一种臭氧质改机的制作方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及太阳能电池技术领域，尤其涉及一种臭氧质改机。
【背景技术】
[0002]在光伏太阳能行业，太阳能电池的制造要经过制绒，扩散，刻蚀，镀膜，丝网印刷和烧结六大工序。由于太阳能电站在运行过程中发生PID效应，因此业界在刻蚀工序后对硅片正面进行臭氧氧化，在电池的减反膜下面生长一层薄的氧化硅层，阻挡带电粒子的迀移，避免漏电流的产生。
[0003]PID效应(potential Induced degradat1n)，即电势诱导衰减，是组件阵列串联产生的对地高电压导致组件功率衰减的效应，亦及光伏发电系统在高伏偏压下，高温高湿环境导致漏电流而引起输出功率衰减的现象。PID效应最早于2005年由Sunpower公司发现，太阳能光伏组件在正常工作条件下，接地边框与电池片内部的直流高压导致接地透过组件边框和其它封装材料与电池之间产生漏电流，进而导致带电离子迀移至电池片表面。电池片表面累计的电荷导致的漏电模式使电池片的电性能逐渐衰减，从而降低组件的Isc、V0C以及FF，严重情况下，组件输出功率降低90%以上。而对于系统投资者来说，电能便是其收入来源，关系其投资回报率，输出电能越少，收益越小，而PID效应严重时，组件功率最多可降低至10%以下，严重影响投资商的利益。一般来说，组件工作环境的湿度和温度升高都会加剧PID效应的衰减程度。
[0004]常规臭氧质改机在硅片正面产生二氧化硅层，由于硅片与臭氧反应生成的二氧化硅很薄，臭氧气流的波动、硅片表面的杂质等都会造成二氧化硅的不均匀甚至硅片的局部区域未氧化，进而严重影响电池的抗电势诱导衰减性能，无法在线判断每片硅片上二氧化硅层的均匀性，导致电池成品中将有一定比例的抗电势诱导衰减性能很差的产品，进而导致太阳能发电系统发生严重的功率衰减。
【实用新型内容】
[0005]本实用新型所要解决的技术问题在于，提供一种能保证太阳能电池产品的抗电势诱导衰减性能的臭氧质改机。
[0006]为了解决上述技术问题，本实用新型提供了一种臭氧质改机，包括设有进气管与出气管的臭氧发生器、臭氧喷淋板、去离子水喷淋板、风淋板和近红外探测器，臭氧发生器与臭氧喷淋板由出气管相连接，风淋板固定在臭氧喷淋板下方，去离子水喷淋板固定在风淋板和臭氧喷淋板之间，去离子水喷淋板下方固定有近红外传感器。
[0007]作为上述方案的改进，臭氧发生器为紫外灯照射氧气方式产生臭氧的发生器。
[0008]作为上述方案的改进，所述进气管为两条，一条为氮气管，另一条为氧气管。
[0009]作为上述方案的改进，所述臭氧喷淋板上设置有均匀分布的小孔，孔的直径在I mm-5mm，孔的中心间距为3mm-15mm。
[0010]作为上述方案的改进，所述去离子水喷淋板设置有均匀分布的小孔，孔的直径在 ，孔的中心间距为3mm-6mm。
[0011]作为上述方案的改进，所述风淋板上设置有均匀分布的小孔，孔的直径在Imm-5mm，孔的中心间距为3mm-15mm。
[0012]实施本实用新型实施例，具有如下有益效果:本实用新型通过设置有臭氧喷淋板、去离子水喷淋板、风淋板和近红外探测器，臭氧喷淋板对刻蚀后的硅片正面进行臭氧氧化，然后由去离子水喷淋板在硅片正面喷淋去离子水，风淋板用于吹干硅片，通过近红外传感器筛选出氧化层不均匀或局部区域未氧化的硅片，具有保证太阳能电池产品的抗电势诱导衰减性能的优点。
【附图说明】
[0013]图1是本实用新型结构不意图。
【具体实施方式】
[0014]为使本实用新型的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合附图对本发明作进一步地详细描述。
