振动型致动器及其制造方法

专利名称：振动型致动器及其制造方法
技术领域：
本发明涉及通过压电元件等驱动元件对驱动器励振而使移动体移动的振动型致 动器及其制造方法。
背景技术：
在以下的专利文献1中，公开了一种振动型致动器，其具有经由螺纹部互相嵌合 的驱动器和移动器、对所述驱动器励振的压电元件。当将所述压电元件的驱动器反复进行二轴且存在相位差的弯曲运动(或弯曲振 动，以下相同)时，驱动器的运动为进行旋转运动，并向移动器传递，而使移动器移动。移动 器经由螺纹部与驱动器嵌合，故移动器在本身旋转力的作用下，向螺纹的轴向移动。在这种 振动型致动器中，移动器能够以较低速旋转，同时向沿着所述中心轴的方向进退移动，且具 有能够获得大驱动转矩而发挥大进退移动力(推进力)的优点。作为这样的弯曲运动的由长条形状构成的致动器的支承构件，存在例如以下的专 利文献2等。在专利文献2中公开有一种利用了压电振动器的振动型回转仪，该压电振动器由 长条状的圆柱压电陶瓷构成，在其外周面形成有驱动用、检测及共用接地用的电极图案，且 若对各电极之间施加规定电压则整体进行弯曲运动。压电振动器在从其两端隔有规定距离的两处位置具有用于进行弯曲运动的节点 (振动节)，在该节点的附近分别外插有包括弹性材质的环状支承构件，且将该环状支承构 件分别装接于在支承架上竖立设置的两处凸缘部的安装孔内，而被支承固定。专利文献1 日本特表2007-505599号公报专利文献2 日本特表2002-22451号公报如上所述，在长条状的振动器的情况下，分别通过弹性材料支承两端的节点(振 动节)附近，能够实现效率良好的弯曲运动。然而，支承振动器的位置虽然适当，但存在这样的问题当加压力过小时，每次弯 曲运动支承位置会在长边方向上产生偏差，导致弯曲运动变得不稳定，其结果是，振动器的 进退移动力(推进力)降低。另外，与其相反地存在这样的问题当加压力过大时，振动器的动作受到拘束，无 法进行效率良好的弯曲运动，从而导致进退移动力(推进力)降低。进而，还存在这样的问题需要设置支承环状支承构件等振动器的专用的构件，且 需要收纳这些构件的空间，故导致难以小型化、且若小型化则难以制造。

发明内容
本发明就是鉴于上述现有问题而作出的，其目的在于，提供一种不会降低推进力， 而能够稳定地支承振动器(移动体)的振动型致动器。本发明的目的还在于提供一种通过以小的空间支承振动器(移动体)，从而实现小型化的振动型致动器。本发明的目的还在于提供一种能够简单地制造小型的振动型致动器的方法。本发明涉及一种振动型致动器，其具有致动器主体和支承所述致动器主体的支承 构件，该致动器主体具有筒体、进退自如地设置在所述筒体的内部的移动体及设于所述筒 体的周围对所述筒体赋予弯曲运动的压电元件，所述振动型致动器的特征在于，所述致动器主体通过具有弹性的粘接剂被支承为能够相对于所述支承构件进行 所述弯曲运动的状态。在本发明中，通过由在硬化后具有适度弹性的粘接剂来支承致动器主体，而不需 要如现有那样通过加压力来支承。由此，无需进行加压力的调整，而能够使致动器主体的弯 曲运动稳定。其结果是，能够防止移动体的推进力的降低。例如，在本发明的结构中，所述支承构件由一组支承架与罩体构成，所述致动器主 体被支承在由所述支承架与罩体组合形成的框体的内侧。在这种情况下，可构成为，所述粘接剂涂敷于形成在所述致动器主体与所述支承 架的内表面之间及所述致动器主体与所述罩体的内表面之间的间隙中。 在上述方式中，通过在形成于致动器主体与支承架及罩体之间的间隙涂敷粘接剂 能够支承致动器主体。由此，无需确保用于安装弹性体的专用的空间，而能够小型化振动型 致动器。例如，在本发明的结构中，挠性电缆设于所述压电元件的周围，所述粘接剂涂敷于 所述挠性电缆的外表面。在上述方式中，能够确保与各压电元件的电连接的同时支承致动器主体。另外，在本发明中优选的是，所述支承架及所述罩体均具有侧部，所述罩体的侧部 被组合位于所述支承架的侧部的外表面，在所述支承架的侧部的外表面形成有在与所述罩体之间凹凸嵌合而将所述支承 架与所述罩体之间定位的凸部，在所述支承架的侧部的与所述凸部对置的内表面形成有作 为所述粘接剂的树脂积存部而发挥功能的凹部。由此，能够简单且高精度地进行罩体相对于支承架的定位，并且能够抑制粘接剂 向外部露出的情况。另外，在本发明中优选的是，所述支承架具有第一平面部；在所述第一平面部的 左右方向(Y1-Y2)的两侧朝向高度方向形成的第一侧部及第二侧部，所述罩体具有第二平面部；在所述第二平面部的左右方向(Y1-Y2)的两侧朝向 与所述第一侧部及第二侧部相反的方向形成的第三侧部及第四侧部，在由所述第一平面部、所述第一侧部、所述第二侧部及所述第二平面部围成的空 间内，所述致动器主体经由所述粘接剂而分别被支承于所述第一平面部的内表面、所述第 二平面部的内表面、所述第一侧部的内表面及所述第二侧部的内表面。在致动器主体与支承构件之间能够经由粘接剂而支承致动器主体的上下左右，由 此，能够相对于外力而稳定地支承致动器主体。另外，能够形成粘接剂难以向外部流出的结 构。另外，在本发明中优选的是，在所述第三侧部及所述第四侧部的裙部形成有所述 左右方向的间隔朝向基端逐渐扩展的引导部。由此，在将罩体的侧部滑动移动到支承架11
