有机双膜电容器成片机的制作方法
【专利摘要】本发明属于电容器生产机械设备，特别涉及一种有机双膜电容器成片机，在真空仓体（37）内设有冷鼓（11），在冷鼓（11）设有冷鼓中心轴（14），在冷鼓（11）的边沿处设有喷涂装置（12）、辉光溅射机构（9）和可移动压差板（30），在真空仓体（37）外冷鼓（11）左下方固定冷鼓转动电机（26），在冷鼓（11）的下方的真空仓体（37）内设有电极蒸发坩埚（29），在电极蒸发坩埚（29）的左上方设有送丝电机（27），真空仓体（37）的外围用管路分别连接气化炉（20）、真空阀门三（6）、真空阀门四（8）、真空阀门五（21）、真空阀门七（22）、真空阀门八（35）、放气阀（13）和低温循环系统（33），有机双膜电容器成片机避免了传统生产方法介质间挟带空气和粉尘颗粒的问题，提高了电容器的质量。
【专利说明】
有机双膜电容器成片机
技术领域
[0001]本发明属于电容器生产机械设备，特别涉及一种有机双膜电容器成片机。
【背景技术】
[0002]电容器是电子设备中大量使用主要基础元件之一，每年用量都是几百亿支，虽然是基础元件，但因小失大的事故时有发生，随着整机的发展和进步，装备中对电容器质量和产量的要求也越来越高。
[0003]传统的有机薄膜电容器生产设备包括拉膜设备、薄膜分切设备、金属化蒸发设备、卷绕机、真空定型设备等，不但设备数量多，而且投资大。同时，采用传统的电容器生产设备，还很难生产IMi以下的有机介质薄膜对其进行加工。
[0004]传统的有机介质电容器卷绕设备其卷绕过程在大气中进行，生产过程中不可避免的在电容器介质间挟带空气和粉尘颗粒，这会影响电容器的质量，使电容器的使用寿命和耐电压水平下降。
【发明内容】
[0005]本发明的目的在于克服上述技术不足，提供一种集多工序于一机，避免传统生产与空气粉尘接触，提高电容器质量的有机双膜电容器成片机。
[0006]本发明解决技术问题采用的技术方案是:有机双膜电容器成片机包括真空仓体、气化炉、机械栗一、机械栗二、机械栗三、送料电机、送丝电机、冷鼓转动电机、扩散栗一、扩散栗二、扩散栗三、罗茨栗一、罗茨栗二、真空阀门，其特点是在真空仓体内中心处设有冷鼓，在冷鼓的中心处设有冷鼓中心轴，在冷俗中心轴上装有中心轴皮带轮，中心轴皮带轮用皮带传动连接电机皮带轮，电机皮带轮装在冷鼓转动电机的出轴上，在冷鼓的边沿处设有均匀喷涂装置、辉光溅射机构和可移动压差板，在可移动压差板的上面右侧设有油屏蔽，在真空仓体外冷鼓左下方固定冷鼓转动电机，在冷鼓的下方的真空仓体内设有电极蒸发坩祸，电极蒸发坩祸的两侧设有坩祸加热电极，在电极蒸发坩祸的左上方设有送丝电机，坩祸加热电极用导线连接电极蒸发电源，真空仓体的外围用管路分别连接气化炉、真空阀门三、真空阀门四、真空阀门五、真空阀门七、真空阀门八、放气阀和低温循环系统，在气化炉与真空仓体连接的管路上设有裂解加热装置。
[0007]本发明的有益效果是:有机双膜电容器成片机可实现传统金属化有机薄膜电容器七道生产工序，在有机双膜电容器成片机中一次完成，代替多台生产设备。整个电容器母芯片生产过程在真空环境下进行，避免了传统生产方法介质间挟带空气和粉尘颗粒的问题，提高了电容器的质量。
【附图说明】
[0008]以下结合附图以实施例具体说明。
[0009]图1是有机双膜电容器成片机结构连接示意图。
[0010]图中，1-机械栗一;2-罗茨栗一;3-机械栗二;4-真空阀门一;5-真空阀门二;6-真空阀门三;7-扩散栗一;8-真空阀门四；9辉光溅射机构；10-油屏蔽；11-冷鼓；12-均匀喷涂装置；13-放气阀；14-冷鼓中心轴；15-中心轴皮带轮；16-皮带；17-电机皮带轮；18-裂解加热装置；19-送料电机;20-气化炉；21-真空阀门五;22-扩散栗三;23-真空阀门六;24-罗茨栗二; 25-机械栗三;26-冷鼓转动电机;27-送丝电机;28-坩祸加热电极;29-电极蒸发坩祸；30-可移动压差板;31-电极蒸发电源;32-真空阀门七;33-低温循环系统;34-扩散栗二; 35-真空阀门八;36-真空阀门九;37-真空仓体。
【具体实施方式】
