弹性件9上的压紧力，从而对第一缓冲件的缓冲效果进行调整。
[0079]优选的，螺栓或者螺钉与第一壳体10之间设置有第一调平垫圈，第一调平垫圈为球形调平垫圈。
[0080]限位块6的下端设置有两个支撑脚，限位块6内沿竖直方向开设有容纳空腔，限位块6的支撑脚与反射镜托板4固定连接，限位块6的两个支撑脚之间设置有凹槽，该凹槽与限位块6的容纳空腔连通。
[0081 ]第二缓冲件包括:第二连接板11和第二弹性件12。
[0082]第二连接板11包括第二水平板和与第二水平板竖直布置的第二竖直板，第二竖直板与反射镜支撑板2螺栓连接，第二水平板的上端面与反射镜支撑板2的下端面配合，第二水平板的下端面与反射镜托板4的上端面配合，第二水平板伸出反射镜支撑板2的部分位于限位块6与反射镜托板4之间，第二水平板的一部分被反射镜支撑板2遮挡，另一部分没有被反射镜支撑板2遮挡，没有被反射镜支撑板2遮挡的部分用于与限位块6配合，第二水平板上设置有与两个用于供支撑脚滑动的滑动槽，滑动槽的宽度与限位块6的支撑脚的宽度相等，滑动槽的长度较支撑脚的长度长，从而为反射镜支撑板2的滑动提供了空间。第二连接板11的第二水平板也可以起到对反射镜支撑板2的跳动限位作用，反射镜支撑板2的跳动空间为限位块6的两个支脚形成的凹槽。
[0083]第二弹性件12位于限位块6的容纳空腔内，第二弹性件12—端与容纳空腔的顶壁相抵，另一端与第二水平板相抵。
[0084]第二弹性件12能够起到有效减缓车辆行驶过程中的冲击和震动，优选的，第二弹性件12的下端与第二水平板固定连接。
[0085]限位块6的容纳空腔能够对第二弹性件12的运动起到导向作用，也能够对第二弹性件12起到保护作用。
[0086]第二弹性件12可以为压缩弹簧，也可以为橡胶圈，也可以为弹片。
[0087]第二连接板11与反射镜支撑板2连接，第二连接板11的第二水平板通过限位块6可滑动的连接在反射镜托板4上，当反射镜托板4随着车基底运动时，反射镜支撑板2也运动，输出镜支撑板I不动，反射镜支撑板2的运动方向与反射镜托板4的运动方向相反，滑动槽为反射镜支撑板2的提供的滑动空间，该种设计方式能够保证光学谐振腔在温度剧烈变化条件下的稳定性。
[0088]在本发明的一个具体实施例中，第二缓冲件还包括:压块13、压紧螺钉14和滑块15。其中，
[0089]第二缓冲件从上到下的结构依次为压紧螺钉14、压块13、第二弹性件12和滑块15。其中，
[0090]压块13与第二弹性件12的顶端配合，优选的，在第二弹性件12的顶端设置有与压块13配合的凹槽，能够对压块13起到有效的限位作用；
[0091]压紧螺钉14用于调整压块13施加在第二弹性件12上的压紧力，压紧螺钉14与限位块6螺纹配合，限位块6的顶端开设与压紧螺钉配合的螺纹孔，通过调节压紧螺钉14调整压块13对第二弹性件12的压紧力；
[0092]滑块15与第二弹性件12的末端配合，优选的，第二弹性件12的末端开设与滑块15配合的凹槽，滑块15的下端面露出凹槽与第二水平板接触，滑块15的设计能够减小第二缓冲件与第二水平板之间的摩擦力，同时降低对第二水平板的损伤。优选的，滑块15的材料为聚四氟乙烯。
[0093]优选的，本发明提供的第二缓冲件还包括套设在滑块15外侧的滑块套16，滑块套16与第二弹性件12的末端配合。
[0094]第二缓冲件从上到下的结构依次为压紧螺钉15、压块13、第二弹性件12、滑块套16和滑块15。
[0095]第二弹性件12的末端开设与滑块套16配合的凹槽，滑块套16位于凹槽内，滑块套16内开设与滑块15配合的凹槽，滑块15位于滑块套16的凹槽内。
[0096]优选的，滑块套16的末端设置有折边，折边与第二弹性件13的末端配合，对第二弹性件起到良好的保护作用。
[0097]当第二弹性件12为压缩弹簧时，压块13位于压缩弹簧的中空部分，滑块套16也位于压缩弹簧的中空部分。
[0098]本发明提供的气体激光器还包括滚珠结构，具体如下。
[0099]开设于反射镜支撑板4上的椭圆形通槽，椭圆形通槽的长轴延伸方向与谐振腔的长度方向相同，椭圆形通槽内设有钢珠17，钢珠17可以在椭圆形通槽内滑动，钢珠17与第二水平板的下端面相抵，能够进一步降低反射镜支撑板3的滑动阻力，实现反射镜支撑板4位置的快速调节。
[0100]设置在反射镜托板4的下端面的钢珠支撑板，钢珠支撑板与反射镜托板4通过螺钉连接，避免钢珠17从椭圆形凹槽内掉落。
