一种适用于微电子行业的涂胶设备的制造方法
【专利摘要】一种适用于微电子行业的涂胶设备，包括点胶针筒、吸盘、驱动电机、抽气设备、净化工作腔、湿度计、压缩氮气瓶和抽气风机，净化工作腔左右端板开设气孔，净化工作腔的左侧端板外设置有散流罩，压缩氮气瓶的出气口经过减压阀连接散流罩的进气口，净化工作腔的右侧端板外设置有集风罩，集风罩的出气口连接抽气风机的进气口，点胶针筒固定在净化工作腔的顶部，吸盘设置于净化工作腔内且位于点胶针筒的正下方。本实用新型将涂胶放置于净化工作腔内进行，不会污染操作环境，保护人员健康；净化工作腔为涂胶过程提供了洁净的环境，空气中的灰尘不会污染涂覆的胶水；湿度过大时，可以通过打开压缩氮气瓶，向工作腔内送入干燥的氮气来降低工作腔内的湿度。
【专利说明】
一种适用于微电子行业的涂胶设备
技术领域
[0001]本实用新型涉及一种适用于微电子行业的涂胶设备，特别适合用于微电子行业的涂胶工艺。
【背景技术】
[0002]微电子技术作为电子信息产业的核心技术之一，已经成为现代电子信息技术，尤其是计算机和通讯技术发展的驱动力。为了在新的科技革命中迎头赶上西方发达国家，必须在微电子技术领域取得快速的发展。
[0003]涂胶是微电子行业十分常用的工艺步骤。目前现有的注胶设备要么结构简陋，自动化程度低，工人劳动强度大;要么结构复杂，成本高昂，不利于推广。
【发明内容】
[0004]本实用新型的目的在于，克服上述现有技术的缺陷，提供一种适用于微电子行业的涂胶设备。
[0005]上述目的由下述技术方案来实现:本实用新型提供的适用于微电子行业的涂胶设备，包括点胶针筒、用于承载硅片的吸盘、用于驱动该吸盘旋转的驱动电机和为吸盘提供吸力的抽气设备，其特征在于:还包括净化工作腔、湿度计、压缩氮气瓶和抽气风机，所述湿度计设置于净化工作腔的内部;所述净化工作腔左右端板开设气孔，净化工作腔的左侧端板外设置有散流罩，压缩氮气瓶的出气口经过减压阀连接散流罩的进气口，所述净化工作腔的右侧端板外设置有集风罩，集风罩的出气口连接抽气风机的进气口，所述点胶针筒固定在净化工作腔的顶部，吸盘设置于净化工作腔内且位于点胶针筒的正下方;吸盘的中轴线位置设有与抽气设备相连的吸气管，吸盘的吸气管顶端周围设置有环形储胶槽，吸盘的吸气管顶端至吸盘上表面的距离为2mm。
[0006]本实用新型还具有如下改进:
[0007]1、吸盘的横截面呈W型，储胶槽的深度为6mm，靠近吸气管一侧的储胶槽内壁与水平面的夹角为70°，远离吸气管一侧的储胶槽内壁与水平面的夹角为50°。
[0008]2、所述湿度计悬挂固定在净化工作腔内的顶部。
[0009]3、所述点胶针筒的针管下端设有单向阀。
[0010]4、所述单向阀为薄膜单向阀。
[0011]本实用新型将涂胶放置于净化工作腔内进行，不会污染操作环境，保护人员健康；净化工作腔为涂胶过程提供了洁净的环境，空气中的灰尘不会污染涂覆的胶水;吸盘转动时，胶水也不会甩到净化工作腔外部。本实用新型对吸盘的尺寸进行了改进，使其对硅片具有更好的吸附力。此外，净化工作腔内设置有湿度计，通过观察湿度计可以知晓工作腔内的湿度情况，湿度过大时，可以通过打开压缩氮气瓶，向工作腔内送入干燥的氮气来降低工作腔内的湿度，使涂胶过程得以顺利进行(一般来说，涂胶的工作环境湿度应当低于60%RH)。
[0012]本实用新型结构简单、设计巧妙，使用方便，且易于维护。本装置的生产成本低，功能可满足实际生产需要，适于在微电子行业广泛运用。
【附图说明】
[0013]图1是本实用新型适用于微电子行业的涂胶设备的结构示意图。