6的侧部而装入时，所述罩体的引导部与形成于支承架的外表面的凸部抵接之际，所述引导 部向使所述罩体的第三侧部及第四侧部间的左右方向的间隔扩展的方向作用，从而能够顺 畅地将罩体的侧部沿着支承架的侧部的外表面装入凹凸嵌合的位置。另外，在本发明中优选的是，所述第一侧部及所述第二侧部分别在相对于所述左 右方向正交的前后方向(X1-X2)多个分离而形成，在被分离的所述第一侧部之间或所述第 二侧部之间中的至少一者形成有与所述第一平面部一体延伸的安装部，在各第一侧部与所述致动器主体之间及各第二侧部与所述致动器主体之间分别 涂敷有所述粘接剂。另外，在本发明中优选的是，分别涂敷于所述第一侧部与所述致动器主体之间、所 述第二侧部与所述致动器主体之间、所述第一平面部与所述致动器主体之间及所述第二平 面部与所述致动器主体之间的所述粘接剂位于相对于前后方向(X1-X2)正交的同一面内。由此，能够在致动器主体的上下左右平衡良好地涂敷粘接剂，特别是，能够在关节 (振动节)的位置的上下左右平衡良好地涂敷所述粘接剂，能过效率良好地使筒体进行弯 曲运动，从而能够有效地增大移动体的进退移动力。另外，在本发明中优选的是，在所述第一平面部及所述第二平面部的内表面中的 至少一者形成有保持用于涂敷的所述粘接剂的凹部。在上述方式中，能够在凹部预先积存硬化前的粘接剂，因此，能够防止粘接剂的浪费。或者是，将粘接剂嵌入凹部，故即使致动器主体进行弯曲运动，粘接剂也不会错 位。由此，能够将致动器主体与支承构件的移动方向上的相对位置关系维持在初始状态。另外，通过凹部能够限制涂敷粘接剂的位置。例如，所述粘接剂为硅酮橡胶。另外，本发明涉及一种振动型致动器的制造方法，其特征在于，包括(a)通过组合支承架与罩体而形成由框体构成的支承构件的工序；(b)在所述支承构件的内部，不与所述支承架的内表面及所述罩体的内表面相接 而分别隔着规定的间隙保持致动器主体的工序；(c)向所述支承架的内表面与所述致动器主体的间隙及所述罩体的内部与致动器 主体的间隙涂敷粘接剂的工序。或者是，本发明涉及的振动型致动器的制造方法的特征在于，包括(d)保持致动器主体的工序；(e)在所述致动器主体两侧中的一侧配置保持架，在另一侧对置配置罩体的工 序；(f)向所述支承架的内表面与所述致动器主体中的一者及所述罩体的内表面与所 述致动器主体中的一者分别涂敷粘接剂的工序；(g)通过组合所述支承架与所述罩体而形成由框体构成的支承构件的工序。在上述方法中，优选的是所述粘接剂为硅酮橡胶。在本发明中，能够简单地制造通过粘接剂弹性支承致动器主体的振动型致动器。在本发明中优选的是，在所述支承架形成侧部，在该侧部的外表面形成凸部，在该 侧部的与所述凸部对置的内表面形成凹部，使所述罩体的侧部位于所述支承架的侧部的外表面，此时，通过所述凸部凹凸嵌合所述支承架的侧部与所述罩体的侧部，将所述支承架与所述罩体之间定位，使用所述凹部作为涂敷在所述支承架的侧部的内表面的所述粘接剂的积存部。通过上述结构，能够将罩体与支承架之间可靠且简单地组装，另外，能够简单且高 精度地进行罩体相对于支承架的定位。另外，即使在所述支承架的侧部的内表面涂敷的所 述粘接剂为例如流动性高的材料，也能过在所述凹部内积存，从而能够抑制粘接剂向外部 流出的情况。另外，在本发明中优选的是，所述支承架具有底部；在所述底部的左右方向 (Y1-Y2)的两侧朝向上方(Z1)形成的第一侧部及第二侧部；所述罩体具有上部；在所述上部的左右方向(Y1-Y2)的两侧朝向下方(Z2)形成 的第三侧部及第四侧部；其中，所述振动型致动器的制造方法包括在所述支承架的所述底部的内表面、所述第一侧部的内表面及所述第二侧部的内 表面分别涂敷硬化前的粘接剂的工序；在由所述支承架的所述底部、所述第一侧部及所述第二侧部围成的空间内以隔着 所述粘接剂的状态保持所述致动器主体，进而在所述致动器主体的上表面涂敷硬化前的粘 接剂的工序；使所述罩体的第三侧部及第四侧部与所述支承架的第一侧部及第二侧部的外表 面对置且凹凸嵌合，从而将所述支承架与罩体之间定位的工序。由此，能够在致动器主体与支承构件之间经由粘接剂而支承致动器主体的上下左 右，由此，能够相对于外力而稳定地支承致动器主体。另外，在比罩体的侧部更靠内侧的位 置的支承架的侧部的内表面涂敷粘接剂，因此，能够形成粘接剂难以向外部流出的结构。另外，在本发明中优选的是，在比形成于所述支承架的侧部的内表面的凹部更靠 上方的位置设有粘接剂涂敷的标记。由此，能够容易地进行粘接剂向支承架的侧部的内表面的涂敷。另外，通过以所述 标记为基础，例如在标记表面涂敷粘接剂，而经由粘接剂将致动器主体保持在支承架的侧 部之间时，或者在粘接剂的自重的作用下，粘接剂顺着所述侧部向下方移动的情况下，由于 在所述下方具有凹部，因此能够有效地在所述凹部内积存粘接剂，从而能够适当地抑制所 述粘接剂向外部流出的情况。发明效果在本发明中，能够借助粘接剂具有的粘接力来支承致动器主体。由此。无需进行 加压力的调整，而能够始终稳定地支承致动器主体。因此，能够防止推进力的降低。另外，通过在致动器主体与支承构件的间隙涂敷粘接剂，能够支承致动器主体，因 此，能过实现小型的振动型致动器。


图1是表示本发明的实施方式的振动型的致动器主体的立体图。图2是图1的振动型的致动器主体的分解立体图。图3是表示第一实施方式的振动型致动器(振动型的致动器主体由支承构件支承 的状态)的立体图。
图4是图3的振动型致动器的分解立体图。图5是从图3的箭头V方向观察到的振动型致动器的状态的主视图。图6是第二实施方式的振动型致动器的立体图。图7是图6所示的振动型致动器的主视图。图8是图6所示的振动型致动器的分解立体图(未图示粘接剂)。图9是图6所示的振动型致动器的分解立体图(未图示粘接剂)且示出了其制造 方法的一工序图。图10是示出了接着图9进行的振动型致动器的制造方法的一工序图(立体图)。图11 (a)是表示在致动器主体的侧部涂敷的粘接剂的优选涂敷位置的示意图，图 11(b)是表示比较例的示意图。图12是表示振动型致动器的安装结构的概略的主视图。附图标号1致动器主体2移动体4振动筒体4a贯通孔6、7、8、9 压电元件6a、7a、8a、9a压电元件的外侧电极6b、7b、8b、9b压电元件的内侧电极10支承构件11支承架(支承构件)11A 底部11B前侧部11C后侧部11D安装部11E延伸部11F卡止部11G1、11G2 第一侧部11H1、11H2 第二侧部11a 凹部lib 凸部11c卡止凸部lid安装孔lie 凹部12罩体(支承构件)12A 上部12B 侧部12D引导部12a避让部
