技术特征：
技术总结
本发明不会使Q值降低，能够实现宽带的频率响应。具备：可动侧部，其构成为通过从外部施加的机械的振动能而能够在预定的振动方向上振动，并具有沿振动方向的第一面；以及固定侧部，其构成为具有与可动侧部的第一面隔着预定的间隔而对置的第二面，并相对于振动能也固定位置。在可动侧部的第一面以及固定侧部的第二面，在振动方向以梳齿状排列地分别形成有在与振动方向正交的方向上突出的多个突部。在固定侧部的至少上述第一面和可动侧部的至少第二面中的至少一方的面形成有驻极体膜。可动侧部的弹簧常数通过作用于可动侧部与固定侧部之间的静电力而调制为振动方向的位置的函数。
技术研发人员：年吉洋;桥口原;三屋裕幸;今本浩史
受保护的技术使用者：国立大学法人东京大学;国立大学法人静冈大学;株式会社鹭宫制作所
技术研发日：2017.11.16
技术公布日：2019.07.19