一种提高背腐蚀合格率的药液槽的制作方法
【技术领域】
[0001] 本实用新型涉及太阳能电池片生产技术领域，尤其涉及一种提高背腐蚀合格率的 药液槽。
【背景技术】
[0002] 目前商业化多晶硅太阳电池工艺的去磷硅玻璃与边缘刻蚀使用的是背腐蚀设备， 该设备的基本原理是：将药液置于药液槽中，硅片随滚轮依次在各槽中经过以达到预期效 果，目前的背腐蚀设备中为防止药液挥发，设备槽体上方加了一层平行盖板，但由于药液挥 发后会在盖板内侧冷凝，冷凝的药液会滴落到行进中的硅片上，导致硅片的污染，从而降低 了背腐蚀的合格率。 【实用新型内容】
[0003] 为了解决上述存在的技术问题，本实用新型提供了一种提高背腐蚀合格率的药液 槽，具体的技术方案为：
[0004] 一种提高背腐蚀合格率的药液槽，其特征在于：包括槽体，所述槽体包括左右两块 侧板，所述槽体内部设置有若干滚轮，所述若干滚轮置于槽体底部，所述左右两块侧板呈圆 弧形状，在所述槽体左右两个圆弧形状的侧板之间设置盖板，所述盖板置于槽体上方。
[0005] 本实用新型与现有技术相比具有如下技术效果：本实用新型将原设备的平行盖板 设计成圆弧形，从而使冷凝的药液可以沿着圆弧盖板流回槽中，既减少了药液的损失，又提 高了硅片的合格率，结构简单，设计合理，可操作性强，值得推广。
【附图说明】
[0006] 图1为现有技术药液槽结构示意图。
[0007] 图2为本实用新型药液槽结构示意图。
【具体实施方式】
[0008] 下面通过具体的实施例，并结合附图1、2,对本实用新型的技术方案作进一步具体 的说明。
[0009] 实施例：一种提高背腐蚀合格率的药液槽，包括槽体1，所述槽体1包括左右两块 侧板2,所述槽体1内部设置有若干滚轮3,所述若干滚轮3置于槽体底部4,所述左右两块 侧板2呈圆弧形状，在所述槽体1左右两个圆弧形状的侧板2之间设置盖板5,所述盖板5 置于槽体1上方。
[0010] 以下为两种盖板由于药液滴落造成的不良品数据：
[0011]
【主权项】
1. 一种提高背腐蚀合格率的药液槽，其特征在于：包括槽体，所述槽体包括左右两块 侧板，所述槽体内部设置有若干滚轮，所述若干滚轮置于槽体底部，所述左右两块侧板呈圆 弧形状，在所述槽体左右两个圆弧形状的侧板之间设置盖板，所述盖板置于槽体上方。
【专利摘要】本实用新型涉及一种提高背腐蚀合格率的药液槽，其特征在于：包括槽体，所述槽体包括左右两块侧板，所述槽体内部设置有若干滚轮，所述若干滚轮置于槽体底部，所述左右两块侧板呈圆弧形状，在所述槽体左右两个圆弧形状的侧板之间设置盖板，所述盖板置于槽体上方。将原设备的平行盖板设计成圆弧形，从而使冷凝的药液可以沿着圆弧盖板流回槽中，既减少了药液的损失，又提高了硅片的合格率，结构简单，设计合理，可操作性强，值得推广。
【IPC分类】H01L21-306, H01L31-18
【公开号】CN204497257
【申请号】CN201520164337
【发明人】徐大伟
【申请人】中建材浚鑫科技股份有限公司
【公开日】2015年7月22日
【申请日】2015年3月23日