12b避让凹部12c卡止孔12d避让孔12f台阶部21、22、40、61 68、70、71 粘接剂30 筐体31卡止部32 凹部33螺纹孔50挠性电缆50A配线部51、52、53、54 连接部56 焊料69 标记
具体实施例方式图1是表示本发明的实施方式的振动型的致动器主体的立体图。图2是图1的振 动型的致动器主体的分解立体图。首先，参考图1及图2对振动型的致动器主体的基本结构进行说明。如图1及图2所示，振动型的致动器主体1具有振动筒体(驱动器)4 ；插入在该 振动筒体4的内部的移动体2。振动筒体4具有四个侧面，从XI方向或X2方向(前后方向)观察的端面的形状 呈大致正方形形状。在振动筒体4的中心形成有沿轴向贯通的贯通孔4a，在该贯通孔4a的 内周面形成有内螺纹部4al。并且，振动筒体4分别具有一对关节(振动节)。一关节设于 长条状的振动筒体4的一端侧(XI)，另一关节设于长条状的振动筒体4的另一端侧(X2)。另外，在振动筒体4的四个侧面分别安装有作为驱动元件发挥功能的四个压电元 件6、7、8、9。压电元件6、7、8、9由发挥电致伸缩效应的压电陶瓷形成，且压电元件6、7、8、9 各自的电介质极化的朝向为厚度方向。压电元件6与压电元件8分别设于振动筒体4的对置的侧面4A、4C，压电元件7与 压电元件9分别设于与上述侧面正交的另一侧面4B、4D。在压电元件6、7、8、9中，在外侧的 表面设有外侧电极6a、7a、8a、9a，在与侧面4A、4C、4B、4D对置的内侧的表面设有内侧电极 6b、7b、8b、9b。在四个压电元件6、7、8、9的周围卷绕有挠性电缆50。挠性电缆50由具有绝缘性 及可挠性的聚酰亚胺等薄膜形成，在薄膜的内部配线有多个导电图案。在挠性电缆50中，具有沿XI方向延伸的部分的多个连接部51、52、53、54在Y1-Y2 方向上连续设置，且从连接部51的一端部向外部延伸形成有配线部50A。连接部51、52、53、 54分别具有规定宽度形成。在连接部51、52、53、54分别形成有贯通孔55，在贯通孔55的 内表面侧的周围形成有与内部中的任一配线图案连接的连接电极(未图示)。并且，当隔着压电元件6、7、8、9将挠性电缆50卷绕于振动筒体4的周围时，四个
10各连接部51、52、53、54与四个各压电元件6、7、8、9对置。此时，形成于连接部51、52、53、 54的连接电极与压电元件6、7、8、9的外表面侧的外侧电极6a、7a、8a、9a对置。由此，在各 贯通孔55中流入焊料56 (例如参考图4)，从而能够分别软钎焊压电元件6、7、8、9的外表面 侧的外侧电极6a、7a、8a、9a与连接部51、52、53、54的各连接电极。并且，压电元件6、7、8、9 的内表面侧的内侧电极6b、7b、8b、9b接地用，例如经由线束(未图示)与设于挠性电缆50 上的接地电极(未图示)连接。移动体2为轴体，其轴中心呈直线状。并且，在移动体2的外周面形成有朝向轴向 (X1-X2方向)连续的外螺纹部2a。外螺纹部2a具有与形成于振动筒体4的内周面的内螺纹部4al相同的螺距，但外 螺纹部2a的中径比内螺纹部4al的中径稍小。由此，在移动体2的外螺纹部2a嵌合于振 动筒体4的内螺纹部4al时，移动体2具有向与轴中心01正交的方向稍许的晃动(间隙)， 但即使要将移动体2向沿着轴中心0 1的方向移动，外螺纹部2a的螺纹牙也不会超过内螺 纹部4al的螺纹牙。即，移动体2以相对于振动筒体4以在轴向产生晃动的方式嵌合，但移 动体2不会相对于振动筒体4向轴向脱出。而且，如上所述，内螺纹部4al可以形成在振动筒体4侧的贯通孔4a内的整个长 度上，但也可以仅仅分别形成在贯通孔4a内的两端的关节附近。这样，能够减少内螺纹部 4al与外螺纹部2a之间的摩擦阻力，因此，能够效率良好且顺畅地进行螺纹输送。或者是，也可以构成仅仅在贯通孔4a的中心部形成内螺纹部4al的结构。从未图示的驱动电路经由挠性电缆50对压电元件6、7、8、9赋予规定的驱动信号。 即，在对压电元件6赋予使其产生伸展力的驱动振动时，对设于与该压电元件6对置的位置 的压电元件8赋予使其产生收缩力的驱动信号。接着，在对与压电元件6邻接的压电元件7 赋予使其产生伸展力的驱动信号时，对设于与该压电元件7对置的位置的压电元件9赋予 使其产生收缩力的驱动信号。以下相同，若对互相对置的一压电元件赋予伸展力则同时对另一压电元件赋予收 缩力，并使这样的方式在规定的周期内按顺时针方向或逆时针方向进行切换时，即对各压 电元件6、7、8、9赋予相位相差90°的驱动信号时，能够在振动筒体4上反复产生弯曲运动。 由此，通过预先将振动筒体4支承为能够进行弯曲运动的状态，从而能够在轴向上螺纹输 送设于贯通孔4a内的移动体2。即，移动体2在振动筒体4的内部被设置成沿着移动方向 进退自如。在这样的致动器主体1中，通过沿轴向螺纹输送移动体2，而能够产生大驱动力。 由此，在例如拍摄装置中，可预料到应用在使透镜移动的对焦机构等中。接着，对上述振动型致动器的支承构件进行说明。图3是表示第一实施方式的振动型致动器(振动型的致动器主体由支承构件支承 的状态)的立体图，图4是图3的振动型致动器的分解立体图，图5是从图3的箭头V方向 观察到的振动型致动器的状态的主视图。如图3 图5所示，本发明的致动器主体1具有由一组支承架11与罩体12构成 的框状的支承构件10，且被支承在由这些支承构件10构成的框体的内部。支承架11及罩体12通过对金属板进行板金加工而形成。支承架11具有板状的底部(第一平面部)11A ；在前方(XI侧)的位置从底部11A的两侧分别垂直竖立设置的一对板状的前侧部11B、11B ；在后方(X2侧)的位置从底部11A 的两侧分别垂直竖立设置的一对板状的后侧部11C、11C ；底部11A的一部分从前侧部11B、 11B与后侧部11C、11C之间向一侧的Y1方向延伸的板状的安装部11D;向另一 Y2方向延伸 的板状的延伸部11E，其中，上述这些构件均可通过对金属板进行板金加工来形成。在底部11A的内表面形成有凹部11a，在外表面形成有凸部lib。