一种可防止晶片滑落的晶片花篮的制作方法
【专利摘要】一种可防止晶片滑落的晶片花篮，属于太阳能电池、IC 集成电路、LED发光二极管芯片等生产技术领域，本实用新型在每块侧板的上表面覆盖一齿板，齿板上成排设置与插槽的齿宽和齿距一致的锯齿，齿板沿着侧板的长度方向可移动式连接在侧板上。无外力作用时，齿板上锯齿一一对应地排列在相邻的插槽中，可以有效防止在机械或人工搬动、翻转时晶片发生滑落的意外发生。通过外力使齿板沿着侧板的长度方向移动，使齿板上锯齿与插槽重叠，即可实现晶片的取出或插入。本实用新型适用于晶片的存放、搬运，涂胶、光刻、显影等工艺，方便晶片的作业、搬运及存储，提高了晶片的安全性。
【专利说明】
一种可防止晶片滑落的晶片花篮
技术领域
[0001]本实用新型属于太阳能电池、IC集成电路、LED发光二极管芯片等生产技术领域，特别涉及用于存放晶片的花篮。
【背景技术】
[0002]花篮是一种在半导体制造领域广泛使用的生产制具。例如在太阳能电池、IC集成电路、LED发光二极管芯片等被用于晶片的存放、搬运，涂胶，光刻，显影，清洗等工艺。对于LED发光二极管芯片制造来说，所用的花篮主要分为方形及圆形两种。早期多以使用圆形花篮为主，用于湿法蚀刻、去胶、光刻、以及批次性的晶片存放。
[0003]随着自动化设备的大力推广，方形花篮被越来越多的半导体制造商接受。在实际生产制造过程中，自动化机台往往需要配套使用方形花篮，机台内部可以通过机械手臂搬运晶片，相对比较安全。
[0004]现有的结构是:一块U形端板和一块H形端板分别布置在蓝体的两端，在U形端板和H形端板之间连接两块侧板，沿侧板的长度方向、在两块侧板相对的面上分别对称开设若干插槽，各晶片就从侧板的上表面向下对应地插入各插槽中。当从机台中取下完成作业的晶片时，往往需要人为将竖直放立的花篮翻转，在人为翻转过程中往往疏忽会发生翻转反向导致晶片自插槽中滑落，而且在不同机台间周转、搬运时更加容易发生一些类似的事故，造成一定的产品损失。
【实用新型内容】
[0005]为了能够防止晶片从插槽中滑落而影响自动化机台使用，本实用新型提出一种可防止晶片滑落的晶片花篮。
[0006]本实用新型包括一块U形端板和一块H形端板，在U形端板和H形端板之间连接两块侧板，沿各侧板的长度方向、在所述两块侧板相对的面上分别对称开设若干插槽，其特征在于:在每块侧板的上表面覆盖一齿板，所述齿板上成排设置与插槽的齿宽和齿距一致的锯齿，所述齿板沿着侧板的长度方向可移动式连接在侧板上。
[0007]无外力作用时，齿板上锯齿对应地排列在相邻的插槽中，可以有效防止在机械或人工搬动、翻转时晶片发生滑落的意外发生。通过外力使齿板沿着侧板的长度方向移动，使齿板上锯齿与插槽重叠，即可实现晶片的取出或插入。本实用新型所提供的晶片花篮适用于太阳能电池芯片、IC芯片、LED芯片等半导体制造领域。适用于晶片的存放、搬运，涂胶、光刻、显影等工艺，方便晶片的作业、搬运及存储，提高了晶片的安全性。
[0008]实现齿板沿着侧板的长度方向可移动式连接在侧板上的一种具体结构是:在朝向U形端板的侧板上端面设置轴向平行于侧板的长度方向的插孔，在朝向H形端板的侧板上端固定连接一垂直于侧板上端面的铆钉，在朝向U形端板的齿板端部连体设置一插销，在朝向H形端板的齿板端部连体设置一平板，在平板上开设与侧板长度方向平行的长槽，在长槽外端的平板上设置有推柄;所述插销插置于插孔内，所述铆钉配合在长槽内；在齿板的中部连接一拉杆，所述拉杆与弹簧的一端连接，弹簧的另一端与一固定销连接，所述固定销固定连接在侧板上，拉杆较固定销远离H形端板。
[0009]无外力时在弹簧的拉力下，齿板上锯齿一一对应地排列在相邻的插槽中，达到阻挡的作用，通过推柄，可使齿板克服弹簧拉力向U形端板一侧移动，即可方便地使齿板上锯齿与插槽重叠。
[0010]由于设计用于存放晶片的量较大，侧板和齿板也相应地较长，为了加强齿板移动时的导向，本实用新型还在齿板上还设置I至3根垂直于侧板长度方向的副插销，各副插销对应地插置于设置在侧板上端面的副插孔中，各副插孔设有与平板上长槽平行的长形孔。