[0014]图中标号示意如下:
[0015]1-净化工作腔;2-散流罩;3-集风罩;4-压缩氮气瓶;5-抽气风机;6_减压阀；7_抽气设备;8-吸盘;9-驱动电机;10-点胶针筒;11-单向阀；12-硅片；13-湿度计。
【具体实施方式】
[0016]如图1所述，本实施例适用于微电子行业的涂胶设备，包括点胶针筒10、用于承载硅片12的吸盘8、用于驱动该吸盘8旋转的驱动电机9和为吸盘8提供吸力的抽气设备7，净化工作腔1、湿度计13、压缩氮气瓶4和抽气风机5，点胶针筒10的针管下端设有单向阀11(选用薄膜单向阀)，湿度计13悬挂固定在净化工作腔内的顶部，净化工作腔I左右端板开设气孔，净化工作腔I的左侧端板外设置有散流罩2，压缩氮气瓶4的出气口经过减压阀6连接散流罩2的进气口，净化工作腔I的右侧端板外设置有集风罩3，集风罩3的出气口连接抽气风机5的进气口，点胶针筒10固定在净化工作腔I的顶部，吸盘8设置于净化工作腔I内且位于点胶针筒10的正下方;吸盘8的中轴线位置设有与抽气设备7相连的吸气管，吸盘8的吸气管顶端周围设置有环形储胶槽，吸盘8的吸气管顶端至吸盘8上表面的距离为2mm。如图1所示，吸盘8的横截面呈W型，储胶槽的深度为6mm，靠近吸气管一侧的储胶槽内壁与水平面的夹角为70°，远离吸气管一侧的储胶槽内壁与水平面的夹角为50°。
[0017]吸盘带动硅片旋转，从点胶针筒滴下的胶水在离心力的作用下向外移动，从而实现自动匀胶，由于硅片的亲水性，甩至硅片边缘的胶水容易流到吸盘的背面，并且因重力作用向中间聚拢。环形储胶槽能够有效阻挡该部分胶水流入吸气管，从而确保匀胶机的正常运转，提高匀胶效率。
[0018]通过观察湿度计可以知晓工作腔内的湿度情况，湿度过大时，可以通过打开压缩氮气瓶，向工作腔内送入干燥的氮气来降低工作腔内的湿度。
[0019]除上述实施例外，本实用新型还可以有其他实施方式。凡采用等同替换或等效变换形成的技术方案，均落在本实用新型要求的保护范围。
【主权项】
1.一种适用于微电子行业的涂胶设备，包括点胶针筒、用于承载硅片的吸盘、用于驱动该吸盘旋转的驱动电机和为吸盘提供吸力的抽气设备，其特征在于:还包括净化工作腔、湿度计、压缩氮气瓶和抽气风机，所述湿度计设置于净化工作腔的内部;所述净化工作腔左右端板开设气孔，净化工作腔的左侧端板外设置有散流罩，压缩氮气瓶的出气口经过减压阀连接散流罩的进气口，所述净化工作腔的右侧端板外设置有集风罩，集风罩的出气口连接抽气风机的进气口，所述点胶针筒固定在净化工作腔的顶部，吸盘设置于净化工作腔内且位于点胶针筒的正下方;吸盘的中轴线位置设有与抽气设备相连的吸气管，吸盘的吸气管顶端周围设置有环形储胶槽，吸盘的吸气管顶端至吸盘上表面的距离为2mm。2.根据权利要求1所述的适用于微电子行业的涂胶设备，其特征在于:吸盘的横截面呈W型，储胶槽的深度为6mm，靠近吸气管一侧的储胶槽内壁与水平面的夹角为70°，远离吸气管一侧的储胶槽内壁与水平面的夹角为50°。3.根据权利要求1所述的适用于微电子行业的涂胶设备，其特征在于:所述湿度计悬挂固定在净化工作腔内的顶部。4.根据权利要求1所述的适用于微电子行业的涂胶设备，其特征在于:所述点胶针筒的针管下端设有单向阀。5.根据权利要求4所述的适用于微电子行业的涂胶设备，其特征在于:所述单向阀为薄膜单向阀。
【文档编号】H01L21/683GK205508779SQ201620334854
【公开日】2016年8月24日
【申请日】2016年4月20日
【发明人】曹小峰, 程实
【申请人】南通大学