凹部11a与凸部 lib通过对底部11A进行冲压加工而形成具有表背一体的关系(参考图5)。另外，在前侧部11B、11B及后侧部11CU1C的外表面分别形成有卡止凸部11c、 llc、llc、llc。进而，在安装部11D穿孔设有安装孔lid。另外，如图5所示，安装部11D从 基端朝向前端弯曲形成，其前端位于比水平面HP更靠下方的位置。另外，在延伸部11E的 前端形成有俯视下呈大致T字形状的卡止部11F。卡止部11F的前端的宽度尺寸比挠性电 缆50的配线部50A的宽度尺寸宽。由此，即便在从上方观察时，延伸部11E被配置于延伸 部11E之上的配线部50A隐藏，也能够使卡止部11F向配线部50A的两侧(XI及X2方向) 突出，因此，能够良好地进行之后所述的安装时的操作。罩体12具有上部(第二平面部)12A ；上部12A的两侧向下方垂直折曲形成的一 对侧部12B、12B。在上部12A的长边方向的两端形成有大致呈U字形状切开的避让部12a、 12a。另外，在上部12A的内表面设有通过冲压加工时的压痕而形成的避让凹部12b、12b。 在一对侧部12B、12B的前后位置形成有卡止凹部12c、12c、12c、12c，且在其附近穿孔设有 避让孔12d、12d、12d、12d。在本实施方式中，卡止凹部12c、12c、12c、12c由贯通孔形成。另 外，在侧部12B、12B的下端分别一体形成有通过切除一部分而成的台阶部12f、12f。在支承架11的前侧部11B、11B与后侧部11C、11C的外侧安装罩体12的侧部12B、 12B，并使支承架11侧的卡止凸部11c、11c、11c、11c分别凹凸嵌合于罩体12侧的卡止凹部 12c、12c、12c、12c中，从而能够组装支承构件10。接着，对利用支承构件10对致动器主体1支承而形成的振动型致动器的制造方法 进行说明。如图4所示，利用未图示的卡具将致动器主体1保持为中空状态。接着，隔着致动 器主体1在一侧配置支承架11，在另一侧对置配置罩体12。接着，采用分配器，在例如罩体12的上部12A的内表面或挠性电缆50的连接部52 的表面中的一者上涂敷粘接剂21。同样地，在例如支承架11的底部11A的内表面或挠性电 缆50的连接部54的表面中的一者上涂敷粘接剂22。在这种状态下，使支承架11与罩体 12嵌合。然后，通过使粘接剂21、22硬化，从而能够在支承构件10 (支承架11与罩体12) 的内部以中空状态弹性支承致动器主体1。并且，可以在将从致动器主体1上卸除移动体2的状态下的、即具有压电元件6、7、 8、9及挠性电缆50的振动筒体4配置在支承架11与罩体12对置的空间内，并采用粘接剂 21,22将这些构件的间隙固定之后，即在粘接剂21、22硬化之后，将移动体2安装在振动筒 体4内。或者是，采用未图示的卡具将致动器主体1或卸除了移动体2的致动器主体1不 与支承架11及罩体12的内表面接触而以悬浮的中空状态保持在支承构件10的内部，该支 承构件10处于预先将支承架11与罩体12嵌合的状态下。然后，采用分配器，在罩体12的 上部12A的内表面与挠性电缆50的表面对置的间隙涂敷粘接剂21，同样地，在支承架11的底部11A的内表面与挠性电缆50的表面对置的间隙涂敷粘接剂22。而且，如图3所示，挠性电缆50的配线部50A经由形成于延伸部11E与台阶部12f 之间的间隙，而被向支承构件10的外部引出。此处，优选粘接剂21、22为能够在硬化后保持尽量柔软的状态而发挥弹力的材 料。作为粘接剂21、22的硬度，优选基于硬度计A的硬度为43左右。另外，在采用分配器 的情况下，优选采用以单液性且具有膏状的材料，除此之外，优选在常温下硬化且硬化时间 短的材料。作为这样的粘接剂21、22，例如硅酮橡胶等适当，但并不是局限于硅酮橡胶。如上所述，在支承架11的底部11A的内表面形成有凹部11a、11a，在罩体12的上 部12A的内表面形成有避让凹部12b、12b。由此，能够在凹部lla、lla及避让凹部12b、12b 中积存被涂敷的粘接剂21及粘接剂22，而能够防止流入多余的部分而造成的粘接剂的浪 费。即，凹部lla、lla及避让凹部12b、12b具有保持硬化前的粘接剂21、22的功能。因而， 能够防止粘接剂21、22的量增大到必要以上，从而能够以较少的量可靠地将致动器主体1 保持、固定在支承构件10内。而且，优选的是，支承架11的凹部11a、11a和罩体12的避让凹部12b、12b 二者均 形成的结构，但也可以至少形成一者。特别是，在支承架11的底部11A形成凹部lla、lla 是适当的。另外，在硬化前的粘接剂21、22的粘度高且流动性低的情况下，也可以构成不具 有凹部lla、lla及避让凹部12b、12b的结构，但具有凹部lla、lla及避让凹部12b、12b的 结构从视觉上即可限定涂敷粘接剂21、22的位置，故在这一方面是优选的。在形成于支承构件10与致动器主体1之间的间隙中，通过硬化后的粘接剂21、22 所具有的粘接力将致动器主体1弹性支承为被自上下方向柔软的粘接剂21、22所夹持的状 态。这样，在本发明中，为通过粘接剂21、22所具有的粘接力来保持致动器主体1的结 构，而不是由加压力来保持的结构，因此，能够消除如现有那样因加压力的大小而引起的问 题。也就是说，粘接剂21、22在硬化后也具有弹性，能够支承致动器主体1。由此，能够稳定 地支承振动驱动中的致动器主体1，从而能够防止推进力的降低。另外，能够通过在间隙中涂敷粘接剂来进行支承，因此，无需预先在支承构件10 中确保用于配置弹性构件的专用的空间。由此，能够小型化振动型致动器。为了获得大推进力，优选涂敷粘接剂的位置为振动筒体4的关节(振动节)的部 分，但并不局限于关节(振动节)部分。另外，如粘接剂21那样，粘接剂的形状可以是半球 状或圆锥状等形状，也可以如粘接剂22那样，为相对于致动器主体1及支承构件10在前后 方向(X1-X2)上具有比左右方向(Y1-Y2)长的粘接面积的形状。而且，在上述实施方式中，例如示出了在四个压电元件6、7、8、9的周围卷绕的挠 性电缆50的连接部52、54的表面涂敷粘接剂21、22的结构，但在由未卷绕挠性电缆50的 结构构成致动器的情况下，也可以在四个压电元件6、7、8、9中对置的任两个压电元件的外 侧电极(例如，外侧电极6a、8a)的表面涂敷粘接剂21、22的结构。或者是，也可以是将粘接剂21、22直接涂敷于振动筒体4的结构。在这种情况下， 在振动筒体4上通过在四个倒角部分(例如，邻接的侧面4A与侧面4B之间的部分)中的、 互相对置的任两个倒角部分涂敷粘接剂，也能够与上述同样地以中空状态来支承。在致动器主体1被保持在支承构件10的内部的状态下，形成于挠性电缆50的连
