高精度线性马达一次对位平台的制作方法

本发明提供一种高精度线性马达一次对位平台，尤指一种精密对位平台，具有方便组装、成本低且具高精度，完成工作物一次对位功能，可节省对位作业工时。

背景技术：

随着现今产业的导向，近年来随着工具机、各种产业机械与量测仪器的高精度化，因此，不论是在精密机械、半导体产业、微奈米科技皆朝微小化与精密化发展，再加上超精密的加工机、半导体制程装置、电子信息机器与原子力显微镜等皆需要高精密的对位技术与仪器进行辅助，使得半导体技术进入到奈米级的领域，进而成为目前的主流之一。

依上述可得知，目前，在短行程的对位平台大多以伺服马达搭配配滚珠螺杆驱动，且大多为利用刚性结构来架构平台，使其平台对位产生较小的误差，再配合回授量测结构，来进行平台对位作业，但其位移行程对位还无法达到微米(μm)等级以内，且平台x轴及y轴需多次对位，才能完成工作物精准对位，拉长了对位作业时间，即提高了生产成本，所以如何同时达到短行程作动与奈米级的精密对位，以完成工作物一次对位，节省对位作业工时，实为一大瓶颈问题，而亟待加以改进。

本发明人有鉴于此，并且依据多年从事此领域的相关经验，细心观察及研究，并配合学理运用，乃针对前述现有对位平台结构上所面临的问题深入探讨，且积极寻求解决之道，经过长期研究与开发，已成功开发出一种高精度线性马达一次对位平台，进而提出一种合理且有效的本发明，以克服现有对位平台结构的缺点并期使更为实用，以符合使用者的需求。

技术实现要素：

本发明的主要目的在于：提供一种高精度线性马达一次对位平台，借以能高精度一次完成工作物精准对位，可节省工作物对位作业工时、降低生产成本，在相同的对位要求下，本发明亦可减少能源的消耗，而具有节能减碳的功效。

又，本发明的另一目的在提供高精度线性马达一次对位平台，因其x轴及y轴的线性马达驱动组件结构相同，不仅能降低制造成本，且可快速简易装配。

为达上述目的，本发明一种高精度线性马达一次对位平台，包含：一平台，该平台上设有多个枢设孔；一平台基座，该平台基座上设有多个线性马达驱动组件、多个电磁铁及多个限位开关，各线性马达驱动组件上设有该平台，其特征在于：各线性马达驱动组件设有：一长滑轨、二长滑轨滑块、一主动承座、一线性马达动子、一线性马达定子、一短滑轨、一短滑轨滑块、一荷重盘基座及一荷重盘；其中该长滑轨、各长滑轨滑块、该短滑轨及该短滑轨滑块利用该主动承座，呈垂直角度相叠设置，各限位开关各设于各主动承座外侧，并于该平台基座上设有多个回授量测系统，各回授量测系统各设有一光学读头及一光学尺，各线性马达动子一侧处各设有该光学读头，该平台基座上设有各光学尺以对应各光学读头，令该平台以各线性马达驱动组件驱动，使该平台呈沿x轴方向及y轴方向移动状态，并以各光学读头及各光学尺感测移动距离，提升该平台移动对位的精确度。

本发明的主要目的功效在于：提供一种高精度线性马达一次对位平台，指一种应用于各种液晶面板制造、半导体制造、检查设备、网印设备或印刷电路板制造设备中，对位平台进行对位移动的作业；本发明利用各线性马达驱动组件驱动，配合各回授量测系统及各长滑轨及各短滑轨的设置，可减低该平台移动摩擦阻力、提升对位精度、承载重负荷，并借由线性马达驱动特性来消除x轴方向、y轴方向的移动间隙产生现象，借此，各线性马达驱动组件，受线性马达动子驱动可带动各主动承座在长滑轨上滑移，并让各主动承座上的各光学读头移动，再经由各光学尺测量移动行程，使各主动承座成为可移动的支点，并由各限位开关来限定其左右移动最大行程，各线性马达驱动组件上的各主动承座一起进行对位作业时，x轴方向的各主动承座可带动y轴方向的各荷重盘在各短滑轨上滑移，y轴方向的各主动承座可带动x轴方向的各荷重盘在各短滑轨上滑移，各荷重盘平均分布锁设于该平台下方形成支撑点，使该平台的各个支撑点负载力平均，并于对位完成后由该平台基座上各电磁铁吸附该平台，避免该平台停止动作时产生抖动情形，令该平台对位工作物进行检测；借此，提供一种高精度线性马达一次对位平台，尤指一种精密对位平台，具有方便组装、成本低且具高精度，完成工作物一次对位功能，可节省对位作业工时。