[0015]如图1所示，本实用实型的一种臭氧质改机，包括设有进气管11与出气管12的臭氧发生器1、臭氧喷淋板2、去离子水喷淋板3、风淋板4和近红外探测器5，臭氧发生器I与臭氧喷淋板2由出气管12相连接，风淋板4固定在臭氧喷淋板2下方，去离子水喷淋板3固定在风淋板4和臭氧喷淋板2之间，去离子水喷淋板3下方固定有近红外传感器5。
[0016]优先的，臭氧发生器I为紫外灯照射氧气方式产生臭氧的发生器。
[0017]优先的，进气管11为两条，一条为氮气管，另一条为氧气管。
[0018]优先的，臭氧喷淋板2上设置有均匀分布的小孔，孔的直径在lmm-5mm，孔的中心间距为 3mm-15mm0
[0019]作为上述方案的改进，所述去离子水喷淋板3设置有均匀分布的小孔，孔的直径在，孔的中心间距为。
[0020]作为上述方案的改进，所述风淋板4上设置有均匀分布的小孔，孔的直径在Imm-5mm，孔的中心间距为3mm-15mm。
[0021]本实用新型的一种臭氧质改机的工作原理如下:臭氧发生器I产生臭氧后通过出气管12将臭氧输送到臭氧喷淋板2，臭氧从臭氧喷淋板2的均匀分布的小孔喷出对刻蚀后的硅片正面进行臭氧氧化，然后由去离子水喷淋板在硅片正面喷淋去离子水，风淋板用于吹干硅片，通过近红外传感器筛选出氧化层不均匀或局部区域未氧化的硅片，从而保证选出氧化层均匀的合格的硅片，具有保证太阳能电池产品的抗电势诱导衰减性能的优点。
[0022]最后所应当说明的是，以上实施例仅用以说明本实用新型的技术方案而非对本实用新型保护范围的限制，尽管参照较佳实施例对本实用新型作了详细说明，本领域的普通技术人员应当理解，可以对本实用新型的技术方案进行修改或者等同替换，而不脱离本实用新型技术方案的实质和范围。
【主权项】
1.一种臭氧质改机，其特征在于，所述质改机包括设有进气管与出气管的臭氧发生器、臭氧喷淋板、去离子水喷淋板、风淋板和近红外探测器，臭氧发生器与臭氧喷淋板由出气管相连接，风淋板固定在臭氧喷淋板下方，去离子水喷淋板固定在风淋板和臭氧喷淋板之间，去离子水喷淋板下方固定有近红外传感器。2.如权利要求1所述一种臭氧质改机，其特征在于，所述臭氧发生器为紫外灯照射氧气方式产生臭氧的发生器。3.如权利要求1所述一种臭氧质改机，其特征在于，所述进气管为两条，一条为氮气管，另一条为氧气管。4.如权利要求1所述一种臭氧质改机，其特征在于，所述臭氧喷淋板上设置有均匀分布的小孔，孔的直径在lmm-5mm，孔的中心间距为3mm-15mm。5.如权利要求1所述一种臭氧质改机，其特征在于，所述去离子水喷淋板上设置有均匀分布的小孔，孔的直径在，孔的中心间距为。6.如权利要求1所述一种臭氧质改机，其特征在于，所述风淋板上设置有均匀分布的小孔，孔的直径在lmm-5mm，孔的中心间距为3mm-15mm0
【专利摘要】本实用新型公开了一种臭氧质改机，所述质改机包括设有进气管与出气管的臭氧发生器、臭氧喷淋板、去离子水喷淋板、风淋板和近红外探测器,臭氧发生器与臭氧喷淋板由出气管相连接，风淋板固定在臭氧喷淋板下方，去离子水喷淋板固定在风淋板和臭氧喷淋板之间，去离子水喷淋板与臭氧喷淋板之间固定有近红外传感器。与现有技术相比，本实用新型通过设置有臭氧喷淋板、去离子水喷淋板、风淋板和近红外探测器，臭氧喷淋板对刻蚀后的硅片正面进行臭氧氧化，然后由去离子水喷淋板在硅片正面喷淋去离子水，风淋板用于吹干硅片，通过近红外传感器筛选出氧化层不均匀或局部区域未氧化的硅片，具有保证太阳能电池产品的抗电势诱导衰减性能的优点。
【IPC分类】H01L31/18
【公开号】CN205335278
【申请号】CN201521010535
【发明人】方结彬, 秦崇德, 石强, 黄玉平, 何达能, 陈刚
【申请人】广东爱康太阳能科技有限公司
【公开日】2016年6月22日
【申请日】2015年12月7日