13接部54的表面的焊料56与支承架11的XI侧的凹部11a对置，同样地，形成于连接部52 的表面的焊料56与罩体12的XI侧的避让部12a对置。进而，形成于连接部51、53的表面 的焊料56与形成于支承架11的侧部12B、12B的避让孔(避让部)12d、12d对置。由此，即 使致动器主体1在与移动方向正交的方向上弯曲运动，各焊料56的顶部也不会与形成支承 构件10的支承架11的底部11A、前侧部11B、11B及罩体12的上部12A的各内表面抵接，因 而，能够避免振动驱动中的致动器主体1与支承构件10的干涉，而能够防止推进力的降低。在图3 图5所示的致动器主体1的支承结构中，存在这样的结构分别在致动器 主体1的下表面与支承架11的底部11A的内表面及致动器主体1的上表面与罩体12的上 部12A的内表面之间涂敷粘接剂21、22。不过，在仅在上下将致动器主体1支承于支承构件10的结构中，在例如施加来自 侧部方向的外力的情况下，不仅上下的粘接剂21、22的粘接力弱，就连将致动器主体1保持 于支承构件10的力也弱，故存在致动器主体1在支承构件10的内部发生错位等问题。对此，例如从形成于图3所示的罩体12的避让孔12d注入粘接剂，并将致动器主 体1的左右方向(Y1-Y2)的两侧也经由所述粘接剂支承在支承构件10上，通过这种结构， 能够解决上述问题。其中，在图3的结构中，所述避让孔12d形成在位于支承架11的侧部11B、11C的外 表面的罩体12的侧部12B、12B上，因此，如图11(b)的示意图所示，当从避让孔12d注入流 动性高或粘性低的硬化前的粘接剂40、40时，存在粘接剂40、40顺着支承架11的侧部11B、 11C与罩体12的侧部12B、12B之间向外部流出的可能性，或者是粘接剂40易于从所述避让 孔12d向外侧露出，导致存在外观损伤、或在振动型致动器使用时被判断为存在异物而成 为不良品处理的情况。对此，对上述的实施方式的振动型致动器的结构进行以下改良。图6是第二实施方式的振动型致动器的立体图，图7是图6所示的振动型致动器 的主视图，图8是图6所示的振动型致动器的分解立体图(未图示的粘接剂)，图9是图6 所示的振动型致动器的分解立体图(未图示粘接剂)且示出了其制造方法的一工序图，图 10是示出了接着图9进行的振动型致动器的制造方法的一工序图(立体图)。并且，在图 6至图10中，与图1至图5相同的部分标以相同的标号。在图6至图8所示的振动型致动器中具有致动器主体1、支承架11及罩体12。致 动器主体1的结构与图1、图2及图4所示的致动器主体1没有什么变化，故省略其说明。图7、图8所示的支承架11具有板状的底部(第一平面部)11A ；从底部11A的 左右方向(Y1-Y2)的两侧向上方(Z1)延伸的板状的第一侧部11G1、11G2;板状的第二侧部 11H1、11H2。如图8所示，第一侧部11G1、11G2在前后方向(X1-X2)上分离形成，在形成于前侧 的第一侧部11G1与形成于后侧的第一侧部11G2之间朝向Y1方向形成有与底部11A —体 形成的延伸部11E及卡止部11F。另外，如图8所示，在形成于前侧的第二侧部11H1与形成于后侧的第二侧部11H2 之间朝向Y2方向形成有与底部11A —体形成的安装部11D。在图8所示的底部11A上沿前后方向(X1-X2)形成有多个有底的凹部lla、lla。另外，如图8所示，在各第一侧部11G1、11G2及各第二侧部11H1、11H2的外表面形成有卡止凸部11c，在板厚方向上与卡止凸部11c对置的内表面形成有凹部lie。即，卡止 凸部11c与凹部lie处于表背一体的关系。通过冲压加工等而能够简单形成卡止凸部11c 及凹部lie。例如，使如图8所示的卡止凸部11c的位置位于比图4的卡止凸部11c的位置 更靠上方的位置。如图6至图8所示，罩体12具有板状的上部(第二平面部)12A;从上部12A的 左右方向(Y1-Y2)的两侧向下方(Z2)延伸的板状的第三侧部12B及第四侧部12B。如图6、图8所示，在第三侧部12B及第四侧部12B分别形成有卡止凹部12c。在 该实施方式中，卡止凹部12c通过贯通孔形成。卡止凹部12c形成于在组合支承架11与罩 体12时与形成于支承架11的各卡止凸部11c对置的位置。如图6、图7、图8所示，在罩体12的第三侧部12B及第四侧部12B的裙部形成有 左右方向(Y1-Y2)的间隔朝向基端(下方向)逐渐扩展的引导部12D、12D。在所述引导部12D、12D中，如图6所示，在组合支承架11与罩体12时，各引导部 21D在前后方向(X1-X2)分离形成，且在沿前后方向被分离的各引导部12D之间形成有空间 部12E，该空间部12E用于将所述挠性电缆50的配线部50A适当向外侧引出，以使引导部 12D、12D不与挠性电缆50的配线部50A及支承架11的延伸部11E、卡止部11F抵接。在本实施方式中，例如如图9所示，在支承架11上预先涂敷硬化前的粘接剂61 66。将涂敷于支承架11的底部11A的内表面的粘接剂61、62涂敷于形成在所述底部11A 的内表面的凹部lla、lla的位置。