[0011 ]实施例，参照附图1，有机双膜电容器成片机是在真空仓体37内中心处设有冷鼓11，在冷鼓11中心处设有冷鼓中心轴14。在冷鼓中心轴14上装有中心轴皮带轮15，中心轴皮带轮15用皮带16传动连接电机皮带轮17，电机皮带轮17装在冷鼓转动电机22的出轴上。在冷鼓11的边沿处设有均匀喷涂装置12、辉光溅射机构9和可移动压差板30，在可移动压差板30的上面右侧设有油屏蔽10，左侧上面固定冷鼓转动电机26。在冷鼓11下方的真空仓体37内设有电极蒸发坩祸29，电极蒸发坩祸29的两侧设有坩祸加热电极28，在电极蒸发坩祸29的左上方设有送丝电机27，坩祸加热电极28用导线连接电极蒸发电源31，真空仓体37外围用管路分别连接气化炉20、真空阀门三6、真空阀门四8、真空阀门五21、睦空阀门七32、真空阀门八35、放气阀13的一端和低温循环系统33。在气化炉20与真空仓体37连接的管路上设有裂解加热装置18，在气化炉20的上方装有送料电机19。在真空阀门五21另一端用管路连接扩散栗三22的一端，扩散栗三22另一端用管路连接真空阀门六23的一端，真空阀门六23另一端用管路连接罗茨栗二 24的一端，罗茨栗二 24的另一端用管路连接机械栗三25。真空阀门三6的另一端用管路连接真空阀门二5、真空阀门九36、罗茨栗一2的一端和真空阀门八35的另一端。真空阀门四8的另一端用管路连接扩散栗一 7的一端，扩散栗一 7另一端用管路连接真空阀门一 4、扩散栗二 34、真空阀门二 5、真空阀门九36的另一端，真空阀门一 4的另一端用管路连接机械栗二3，罗茨栗一2的另一端用管路连接机械栗一I。
[0012]有机双膜电容器成片机的工作过程是:首先关闭真空仓体37，关闭连接在真空仓体37的上方的放气阀13，对真空仓体37进行真空预抽。打开机械栗一、三1、25和真空阀门三、八、五6、35、21，它们通过真空管道连接到真空仓体37上。当真空度达到N X 12时，打开机械栗一、三1、25前端罗茨栗一、二2、24开始抽取高真空。真空度显示到NX 10—1时，打开罗茨栗前端真空阀门二、九、六5、36、23对撒散栗一、二、三7、34、22进行加热(大约需要90分钟)。90分钟后检查扩散栗是否达到温度，温度达到后打开扩散栗一7前级真空阀门四、七、五8、32、21，对真空仓进行高真空的抽取。真空度达到要求后就可以进行双膜电容器母板的制作了。首先对真空仓体37内的冷鼓11通过下方的冷鼓转动电机26设定到N圈/分钟并通过冷鼓11后方的低温循环系统33对冷鼓11进行降温(降温到设定值)。之后加热裂解加热装置18和气化炉20，它们通过后方连接到真空的均匀喷涂装置12上。温度加热到设定温度后打开气化炉20上方送料电机19将有机介质材料均匀送入气化炉20使其气化升华，通过裂解、均匀喷涂装置12均匀的喷到冷难鼓11上形成介质膜。介质膜形成后打开真空仓体37上方的辉光溅射机构9，对介质膜进行辉光清洗和溅射打底之后打开真空仓体37右下方的油屏蔽10和真空仓休37下方的电极蒸发坩祸29，电极蒸发坩祸29通过坩祸加热电极28和其下方的电极蒸发电源31完成加热的。加热完成后通过真空仓体37下方的送丝电机27将金属丝送入坩祸29。完成金属电极的蒸发，一切就绪后即可进入传动自动状态。
【主权项】
1.一种有机双膜电容器成片机，包括真空仓体(37)、气化炉(20)、机械栗一(1)、机械栗二 (3)、机械栗三(25)、送料电机(19)、送丝电机(27)、冷鼓转动电机(26)、扩散栗一 (7)、扩散栗二(34)、扩散栗三(22)、罗茨栗一(2)、罗茨栗二(24)、真空阀门，其特征在于在真空仓体(37)内中心处设有冷鼓(11)，在冷鼓(11)的中心处设有冷鼓中心轴(14)，在冷俗中心轴(14)上装有中心轴皮带轮(15)，中心轴皮带轮(15)用皮带(16)传动连接电机皮带轮(17)，电机皮带轮(17 )装在冷鼓转动电机(26 )的出轴上，在冷鼓(11)的边沿处设有均匀喷涂装置(12)、辉光溅射机构(9)和可移动压差板(30)，在可移动压差板(30)的上面右侧设有油屏蔽(10)，在真空仓体(37)外冷鼓(II)左下方固定冷鼓转动电机(26)，在冷鼓(II)的下方的真空仓体(37)内设有电极蒸发坩祸(29)，电极蒸发坩祸(29)的两侧设有坩祸加热电极(28)，在电极蒸发坩祸(29)的左上方设有送丝电机(27)，坩祸加热电极(28)用导线连接电极蒸发电源(31)，真空仓体(37)的外围用管路分别连接气化炉(20)、真空阀门三(6)、真空阀门四(8)、真空阀门五(21)、真空阀门七(22)、真空阀门八(35)、放气阀(13)和低温循环系统(33)，在气化炉(20)与真空仓体(37)连接的管路上设有裂解加热装置(18)。
【文档编号】H01G13/00GK106057505SQ201610619871
【公开日】2016年10月26日
【申请日】2016年8月2日
【发明人】白树春, 王喜成, 白添淇, 曹海彬, 董双福, 李宫怀, 赵龙, 张鹏
【申请人】阜新市天琪电子有限责任公司