一种永磁透镜式聚光镜及应用其的桌面型扫描电子显微镜的制作方法
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及电子显微镜技术领域，具体涉及一种永磁透镜式聚光镜及应用其的桌面型扫描电子显微镜。
【背景技术】
[0002]桌面型扫描电子显微镜的电子光学系统由二个聚光镜、一个物镜组成，电子光学不同于几何光学，采用的是磁透镜而不是玻璃透镜。传统磁透镜由纯铁材料按技术要求精细加工成极靴，如图1所示，极靴内包含由漆包线绕制成的线包1，线包通上电流即形成磁透镜;漆包线包式聚光镜在通上电流后产生磁场，对通过聚光镜的电子束进行缩小，采用上述结构的磁透镜必须配合电路才能产生磁场，且随着电流大小的改变产生不同的磁场，影响扫描效率;采用磁透镜的桌面型扫描电子显微镜体积大、重量重，不利于其向小型化、便捷性方向的发展。
【发明内容】
[0003]发明目的:针对现有技术的不足，本实用新型提供一种永磁透镜式聚光镜及应用其的桌面型扫描电子显微镜，能够提高工作效率，减少结构体积。
[0004]技术方案:本实用新型所述的永磁透镜式聚光镜，包括聚光镜壳体、贯穿聚光镜壳体的电子束通道，所述聚光镜壳体内设有对经过所述电子束通道的电子束进行聚焦的永磁透镜。
[0005]进一步完善上述技术方案，所述永磁透镜为采用稀土永磁材质。
[0006]进一步地，所述永磁透镜为采用钕铁硼材质。
[0007]进一步地，所述永磁透镜为两组，通过隔板在所述聚光镜壳体内呈纵向隔开设置。
[0008]进一步地，所述聚光镜壳体包括外壳、盖合在外壳上的上盖，所述外壳、上盖、隔板设有对应的通孔形成所述电子束通道。
[0009]将上述永磁透镜式聚光镜应用于桌面型扫描电子显微镜作为其第一聚光镜，第二聚光镜仍采用传统的磁透镜，物镜也采用传统的物镜，采用永磁透镜式聚光镜的第一聚光镜能够永久处于工作状态并保持固定的缩小倍数，在提高工作效率的同时减少了整体体积。
[0010]有益效果:与现有技术相比，本实用新型的优点:本实用新型开创性地将永磁透镜式聚光镜应用于桌面型扫描电子显微镜，利用永磁透镜的常态磁透镜特点，能够永久处于工作状态且保持固定的缩小倍数、提高了工作效率，无需设置电路提供电流、简化整体结构;采用永磁透镜式聚光镜的桌面型扫描电子显微镜相对于采用传统磁透镜，减轻了重量、缩小了体积，能够达到桌面类型工作台应用的要求。
【附图说明】
[0011]图1为【背景技术】中传统磁透镜的结构示意图。
[0012]图2为本实用新型的结构示意图。
【具体实施方式】
[0013]下面通过附图对本实用新型技术方案进行详细说明。
[0014]实施例1:如图2所不的永磁透镜式聚光镜，包括外壳21、上盖22组成的聚光镜壳体，聚光镜壳体内设有隔板23，外壳21、隔板23、上盖22中心设有对应的通孔形成电子束通道25;在聚光镜壳体内、隔板23上下侧设有采用钕铁硼材料制成的永磁透镜24，钕铁硼材料的牌号MO。钕铁硼作为稀土永磁材料的一种，具有极高的磁能积、矫顽力和高能量密度，将钕铁硼永磁材料制成永磁透镜作为桌面扫描电子显微镜的第一聚光镜，从而使其具备小型化、轻量化、薄型化的优点，同时永磁透镜是常态磁透镜，永久处于工作状态，无需设置外部电路，降低了设备制造成本;且工作时对电子束的缩小倍数固定，保证工作的持续高效、稳定。
[0015]如上所述，尽管参照特定的优选实施例已经表示和表述了本实用新型，但其不得解释为对本实用新型自身的限制。在不脱离所附权利要求定义的本实用新型的精神和范围前提下，可对其在形式上和细节上作出各种变化。
【主权项】
1.一种永磁透镜式聚光镜，包括聚光镜壳体、贯穿聚光镜壳体的电子束通道，其特征在于:所述聚光镜壳体内设有对经过所述电子束通道的电子束进行聚焦的永磁透镜。2.根据权利要求1所述的永磁透镜式聚光镜，其特征在于:所述永磁透镜为采用稀土永磁材质。3.根据权利要求2所述的永磁透镜式聚光镜，其特征在于:所述永磁透镜为采用钕铁硼材质。4.根据权利要求1所述的永磁透镜式聚光镜，其特征在于:所述永磁透镜为两组，通过隔板在所述聚光镜壳体内呈纵向隔开设置。5.根据权利要求4所述的永磁透镜式聚光镜，其特征在于:所述聚光镜壳体包括外壳、盖合在外壳上的上盖，所述外壳、上盖、隔板设有对应的通孔形成所述电子束通道。6.—种包括权利要求1至5任一所述永磁透镜式聚光镜的桌面型扫描电子显微镜，其特征在于:所述桌面型扫描电子显微镜的第一聚光镜为所述永磁透镜式聚光镜。
【专利摘要】本实用新型公开了一种永磁透镜式聚光镜及应用其的桌面型扫描电子显微镜，包括聚光镜壳体、贯穿聚光镜壳体的电子束通道，所述聚光镜壳体内设有对经过所述电子束通道的电子束进行聚焦的永磁透镜；所述永磁透镜为采用钕铁硼材质；同时提供了一种包括所述永磁透镜式聚光镜的桌面型扫描电子显微镜。本实用新型开创性地将永磁透镜式聚光镜应用于桌面型扫描电子显微镜，利用永磁透镜的常态磁透镜特点，能够永久处于工作状态且保持固定的缩小倍数、提高了工作效率，无需设置电路提供电流，减轻了重量、缩小了体积，能够达到桌面类型工作台应用的要求。
【IPC分类】H01J37/143, H01J37/28
【公开号】CN205177768
【申请号】CN201520947043
【发明人】陈芹纯
【申请人】南京特能电子有限公司
【公开日】2016年4月20日
【申请日】2015年11月25日