由此，即使是流动性高或粘性低的粘接剂61、62的情况 下，也能够抑制所述粘接剂61、62向底部11A表面扩展而流出外部的情况。另外，如图9所示，在各第一侧部11G1、11G2及各第二侧部11H1、11H2的内表面涂 敷各粘接剂63 66。如图8、图9所示，优选在各第一侧部11G1、11G2及各第二侧部11H1、11H2的内表 面上比凹部lie更靠上方的位置设有告知粘接剂的涂敷位置的标记69。例如，标记69为刻 的标记，但标记69的标记方式并没有特别限定。标记69提示只要在其附近涂敷粘接剂即 是优选的方式。在图9中，构成了在形成于各第一侧部11G1、11G2及各第二侧部11H1、11H2的内 表面的各凹部lie的表面涂敷了粘接剂63 66的图，不过，特别是，在为流动性高或粘性 低的粘接剂63 66的情况下，在比各凹部lie更靠上方的位置涂敷粘接剂63 66较好。 此时，也可以在各标记69的表面涂敷所述粘接剂63 66，也可以在标记69的稍靠下方位 置涂敷所述粘接剂63 66。无论哪一种情况下，涂敷于各第一侧部11G1、11G2及各第二侧 部11H1、11H2的内表面的粘接剂63 66在凹部lie的下方均无法有效利用作为树脂积存 部发挥功能的凹部lie，因此，可以将粘接剂63 66涂敷在凹部lie的表面或者是在其以 上的上方位置。如图9所示，在支承架11的六处涂敷粘接剂63 66。此时，如图9所示，以涂敷 于前侧(XI)的各粘接剂61、63、65位于与前后方向(X1-X2)正交的同一面内(由Y1-Y2方 向与Z1-Z2方向形成的平面)的方式来限制各粘接剂61、63、65的涂敷位置，另外，以涂敷 于后侧(X2)的各粘接剂62、64、66位于与前后方向(X1-X2)正交的同一面内(由Y1-Y2方 向与Z1-Z2方向形成的平面)的方式来限制各粘接剂62、64、66的涂敷位置。另外，如图9所示，在致动器主体1的上表面的两处涂敷粘接剂67、68。
在致动器主体1的上表面的前侧(XI)与后侧(X2)分别各涂敷一处粘接剂67、68， 但在将致动器主体1装入支承构件10内时，以涂敷于致动器主体1的前侧的粘接剂67与 涂敷于支承架11的前侧的各粘接剂61、63、65均位于与前后方向(X1-X2)正交的同一面内 (由Y1-Y2方向与Z1-Z2方向形成的平面)、且涂敷于致动器主体1的后侧的粘接剂68与 涂敷于支承架11的后侧的各粘接剂62、64、66均位于与前后方向(X1-X2)正交的同一面内 (由Y1-Y2方向与Z1-Z2方向形成的平面)的方式，来预先对涂敷于致动器主体1的各粘接 剂67、68的涂敷位置进行限定。接着，如图10所示，在由支承架11的底部11A、各第一侧部11G1、11G2及各第二侧 部11H1、11H2围成的空间内经由六处的粘接剂61 66，并采用规定的卡具来保持致动器主 体1。此时，在将致动器主体1移动到支承架11的规定位置时，存在预先涂敷于支承架 11的各侧部11G1、11G2、11H1、11H2的内表面的各粘接剂63 66被致动器主体1的移动拽 拉而向下方移动或因自重而向下方流动的可能性，不过，在本实施方式中，在各侧部11G1、 11G2、11H1、11H2的内表面设置凹部11 e (参考图8)，因此，所述凹部11 e作为树脂积存部发 挥功能，而能够适当地抑制各粘接剂63 66在各侧部11G1、11G2、11H1、11H2的表面上顺 着下方向而向外部流出的情况。接着，如图10所示，使罩体12向下方向移动，而装入支承架11中。此时，使罩体 12的各侧部12B沿着支承架11的第一侧部11G1、11G2、11H1、11H2的外表面滑动移动。此 时，形成于罩体12的各侧部12B的裙部的引导部12D在保持架11的第一侧部11G1、11G2及 第二侧部11H1、11H2的外表面上向下方向滑动移动，之后，当与形成于第一侧部11G1、11G2 及第二侧部11H1、11H2的外表面的卡止凸部11c抵接时，左右方向(Y1-Y2)的宽度朝向基 端(下方)逐渐扩展形成的引导部12D容易与卡止凸部11c的表面相碰，从而以使罩体12 的第三侧部12B与第四侧部12B之间的左右方向(Y1-Y2)的间隔扩展的方式发挥作用。其 结果是，能够使罩体12的各侧部12B、12B沿着支承架11的各侧部11G1、11G2、11H1、11H2 的外表面顺畅地移动。然后，当形成于保持架11的卡止凸部11c与形成于罩体12的卡止凹部12c凹凸 嵌合时，罩体12被固定于支承架11而被定位。此时，涂敷于致动器主体1的上表面的粘接剂67、68与罩体12的上部12A的内表 面抵接。之后，当以常温经过规定时间时，各粘接剂61 68硬化，而能够卸除卡具。而且， 在不损伤振动型致动器的性能的范围内，可以实施相对于粘接剂的硬化的热处理、加湿处 理、UV光照射等粘接剂的硬化促进处理。在经由图9、图10的制造工序而形成的图6、图7所示的本实施方式的振动型致动 器中，致动器主体1的上下左右在支承构件10的内部，形成经由粘接剂61 68而被支承 的状态，从而能够相对于外力稳定地支承致动器主体1。另外，在本实施方式中，在支承架11的各侧部11G1、11G2、11H1、11H2的外表面形 成有卡止凸部11c，在内表面形成有凹部lie，并且，通过冲压加工等表背一体形成所述卡 止凸部11c与凹部lie。在本实施方式中，通过所述卡止凸部11c将罩体12的各侧部12B、12B与支承架11