[0101]开设于反射镜托板4上且位于椭圆形通槽一端的通孔，通孔内设置有第三弹性件18，第三弹性件18的顶端与钢珠17相抵，第三弹性件18能够辅助钢珠17回到初始位置，第三弹性件18与钢珠之间设置有第一弹性件保护套，第一弹性件保护套能够对钢珠13和第三弹性件18起到保护作用。
[0102]与第三弹性件18的末端配合的固定杆19，固定杆19能够对通孔起到封堵作用，避免第三弹性件18从通孔内被推出，保证装置的稳定工作。
[0103]固定杆19与反射镜托板4配合的一端设置有连接板，固定杆19整体为T字型形状，固定杆19的连接板与反射镜托板4螺栓连接。
[0104]连接板与反射镜托板4采用螺栓连接的方式能够方便装置的安装和维修，固定杆19与反射镜托板4还可以采用其他连接方式，在此不做具体限定。
[0105]开设于反射镜托板4上且与通孔沿同一直线布置的台阶状通孔，该台阶状通孔一端的直径较大，另一端的直径较小。其直径较大的一端靠近钢珠17。
[0106]台阶状通孔直径较大的一端设置有第四弹性件20，第四弹性件20的顶端与钢珠17相抵，第四弹性件20能够辅助钢珠17回复到初始位置，第四弹性件20与钢珠17之间设置有第二弹性件保护套，第二弹性件保护套能够对第四弹性件20和钢珠17起到保护作用；
[0107]与第四弹性件20的末端相抵的压杆21，压板21位于台阶状通孔直径较小的一端，通过调整顶丝22的位置能够调整压杆21对第四弹性件20的压紧力，顶丝22上设置有锁紧螺母23，锁紧螺母23能够对顶丝23起到固定作用，保证顶丝23对压杆21起到稳定的压紧作用。
[0108]第一弹性件保护套和第二弹性件保护套均采用聚四氟乙烯材料制作，可以在一定程度上减小与钢珠17之间的摩擦力。
[0109]本方案中第三弹性件18和第四弹性件20可以为压缩弹簧、橡胶圈或者弹片。
[0110]优选的，发明中第一缓冲件的个数为两个，且对称布置在定位销5的两侧，能够起到有效的缓冲作用。
[0111]第二缓冲件的个数为一个，且位于反射镜托板4的中部。
[0112]第二缓冲件的两侧设置有缓冲垫，缓冲垫也可以起到缓解冲击和震动的作用。
[0113]定位销5与输出镜支撑板I通过螺栓连接，定位销5与输出镜托板3通过销连接，采用销连接能够方便对光学谐振腔的调整本方案中限位块6、钢珠支撑板和钢珠17均需进行淬火处理，防止受力过大发生变形影响使用。
[0114]对所公开的实施例的上述说明，使本领域专业技术人员能够实现或使用本发明。对这些实施例的多种修改对本领域的专业技术人员来说将是显而易见的，本文中所定义的一般原理可以在不脱离本发明的精神或范围的情况下，在其它实施例中实现。因此，本发明将不会被限制于本文所示的这些实施例，而是要符合与本文所公开的原理和新颖特点相一致的最宽的范围。
【主权项】
1.一种光学谐振腔，适用于气体激光器，包括输出镜支撑板(I)、与所述输出镜支撑板(I)相对平行布置的反射镜支撑板(2)、固定所述输出镜支撑板(I)的输出镜托板(3)和固定所述反射镜支撑板(2)的反射镜托板(4)，其特征在于，所述反射镜支撑板(2)能够沿所述谐振腔的长度方向滑动； 还包括: 设置在所述输出镜支撑板(I)的下端中部用于保证输出镜的输出光线方向不变的定位销(5)，所述输出镜支撑板(I)与所述输出镜托板(3)通过所述定位销(5)连接； 与所述输出镜支撑板(I)连接能够对所述输出镜支撑板(I)的上下震动起缓冲作用的第一缓冲件，所述第一缓冲件与所述输出镜托板(3)连接； 与所述反射镜支撑板(2)连接对所述反射镜支撑板(2)的上下震动起缓冲作用的第二缓冲件； 控制所述反射镜支撑板(2)沿直线方向滑动的限位块(6)，所述限位块(6)与所述反射镜托板(4)固定连接，所述限位块(6)通过所述第二缓冲件与所述反射镜支撑板(2)连接。2.