一种基于柔顺机构的尺蠖式精密直线微驱动器的制作方法

文档序号:12277526阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种基于柔顺机构的尺蠖式精密直线微驱动器,其特征在于,包括驱动机构、2个箝位机构和动子组成,所述驱动机构由4个对称布置的驱动支链和1对定子组成,驱动支链由2个杠杆结构组成,驱动支链采用柔性铰链连接于定子,相对于定子能作往复微位移运动;所述箝位机构由对称布置的3对柔性铰链、1对杆件组和1对箝位片组成,2个箝位机构通过杆件对称连接于驱动机构两端;所述动子为细长圆柱形结构,置于微驱动器对称中心,动子通过孔与箝位机构配合,通过通槽与驱动机构配合,能在孔和通槽中运动。所述微驱动器采用驱动机构通过杆件驱动箝位机构作往复直线运动,箝位机构通过箝位片钳紧动子以带动动子作直线运动的运动形式仿生尺蠖的运动规律。

2.根据权利要求1所述的微驱动器,其特征在于,驱动支链由2个杠杆结构组成。第一杠杆结构由1个直圆型柔性铰链、1个直角型柔性铰链和1个杆件组成,第二杠杆结构由2个直圆型柔性铰链、1个直角型柔性铰链、1个杆件组成,2个杠杆结构串联联接,形成二级放大。

3.根据权利要求1所述的微驱动器,其特征在于,4个驱动支链对称布置,当在驱动作用下,第一驱动支链和第四驱动支链可实现沿X负方向的运动,第二驱动支链和第三驱动支链可实现沿X正方向的运动;当释放驱动,第一驱动支链和第四驱动支链可实现沿X正方向的回复运动,第二驱动支链和第三驱动支链可实现沿X负方向的回复运动。

4.根据权利要求1所述的微驱动器,其特征在于,箝位片为圆柱形凹槽结构。

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