16的各侧部11G1、11G2、11H1、11H2凹凸嵌合，而能够将罩体12与支承架11之间定位，且使形 成于卡止凸部11c的背面的凹部lie作为对于涂敷于支承架11的各侧部11G1、11G2、11H1、 11H2的内表面的各粘接剂63 66的树脂积存部来发挥作用。由此，通过形成于侧部的表 背面的凸部与凹部，能够简单且高精度地进行罩体12相对于支承架11的定位，并且能够有 效地抑制粘接剂63 66向外部流出的情况。在图6、图7所示的本实施方式中，如图11(a)的示意图所示，对所述侧部中位于致 动器主体2侧的支承架11的侧部11G、11H的内表面赋予涂敷于致动器主体2与支承构件 10的侧部之间的粘接剂70、71，并且在本实施方式中在该侧部11G、11H设有作为树脂积存 部的凹部，因此，与图11(b)所示的支承构件的结构相比，能够有效地抑制粘接剂向外部流 出的情况。在本实施方式中，如图8所示，形成于支承架11的第一侧部11G1、11G2及第二侧 部11H1、11H2在前后方向(X1-X2)上分离形成，从而能够由各第一侧部11G1、11G2及各第 二侧部11H1、11H2之间，以与底部11A —体简单的结构来形成用于安装于电子设备等的安 装部11D及卡止部11F。并且，在图6、图7所示的振动型致动器中，构成了在支承构件10的内部在前侧的 上下左右、后侧的上下左右共计八处而经过粘接剂61 68来支承致动器主体1的结构，从 而能够更稳定地支承致动器主体1。另外，以涂敷于致动器主体1的前侧的各粘接剂61、63、65、67位于与前后方向 (X1-X2)正交的同一面内(由Y1-Y2方向与Z1-Z2方向形成的平面)的方式来限制各粘接 剂61、63、65、67的涂敷位置，且以涂敷于致动器主体1的后侧的各粘接剂62、64、66、68位 于与前后方向(X1-X2)交的同一面内(由Y1-Y2方向与Z1-Z2方向形成的平面)的方式来 限制各粘接剂62、64、66、68的涂敷位置，由此，能过使各粘接剂61 68的涂敷位置与关节 (振动节)的位置匹配，并能够使振动筒体4有效进行弯曲运动，而能够有效地增大移动体 2的进退移动力。如图8、图9所示，在保持架11的底部11A的内表面形成有保持被涂敷的粘接剂 61、62的有底的凹部lla、lla。由此，能过适当地将硬化前的粘接剂61、62积存在凹部11a、 11a中，而能够抑制向外部流出的情况。在图6、图7所示的振动型致动器中，如图9所示，涂敷于致动器主体1的前侧(XI) 的粘接剂61、63、65、67被赋予设于所述致动器主体1的挠性电缆50的各连接部51 54 的表面。此时，能够与焊料56的位置重叠来赋予粘接剂61、63、65、67。另一方面，涂敷于致 动器主体1的后侧(X2)的粘接剂62、64、66、68被赋予设于所述致动器主体1的各压电元 件6 9的各表面。其中，粘接剂相对于致动器主体1的赋予的部位没有特别地限定。另外，在上述方 式中，对焊料56的位置赋予粘接剂61、63、65、67，因此，与图3、图4的结构不同，在与焊料 56对置的支承构件10的位置没有设置避让部。接着，对振动型致动器向其他电子设备固定的固定方法进行说明。本发明的振动型致动器的保持架11被固定于例如照相机等电子设备的筐体内。如图12所示，在电子设备内的筐体30设有卡止部31、凹部32、螺纹孔33。在振动 型致动器中，将向Y1方向鼓出的卡止部11F插入而卡止于筐体30侧的卡止部31中并且将向保持架11的底部11A的外表面突出的凸部lib嵌合于筐体30侧的凹部32中。此时，如图3所示，卡止部11F的宽幅部分在挠性电缆50的配线部50A的两侧露 出，能够在观察到的同时将卡止部11F插入卡止部31中，从而能够实现良好的安装时的操作。在上述方式中，通过将保持架11侧的凸部lib嵌合于筐体30侧的凹部32中，能 够在将支承构件10定位的状态下高精度地安装筐体30。另外，保持架11侧的外表面的凸 部lib与其内表面的凹部11a处于表背一体的关系，故在外表面凸部lib限定支承构件10 相对于筐体30的安装位置，在内表面凹部11a限定作为粘接剂22的涂敷位置。即，在本发 明中，凹部11a与凸部lib作为用于将振动型致动器整体相对于筐体30精度良好地安装的 安装基准部而发挥功能。接着，将形成于安装部11D的安装孔lid与筐体30侧的螺纹孔33重合。然后，用 螺钉35螺接安装孔lid与螺纹孔33。从水平方向朝向下方向变位的状态下的安装部11D 在用螺钉35紧固时，变形为水平状态并产生加压力，因此，不必使用弹簧垫圈(止动垫圈) 或防松垫圈(波形垫圈)而将振动型致动器牢固地固定在筐体上。另外，安装部11D及延伸部11E形成为向相对于移动方向(X方向)正交的Y方向 鼓出。因此，在将振动型致动器向筐体30安装时，能够避免紧固螺钉35的改锥等工具与沿 移动方向延伸的移动体2抵接等的干涉。由此，能够顺畅且可靠地将振动型致动器安装在 筐体上。而且，也能够使振动型致动器从图3、图6所示的状态以旋转上下180度的状态或 以规定角度倾斜的状态安装在电子设备等。特别是，如图6所示，在将致动器主体1的上下 左右在其与支承构件10之间经由粘接剂而支承的结构中，能够稳定地将致动器主体1支承 为中立状态，因而，能够提高振动型致动器的安装的自由度。如上所示，在本发明中，将由一组支承架11与罩体12构成的支承构件10的内部 以中空状态保持的致动器主体1通过在保持架11的内表面与致动器主体1的间隙及罩体 12的内表面与致动器主体1的间隙涂敷的粘接剂21、22而被弹性支承。无需加压力，通过 粘接力就能够将致动器主体1弹性支承在支承构件10的内部，因此不会降低推进力而能够 稳定地支承。另外，能够仅通过在间隙涂敷粘接剂21、22来支承致动器主体1，因而能够实现小 型的振动型致动器。
权利要求
一种振动型致动器，其具有致动器主体和支承所述致动器主体的支承构件，该致动器主体具有筒体、进退自如地设置在所述筒体内部的移动体及设于所述筒体的周围对所述筒体赋予弯曲运动的压电元件，所述振动型致动器的特征在于，所述致动器主体通过具有弹性的粘接剂被支承为能够相对于所述支承构件进行所述弯曲运动的状态。
2.如权利要求1所述的振动型致动器，其中，所述支承构件由一组支承架与罩体构成，所述致动器主体被支承在由所述支承架与罩 体组合形成的框体的内侧。
3.如权利要求2所述的振动型致动器，其中，所述粘接剂涂敷于形成在所述致动器主体与所述支承架的内表面之间及所述致动器 主体与所述罩体的内表面之间的间隙中。
