一种干蚀刻机台pin的改进结构的制作方法
【专利摘要】本实用新型公开了一种干蚀刻机台PIN的改进结构，涉及半导体工艺设备领域，该干蚀刻机台PIN的改进结构，其特征在于：PIN的下端设有螺纹；还包括一夹套，所述的夹套设有和PIN下端配合的螺纹。通过螺纹连接，取代了现有的PIN夹持式连接方式。本实用新型不易脱落，且使用稳定。
【专利说明】
一种干蚀刻机台PIN的改进结构
技术领域
[0001 ]本实用新型涉及一种干蚀刻机台PIN的改进结构。
【背景技术】
[0002]在半导体工艺中，设备的状况关系到芯片的产出。如果设备的零件经常性更换，不仅大大降低机台的工作效率，还影响出货;在设备零件中，干刻蚀机台的PIN就是一个例子，它主要控制晶圆在制程时的上升与下降，因此，它的好坏将会严重影响制程的进度。以Tegal 901为例，参见图1和图2，干刻蚀机台的PIN主要采用弹簧式夹套进行固定。其中，pinI的下端穿过机台3，被夹套2固定，夹套2的内部设有貪片21用于夹持P in I的下端。
[0003]PIN I的材质为石英。PIN I主要采用夹套2作为媒介与气缸连接，即由气缸带动金属夹套使PIN完成上顶与下降。但是随着使用时间的增长，易出现弹簧夹套的老化，极易导致PIN在上升与下降的过程中发生脱落与断裂，大大影响了制程;例如在制程中，一些制程气体(如02)会导致金属夹套与PIN的腐蚀。久而久之，将导致PIN的脱落甚至损坏，造成刻蚀的不均匀性，大大影响制程的效果。而且，弹簧式夹套固定在气缸平台上，如更换夹套的话，将大大耗费人力。
【实用新型内容】
[0004]本实用新型的目的在于提供一种在干蚀刻机台PIN的改进结构，以解决现有技术中存在的上述问题。
[0005]本实用新型提供的技术方案如下:
[0006]—种干蚀刻机台PIN的改进结构，其特征在于:PIN下端设有螺纹;还包括一夹套，所述的夹套设有和PIN下端配合的螺纹。
[0007]在本实用新型的一较佳实施例中，所述的PIN为陶瓷PIN。
[0008]在本实用新型的更佳实施例中，所述的PIN为耐腐蚀的陶瓷制成的PIN。
[0009]在本实用新型的一较佳实施例中，所述的夹套为陶瓷夹套。
[0010]在本实用新型的更佳实施例中，所述的夹套为耐腐蚀的陶瓷制成的夹套。
[0011]由上述描述可知，本实用新型提供了一种干蚀刻机台PIN的改进结构，PIN下端设有螺纹;还包括一夹套，所述的夹套设有和PIN下端配合的螺纹。通过螺纹连接，取代了现有的PIN夹持式连接方式。同现有技术相比，有如下优点:
[0012]1、使得PIN不易脱落，保障制程的稳定性；
[0013]2、PIN的更换难度降低，提高机台生产力，并减少人力时间；
[0014]3、PIN和夹套采用陶瓷尤其是耐腐蚀陶瓷制成，可以增加PIN的使用寿命;延长机台保养周期，维修方便。
【附图说明】
[0015]图1为本实用新型现有技术的干蚀刻机台PIN的结构主体结构示意图；
[0016]图2为本实用新型现有技术的干蚀刻机台PIN的局部结构主结构示意图；
[0017]图3为本实用新型实施例的干蚀刻机台PIN的改进结构示意图。
【具体实施方式】
[0018]本实用新型的具体实施例，参照图3，一种干蚀刻机台PIN的改进结构，同样包括PINl和轴套2。和现有技术的石英PIN不同的是，本实用新型使用的是陶瓷材料。优选采用耐腐性陶瓷材料作为PIN的制作原料;其次，PIN I的下端设有外螺纹11，夹套2设有对应的内螺纹，即将夹套2改为螺帽，固定在平台3上。本实用新型通过螺纹连接，将PINl与气缸平台固定一起，与现有的夹套固定方式相比，大大降低PIN脱落的可能，增强了机台的稳定性，而且陶瓷材质的PIN耐腐性高于石英的PIN。
[0019]上述仅为本实用新型的一个具体实施例，但本实用新型的设计构思并不局限于此，凡利用此构思对本实用新型进行非实质性的改动，均应属于侵犯本实用新型保护范围的行为。
【主权项】
1.一种干蚀刻机台PIN的改进结构，其特征在于:PIN下端设有螺纹;还包括一夹套，所述的夹套设有和PIN下端配合的螺纹。2.如权利要求1所述的一种干蚀刻机台PIN的改进结构，其特征在于:所述的PIN为陶瓷PIN。3.如权利要求2所述的一种干蚀刻机台PIN的改进结构，其特征在于:所述的PIN为耐腐蚀的陶瓷制成的PIN。4.如权利要求1所述的一种干蚀刻机台PIN的改进结构，其特征在于:所述的夹套为陶瓷夹套。5.如权利要求4所述的一种干蚀刻机台PIN的改进结构，其特征在于:所述的夹套为耐腐蚀的陶瓷制成的夹套。
【文档编号】H01L21/67GK205508786SQ201620100083
【公开日】2016年8月24日
【申请日】2016年2月1日
【发明人】苏佳铿
【申请人】厦门市三安集成电路有限公司