根据权利要求1所述的光学谐振腔，其特征在于，所述第一缓冲件包括: 第一连接板(7)，所述第一连接板(7)包括第一水平板和与所述第一水平板竖直布置的第一竖直板，所述第一水平板位于所述输出镜支撑板(I)与所述输出镜托板(3)之间，所述第一竖直板与所述输出镜支撑板(I)通过螺栓连接，所述第一水平板伸出所述输出镜支撑板(I)的部分设置有第一安装孔； 与所述第一安装孔间隙配合的导向柱(8)，所述导向柱(8)的中部开设有第二安装孔，所述第二安装孔与所述第一安装孔同轴布置； 套设在所述导向柱(8)上的第一弹性件(9)，所述第一弹性件(9)的末端与所述第一水平板的上端面相抵； 套设在所述第一弹性件(9)外侧的第一壳体(10)，所述第一壳体(10)的顶壁与所述第一弹性件(9)和所述导向柱(8)的上端面相抵，所述第一壳体(10)的下端面距离所述第一水平板上端面的距离为3-5mm，所述第一壳体(10)的顶壁开设有第三安装孔，所述第三安装孔与所述第二安装孔同轴； 依次穿过所述第三安装孔和所述第二安装孔用于将所第一缓冲件固定在所述输出镜托板(3)上的紧固件，所述输出镜托板(3)上设置有与所述紧固件配合的安装孔。3.根据权利要求2所述的光学谐振腔，其特征在于，所述紧固件为螺栓，所述安装孔为螺栓孔。4.根据权利要求3所述的光学谐振腔，其特征在于，所述螺栓与所述第一壳体(10)之间设置有第一调平垫圈。5.根据权利要求1所述的光学谐振腔，其特征在于，所述限位块(6)的下端设置有两个支撑脚，所述限位块(6)内沿竖直方向开设有容纳空腔，所述限位块(6)的支撑脚与所述反射镜托板(4)固定连接； 所述第二缓冲件包括: 第二连接板(11)，所述第二连接板(11)包括第二水平板和与所述第二水平板竖直布置的第二竖直板，所述第二竖直板与所述反射镜支撑板(2)螺栓连接，所述第二水平板的上端面与所述反射镜支撑板(2)的下端面配合，所述第二水平板的下端面与所述反射镜托板(4)的上端面配合，所述第二水平板伸出所述反射镜支撑板(2)的部分位于所述限位块(6)与所述反射镜托板(4)之间，所述第二水平板上设置有两个用于供所述支撑脚滑动的滑动槽； 第二弹性件(12)，所述第二弹性件(12)位于所述容纳空腔内，所述第二弹性件(12) —端与所述容纳空腔的顶壁相抵，另一端与所述第二水平板相抵。6.根据权利要求5所述的光学谐振腔，其特征在于，所述第二缓冲件还包括: 与所述第二弹性件(12)的顶端配合的压块(13); 用于调整所述压块(13)施加在所述第二弹性件(12)上的压紧力的压紧螺钉(14)，所述压紧螺钉(14)与所述限位块(6)螺纹配合； 与所述第二弹性件(12)的末端配合的滑块(15)。7.根据权利要求6所述的光学谐振腔，其特征在于，还包括套设在所述滑块(15)外侧的滑块套(16)，所述滑块套(16)与所述第二弹性件(12)的末端配合。8.根据权利要求5所述的光学谐振腔，其特征在于，还包括滚珠结构，所述滚珠结构包括: 开设于所述反射镜托板(4)上的椭圆形通槽，所述椭圆形通槽的长轴延伸方向与所述谐振腔的长度方向相同，所述椭圆形通槽内设有钢珠(17)，所述钢珠(17)与所述第二水平板的下端面相抵； 设置在所述反射镜托板(4)下端面的钢珠支撑板，所述钢珠支撑板与所述反射镜托板(4)通过螺钉连接； 开设于所述反射镜托板(4)上且位于所述椭圆形通槽一端的通孔，所述通孔内设置有第三弹性件(18)，所述第三弹性件(18)的顶端与所述钢珠(17)相抵，所述第三弹性件(18)与所述钢珠之间设置有第一弹性件保护套； 与所述第三弹性件(18)的末端配合的固定杆(19)，所述固定杆(19)与所述反射镜托板(4)螺栓连接； 开设于所述反射镜托板(4)上且与所述通孔沿同一直线布置的台阶状通孔，所述台阶状通孔直径较大的一端设置有第四弹性件(20)，所述第四弹性件(20)的顶端与所述钢珠(17)相抵，所述第四弹性件(20)与所述钢珠(17)之间设置有第二弹性件保护套； 与所述第四弹性件(20)的末端相抵的压杆(21)，所述压杆(21)位于所述台阶状通孔直径较小的一端，所述压杆(21)通过顶丝(22)调整对所述第四弹性件(20)提供的压紧力，所述顶丝(22)上设置有锁紧螺母(23)。9.根据权利要求1所述的光学谐振腔，其特征在于，所述第一缓冲件的个数为两个，且对称布置在所述定位销(5)的两侧； 所述第二缓冲件的个数为一个，且位于所述反射镜托板(4)的中部； 所述第二缓冲件的两侧设置有缓冲垫。10.根据权利要求1所述的光学谐振腔，其特征在于，所述定位销(5)与所述输出镜支撑板(I)通过螺栓连接，所述定位销(5)与所述输出镜托板(3)通过销连接。
【文档编号】G02B7/198GK105846298SQ201610397285
【公开日】2016年8月10日
【申请日】2016年6月7日
【发明人】杨贵龙, 邵明振, 张阔, 陈飞, 郭劲
【申请人】中国科学院长春光学精密机械与物理研究所