一种高功率轴快流二氧化碳激光器谐振腔架装置的制造方法

文档序号:10018719阅读:679来源:国知局
一种高功率轴快流二氧化碳激光器谐振腔架装置的制造方法
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及高功率二氧化碳激光器技术领域,具体涉及一种高功率轴快流二氧化碳激光器谐振腔架装置。
【背景技术】
[0002]谐振腔架是高功率轴流二氧化碳激光器的核心部件,主要由电极支撑条、端板、殷钢管等部件组成。谐振腔架的作用是让前镜、尾镜、折返镜、放电管、阴阳极组成同心度极高的谐振腔在谐振腔架的支撑下尽可能的稳定。环境温度变化时只能允许轴向的微小形变,不能造成谐振腔的横向扭曲,进而影响到谐振腔的同心度。它的稳定性决定了激光光束的稳定性,但是现有技术中的谐振腔架结构易受环境温度变化的影响,且在运输搬运过程中冲击力容易影响到谐振腔结构。
[0003]因此,很有必要在现有技术的基础之上,设计研发一种结构设计合理,不受温度变化影响到激光光束的稳定性,且无须额外的固定装置,能够承受搬运过程中一定的冲击力的高功率轴快流二氧化碳激光器谐振腔架装置。

【发明内容】

[0004]实用新型目的:本实用新型的目的是为了解决现有技术的不足,提供一种结构设计合理,不易受温度变化影响激光光束稳定性,且无须额外固定装置,能够承受搬运过程中一定的冲击力的高功率轴快流二氧化碳激光器谐振腔架装置。
[0005]技术方案:为了实现以上目的,本实用新型所采取的技术方案为:
[0006]—种高功率轴快流二氧化碳激光器谐振腔架装置,它包括前端板、后端板、电极支撑条、腔结构管、前支撑板、后支撑板、吊挂、后挂件、前挂件、直线球轴承、关节轴承、角接触关节轴承、光轴、法兰直线轴承和悬挂轴;
[0007]所述的电极支撑条固定于前支撑板和后支撑板之间;腔结构管安装在前端板和后端板之间;前端板、后端板及腔结构管组成的部分悬挂于前支撑板和后支撑板的外侧;
[0008]所述的前端板和后端板的同一侧均安装有吊挂,吊挂与关节轴承配合连接后悬挂于悬挂轴上,所述的悬挂轴固定在前支撑板和后支撑板上;
[0009]所述的后端板另一侧安装有后挂件,后挂件与后端板之间通过直线球轴承配合连接;所述的前端板另一侧安装有前挂件,前挂件与前端板之间通过角接触关节轴承配合连接;
[0010]所述的光轴通过法兰直线轴承安装在后支撑板上。
[0011]作为优选方案,以上所述的高功率轴快流二氧化碳激光器谐振腔架结构,所述的腔结构管为4根。
[0012]作为优选方案,以上所述的高功率轴快流二氧化碳激光器谐振腔架结构,通过直线球轴承、关节轴承和角接触关节轴承之间的配合将电极支撑条、前端板和后端板的相对位置固定。
[0013]作为优选方案,以上所述的高功率轴快流二氧化碳激光器谐振腔架结构,所述的吊挂两头均装有关节轴承。
[0014]作为优选方案,以上所述的高功率轴快流二氧化碳激光器谐振腔架结构,所述的后挂件一端与后支撑板之间通过螺钉固定,后挂件另一端与后端板通过直线球轴承配合连接。
[0015]作为优选方案,以上所述的高功率轴快流二氧化碳激光器谐振腔架结构,所述的前挂件一端与前支撑板之间通过螺钉固定,前挂件另一端与前端板之间通过两对角接触关节轴承连接。
[0016]本实用新型所述的高功率轴快流二氧化碳激光器谐振腔架结构,该谐振腔架主要由两部分组成。第一部分是由电极支撑条、前支承板和后支承板组成,这部分通过前支承板两侧、后支承板中部的光轴这三个点与设备框架固定,光轴与后支承板之间装有法兰直线轴承。这样确保这部分因温度变化引起的形变可以在轴向伸缩。第二部分由前端板、后端板和四根腔结构管组成,腔结构管使用热膨胀系数达到10-6/°C量级的材料。
[0017]为了尽可能减小第一部分与第二部分之间受温度变化时的相互影响,前端板和后端板的同一侧两处均通过吊挂、关节轴承、悬挂轴连在一起,此两处的连接方式可确保两部分之间高度确定下来,但此时两部分之间前后左右都可以移动,后端板另一侧使用后挂件、直线球轴承配合连接,此处连接方式可确保两部分之间左右无法移动,只能做轴向移动,前端板另一侧则使用前挂件、角接触关节轴承配合连接,此处连接方式可确保前端板与前支承板之间的距离固定,通过外力两部分之间无法移动,这两部分合为一体,由于两部分的主体材料膨胀系数不一样,受温度变化影响而发生不一样的形变时,彼此之间只有后端板处轴向的相对移动,而不至于造成腔体的扭曲。
[0018]有益效果:本实用新型提供的高功率轴快流二氧化碳激光器谐振腔架装置与现有技术相比具有以下优点:
[0019]本实用新型提供的高功率轴快流二氧化碳激光器谐振腔架装置,结构设计合理,稳定性好,便于安装,不易受温度变化影响激光光束稳定性,且无须额外固定装置,能够承受搬运过程中一定的冲击力,能够保证激光光束的稳定性,具有重要的应用价值。
【附图说明】
[0020]图1为本实用新型提供的高功率轴快流二氧化碳激光器谐振腔架装置的结构示意图。
[0021]图2是本实用新型提供的高功率轴快流二氧化碳激光器谐振腔架装置中吊挂及内部结构剖视图。
[0022]图3是本实用新型提供的高功率轴快流二氧化碳激光器谐振腔架装置中后挂件及内部结构剖视图。
[0023]图4是本实用新型提供的高功率轴快流二氧化碳激光器谐振腔架装置中前挂件及内部结构剖视图。
【具体实施方式】
[0024]下面结合附图和具体实施例,进一步阐明本实用新型,应理解这些实施例仅用于说明本实用新型而不用于限制本实用新型的范围,在阅读了本实用新型之后,本领域技术人员对本实用新型的各种等价形式的修改均落于本申请所附权利要求所限定的范围。
[0025]实施例1
[0026]如图1至图4所示,一种高功率轴快流二氧化碳激光器谐振腔架装置,它包括前端板(I)、后端板(2)、电极支撑条(3)、腔结构管
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