一种气体辉光放电装置的制造方法
【专利摘要】本实用新型提供一种气体辉光放电装置，包括固定卡具、定位块、定位片、磁铁、螺钉组成；固定卡具与材料处理设备相匹配，固定卡具与定位片由螺钉穿过定位块进行固定，以使定位片与固定卡具有一定的距离且固定了定位片；磁铁可以在定位片上灵活移动，磁铁磁场线可以作用在指定位置的附近区域，使得指定位置附近区域气体原子离化效率提高，能够对辉光放电过程中辉光的位置和辉光的形状以及辉光的强度进行精确控制，缩短了辉光放电时间，本实用新型的技术效果能够克服现有技术的不足，解决在指定区域实施辉光放电过程不易形成辉光、辉光不稳定的问题；辉光所需要的气体压强和电压得到很大的改善；提高零部件表面处理的成功率；提高工作效率和合格率。
【专利说明】
一种气体辉光放电装置
[0001 ] 技术领域。
[0002]本实用新型涉及一种气体辉光放电装置，更准确的说，是涉及零部件表面处理工艺中的一种辉光放电辅助控制装置。
[0003]【背景技术】。
[0004]光电倍增管的生产行业中，部分零件前期需要用到等离子体来清洁指定位置材料表面或者使气体粒子与指定位置的表面材料进行反应形成所需要的化合物，这个过程简称为辉光放电处理过程。但是随着指定位置的形状发生变化导致等离子体的形成和形成后的等离子体形状和强度难以控制。
[0005]传统技术中，部分零部件表面处理过程中，在实施某种气体的辉光放电过程时，通过单一调整电压大小和气体压强难以使辉光形成在指定位置附近区域上，同时辉光形状会容易变化辉光强度难以控制，严重地制约了工作效率和合格率。
[0006]【实用新型内容】。
[0007]本实用新型的目的是要提供了一种气体辉光放电装置，解决在指定区域实施辉光放电过程不易形成辉光、辉光不稳定的问题；同时辉光所需要的气体压强和电压得到很大的改善;进而大大提高零部件表面处理的成功率;能够实现对零部件指定位置的表面材料辉光放电进行精确控制，提高工作效率和合格率。
[0008]为实现本实用新型的目的，本实用新型提供一种气体辉光放电装置包括:固定卡具、定位块、定位片、磁铁、螺钉组成。
[0009]固定卡具与材料处理设备相匹配，固定卡具与定位片由螺钉穿过定位块进行固定，以使定位片与固定卡具有一定的距离且固定了定位片。
[0010]磁铁可以在定位片上灵活移动，磁铁磁场线可以作用在指定位置的附近区域，使得指定位置附近区域气体原子离化效率提高，能够对辉光放电过程中辉光的位置和辉光的形状以及辉光的强度进行精确控制，缩短了辉光放电时间。
[0011]固定卡具材质为透明塑料制成，可以有效的观测辉光放电的强度和辉光放电形状。
[0012]定位块材质为塑料制成。
[0013]定位片材质为可以导磁的金属制成。
[0014]与传统气体辉光放电装置相比，本实用新型有如下优点。
[0015]本实用新型采用固定卡具与材料处理设备相匹配，不但能将磁场精确的作用在指定位置的附近区域，而且可以通过固定卡具的特殊观察孔很好的观察到辉光放电形成的位置，辉光的形状和强度;定位片连接固定卡具和磁铁，有很好的韧性，不易松动，不易损坏；本实用新型能提供合适强度的磁场线，促进指定位置的附近区域形成等离子体，进而可以使辉光放电过程完成自动控制，提高了工作效率和合格率。
[0016]本实用新型将通过优选的实施例结合附图加以说明。
[0017]【附图说明】。
[0018]图1.是本实用新型装置图。
[0019]图2.为本实用新型工作过程原理图。
[0020]附图中符号说明:1、固定卡具;2、定位块;3、螺钉;4、定位片;5、磁铁;6、处理设备窗口；7、处理设备;8、电势板;9、被处理材料;10、低电势板;11、电场线；12、磁场线；13、高电势板。
[0021]【具体实施方式】。
[0022]参照附图将详细叙述本实用新型的具体实施方案。
[0023]如图1，本实用新型包括:固定卡具I；定位块2 ；螺钉3 ；定位片4；磁铁5。
[0024]固定卡具I固定在材料处理设备7上，固定卡具I与定位片4由螺钉3穿过定位块2进行固定，磁铁5可以在定位片4上灵活移动;通过适当调整固定卡具I使得磁铁5达到指定位置，使得其磁场线能够分布在被处理材料9和电势板8之间的附近区域，与电场线的共同作用，起到促进等离子体的形成和控制辉光的形状和强度的功效。
[0025]如图2:被处理材料9和电势板8之间气体电离的工作原理过程。传统工艺中在电场线11的作用下使得气体分子A电离，形成带正电荷粒子和电子，进而形成等离子体，但是由于低电势板10形状存在异形可能的原因，导致低电势板10和高电势板13之间电场线11不够均匀，如果只通过调节气体A的压强和电场线11的强度很难使辉光形状和辉光强度得以稳定。通过本实用型装置为低电势板10和高电势板13之间区域的气体电离过程增添了磁场线12，进而促进低电势板10和高电势板13之间区域等离子体的形成，并且通过控制磁场线11的强度间接控制辉光的形状和强度。
[0026]当然，本实用新型还可有其他实施例，在不违背本实用新型实质的前提下，相关技术人员可根据本实用新型做出相应改变或变形，但这些改变和变形都应属于本实用新型权利要求的保护范围。
【主权项】
1.一种气体辉光放电装置，其特征在于，包括固定卡具、定位块、定位片、磁铁、螺钉组成；固定卡具与材料处理设备相匹配，固定卡具与定位片由螺钉穿过定位块进行固定，以使定位片与固定卡具有一定的距离且固定了定位片;磁铁可以在定位片上灵活移动，磁铁磁场线可以作用在指定位置的附近区域，使得指定位置附近区域气体原子离化效率提高，能够对辉光放电过程中辉光的位置和辉光的形状以及辉光的强度进行精确控制，缩短了辉光放电时间。2.根据权利要求1所述的一种气体辉光放电装置，其特征在于，固定卡具材质为透明塑料制成，可以有效的观测辉光放电的强度和辉光放电形状。3.根据权利要求1所述的一种气体辉光放电装置，其特征在于，定位块材质为塑料制成。4.根据权利要求1所述的一种气体辉光放电装置，其特征在于，定位片材质为可以导磁的金属制成。
【文档编号】H01J37/32GK205508768SQ201620314619
【公开日】2016年8月24日
【申请日】2016年4月15日
【发明人】谢章义, 霍玉凯, 刘海辉, 高小香
【申请人】北京滨松光子技术股份有限公司