[0011]另外，所述锯齿的齿尖短于插槽的齿尖，可以很好地阻挡晶片滑落，同时又节约制作材料，符合美观要求。
[0012]花篮的材料包括但不限于特氟龙、金属或者PP材质等。
【附图说明】
[0013]图1为本实用新型的一种结构示意图。
[0014]图2为图1的俯视图。
【具体实施方式】
[0015]如图1、2所示，本实用新型由一块U形端板1、一块H形端板2和两侧侧板3依次相互连接形成矩形(现行行业中统称为方形)的晶片花篮本体，两块侧板3的两端连接在U形端板I和H形端板2之间。在两块侧板3相对的面上分别对称开设若干插槽3-1。
[0016]本实用新型的特点是:
[0017]在每块侧板3的上表面覆盖一齿板4，齿板4上成排设置与插槽3-1的齿宽和齿距一致的锯齿4-1。
[0018]在朝向U形端板I的侧板3上端面设置轴向平行于侧板3的长度方向的插孔5，在朝向H形端板2的侧板3上端固定连接一垂直于侧板3上端面的铆钉6，在朝向U形端板I的齿板4端部连体设置一插销4-2，在朝向H形端板2的齿板4端部连体设置一平板4-3，在平板4-3上开设置与侧板3长度方向平行的长槽4-4，在长槽4-4外端的平板4-3上连体设置有推柄4-5。插销4-2插置于插孔5内，铆钉6配合在长槽4-4内。
[0019]在齿板4的中部连体设置一拉杆4-6，在拉杆4-6的两侧的齿板4上还连体设置与拉杆4-6平行且垂直于侧板3长度方向的两根副插销4-7。拉杆4-6与弹簧7的一端连接，弹簧7的另一端与一固定销8连接，固定销8固定连接在侧板3上，拉杆4-6较固定销8远离H形端板
2。各副插销4-7对应地插置于设置在侧板3上端面的副插孔9中，各副插孔9设有与平板4-3上长槽4-4平行的长形孔，以使副插孔9在相应的副插孔9内沿侧板3的长度方向移动。
[0020]为满足花篮H型端向下放置时，推柄4-5可以完全缩回，不影响端面平整性，推柄4-5伸出长度(或者叫行程)L3应该小于等于L4、L5、L6、L7。
[0021 ]锯齿4-1的齿尖LI小于插槽的齿尖L2，当L1:L2= 1: 2时最佳。以一种常见的2寸晶片花篮为例，花篮开口距离约为54mm，锯齿距离约为38mm，当设计的锯齿为1:2时，开口距离为46mm，晶片滑向花蓝任意一侧的时候，距离为46+4=50mm，正常2寸晶片尺寸为50.8 土
0.025_，大于开口尺寸，可以很好地阻挡晶片滑落，同时又节约制作材料，符合美观要求。
【主权项】
1.一种可防止晶片滑落的晶片花篮，包括一块U形端板和一块H形端板，在U形端板和H形端板之间连接两块侧板，沿各侧板的长度方向、在所述两块侧板相对的面上分别对称开设若干插槽，其特征在于:在每块侧板的上表面覆盖一齿板，所述齿板上成排设置与插槽的齿宽和齿距一致的锯齿，所述齿板沿着侧板的长度方向可移动式连接在侧板上。2.根据权利要求1所述可防止晶片滑落的晶片花篮，其特征在于在朝向U形端板的侧板上端面设置轴向平行于侧板的长度方向的插孔，在朝向H形端板的侧板上端固定连接一垂直于侧板上端面的铆钉，在朝向U形端板的齿板端部连体设置一插销，在朝向H形端板的齿板端部连体设置一平板，在平板上开设与侧板长度方向平行的长槽，在长槽外端的平板上设置有推柄;所述插销插置于插孔内，所述铆钉配合在长槽内；在齿板的中部连接一拉杆，所述拉杆与弹簧的一端连接，弹簧的另一端与一固定销连接，所述固定销固定连接在侧板上，拉杆较固定销远离H形端板。3.根据权利要求2所述可防止晶片滑落的晶片花篮，其特征在于在齿板上还设置I至3根垂直于侧板长度方向的副插销，各副插销对应地插置于设置在侧板上端面的副插孔中，各副插孔设有与平板上长槽平行的长形孔。4.根据权利要求1或2或3所述可防止晶片滑落的晶片花篮，其特征在于所述锯齿的齿尖短于插槽的齿尖。
【文档编号】H01L21/673GK205428884SQ201521080140
【公开日】2016年8月3日
【申请日】2015年12月23日
【发明人】李波, 李俊承, 郭冠军, 杨凯, 林洪亮, 徐洲, 王英
【申请人】扬州乾照光电有限公司