4.如权利要求3所述的振动型致动器，其中，挠性电缆设于所述压电元件的周围，所述粘接剂涂敷于所述挠性电缆的外表面。
5.如权利要求2所述的振动型致动器，其中，所述支承架及所述罩体均具有侧部，所述罩体的侧部位于所述支承架的侧部的外表面 并被与所述罩体的侧部组合，在所述支承架的侧部的外表面形成有在与所述罩体之间凹凸嵌合而将所述支承架与 所述罩体之间定位的凸部，在所述支承架的侧部的与所述凸部对置的内表面形成有作为所 述粘接剂的树脂积存部而发挥功能的凹部。
6.如权利要求5所述的振动型致动器，其中，所述支承架具有第一平面部；在所述第一平面部的左右方向(Y1-Y2)的两侧朝向高 度方向形成的第一侧部及第二侧部，所述罩体具有第二平面部；在所述第二平面部的左右方向(Y1-Y2)的两侧朝向与所 述第一侧部及第二侧部相反的方向形成的第三侧部及第四侧部，在由所述第一平面部、所述第一侧部、所述第二侧部及所述第二平面部围成的空间内， 所述致动器主体经由所述粘接剂而分别被支承于所述第一平面部的内表面、所述第二平面 部的内表面、所述第一侧部的内表面及所述第二侧部的内表面。
7.如权利要求6所述的振动型致动器，其特征在于，在所述第三侧部及所述第四侧部的裙部形成有所述左右方向的间隔朝向基端逐渐扩 展的引导部。
8.如权利要求6所述的振动型致动器，其中，所述第一侧部及所述第二侧部分别在相对于所述左右方向正交的前后方向(X1-X2) 上多个分离而形成，在被分离的所述第一侧部之间或所述第二侧部之间中的至少一者形成 有与所述第一平面部一体延伸的安装部，在各第一侧部与所述致动器主体之间及各第二侧部与所述致动器主体之间分别涂敷 有所述粘接剂。
9.如权利要求6所述的振动型致动器，其中，分别涂敷于所述第一侧部与所述致动器主体之间、所述第二侧部与所述致动器主体之间、所述第一平面部与所述致动器主体之间及所述第二平面部与所述致动器主体之间的所 述粘接剂位于相对于前后方向(X1-X2)正交的同一面内。
10.如权利要求6所述的振动型致动器，其中，在所述第一平面部及所述第二平面部的内表面中的至少一者形成有保持用于涂敷的 所述粘接剂的凹部。
11.如权利要求1 10中任一项所述的振动型致动器，其中，所述粘接剂为硅酮橡胶。
12.—种振动型致动器的制造方法，其特征在于，包括(a)通过组合支承架与罩体而形成由框体构成的支承构件的工序；(b)在所述支承构件的内部，不与所述支承架的内表面及所述罩体的内表面相接而分 别隔着规定的间隙保持致动器主体的工序；(c)向所述支承架的内表面与所述致动器主体的间隙及所述罩体的内部与致动器主体 的间隙涂敷粘接剂的工序。
13.—种振动型致动器的制造方法，其特征在于，包括(d)保持致动器主体的工序；(e)在所述致动器主体两侧中的一侧配置保持架，在另一侧对置配置罩体的工序；(f)向所述支承架的内表面与所述致动器主体中的一者及所述罩体的内表面与所述致 动器主体中的一者分别涂敷粘接剂的工序；(g)通过组合所述支承架与所述罩体而形成由框体构成的支承构件的工序。
14.如权利要求12所述的振动型致动器的制造方法，其中，在所述支承架形成侧部，在该侧部的外表面形成凸部，在该侧部的与所述凸部对置的 内表面形成凹部，使所述罩体的侧部位于所述支承架的侧部的外表面，此时，通过所述凸部凹凸嵌合所 述支承架的侧部与所述罩体的侧部，而将所述支承架与所述罩体之间定位，使用所述凹部作为涂敷在所述支承架的侧部的内表面的所述粘接剂的积存部。
15.如权利要求13所述的振动型致动器的制造方法，其中，在所述支承架形成侧部，在该侧部的外表面形成凸部，在该侧部的与所述凸部对置的 内表面形成凹部，使所述罩体的侧部位于所述支承架的侧部的外表面，此时，通过所述凸部凹凸嵌合所 述支承架的侧部与所述罩体的侧部，而将所述支承架与所述罩体之间定位，使用所述凹部作为涂敷在所述支承架的侧部的内表面的所述粘接剂的积存部。
16.如权利要求14所述的振动型致动器的制造方法，其中，所述支承架具有底部；在所述底部的左右方向(Y1-Y2)的两侧朝向上方(Z1)形成的 第一侧部及第二侧部；所述罩体具有上部；在所述上部的左右方向(Y1-Y2)的两侧朝向下方(Z2)形成的第 三侧部及第四侧部；所述振动型致动器的制造方法包括在所述支承架的所述底部的内表面、所述第一侧部的内表面及所述第二侧部的内表面 分别涂敷硬化前的粘接剂的工序；在由所述支承架的所述底部、所述第一侧部及所述第二侧部围成的空间内以隔着所述 粘接剂的状态保持所述致动器主体，进而在所述致动器主体的上表面涂敷硬化前的粘接剂 的工序；使所述罩体的第三侧部及第四侧部与所述支承架的第一侧部及第二侧部的外表面对 置且凹凸嵌合，从而将所述支承架与罩体之间定位的工序。
17.如权利要求14所述的振动型致动器的制造方法，其中，在比形成于所述支承架的侧部的内表面的凹部更靠上方的位置设有粘接剂涂敷的标记。
18.如权利要求12 17中任一项所述的振动型致动器的制造方法，其中， 所述粘接剂为硅酮橡胶。
全文摘要
本发明提供不会降低推进力而能够稳定地支承，且能够小型化的振动型致动器及其制造方法。在由一组支承架(11)与罩体(12)构成的支承构件(10)的内部以中空状态保持致动器主体(1)。在保持架(11)的内表面与致动器主体(1)的间隙及罩体(12)的内表面与致动器主体(1)的间隙采用分配器等而涂敷粘接剂(21、22)。该粘接剂(21、22)为硅酮橡胶等在硬化后发挥弹性。由此，无需加压力，通过粘接力就能够将致动器主体(1)弹性支承在支承构件(10)的内部，因此，不会降低推进力而能够稳定地支承。另外，由于能够仅通过在间隙涂敷粘接剂(21、22)来支承，因而能够实现小型的振动型致动器。
文档编号H02N2/00GK101873079SQ20101016570
公开日2010年10月27日 申请日期2010年4月23日 优先权日2009年4月24日
发明者加藤拓也, 木内慎, 石川润 申请人:阿尔卑斯电气株式会社