附图说明

图1是本发明较佳实施例的组合立体示意图。

图2是本发明较佳实施例的平台立体分解示意图。

图3是本发明较佳实施例的立体分解示意图。

图4是本发明较佳实施例的俯视平台一次对位示意图。

图5是本发明另一较佳实施例的立体分解示意图。

图6是本发明又一较佳实施例的立体分解示意图。

具体实施方式

本发明是一种高精度线性马达一次对位平台，随附图例示的本发明的具体实施例及其构件中，所有关于前与后、左与右、顶部与底部、上部与下部、以及水平与垂直的参考，仅用于方便进行描述，并非限制本发明，亦非将其构件限制于任何位置或空间方向。图式与说明书中所指定的尺寸，当可在不离开本发明的申请专利范园内，根据本发明的具体实施例的设计与需求而进行变化；

请参阅图l至图3所示，一种高精度线性马达一次对位平台，其结构包含有：一平台1、一平台基座2、多个线性马达驱动组件3、多个电磁铁4、多个限位开关5及多个回授量测系统6；该平台基座2上设有各线性马达驱动组件3、多个电磁铁4、多个限位开关5及多个回授量测系统6，各线性马达驱动组件3上设有该平台1；

该平台1上设有多个枢设孔11；

各线性马达驱动组件3包含有：一长滑轨31、二长滑轨滑块32、一主动承座33、一线性马达动子34、一线性马达定子35、一短滑轨36、一短滑轨滑块37、一荷重盘基座38及一荷重盘39；各长滑轨31上设有各长滑轨滑块32，各长滑轨31侧边平行设置有该线性马达定子35，各长滑轨滑块32上各锁设各主动承座33；各主动承座33底侧锁设有各线性马达动子34，各主动承座33顶侧设有该短滑轨36及该短滑轨滑块37，该短滑轨滑块37上锁设该荷重盘39及该荷重盘基座38，该荷重盘39其上端处设有一转盘391，该平台1上的各枢设孔11穿设各枢设件7锁设于各荷重盘39的转盘391上，令各荷重盘39的转盘391与该平台1锁固，该荷重盘39锁设固定于该荷重盘基座38上端处；而该荷重盘基座38是以多个枢设件7与该短滑轨滑块37锁固；其中该长滑轨31、该长滑轨滑块32及该短滑轨36、该短滑轨滑块37利用该主动承座33，呈垂直角度相叠设置；各长滑轨31上各设有多个枢设孔锁设于该平台基座2的四个周边，各长滑轨滑块32顶侧各设有多个枢设孔321，并于各长滑轨滑块32底侧各设有一长滑槽322，各长滑槽322与各长滑轨31卡设结合；该主动承座33上设有多个枢设孔331锁设于各长滑轨滑块32，该主动承座33其中段处设有一凹槽332，该凹槽332顶侧处设有至少一枢设孔3321锁设该短滑轨36，该主动承座33其一侧处设有一片体333，该片体333与该光学读头61枢设固定；各短滑轨滑块37其顶侧设有多个枢设孔371，各短滑轨滑块37其底侧各设有一短滑槽372，该短滑槽372与该短滑轨36卡设结合；该荷重盘基座38其顶侧设有多个枢设孔381及多个枢设孔383，该荷重盘基座38其底侧设有一容置槽382，该容置槽382内供容置该短滑轨滑块37，该荷重盘39上设有一转盘391，该转盘391上设有多个枢设孔392，令该平台1与转盘391锁固；该荷重盘39顶侧周边设有多个枢设孔393及多个枢设孔394，该荷重盘39的各枢设孔393利用各枢设件7穿设于该荷重盘基座38的各枢设孔381，令各荷重盘39与各荷重盘基座38锁固；该荷重盘39的各枢设孔394利用各枢设件7穿设于该荷重盘基座38的各枢设孔383，并锁设于各枢设孔371；令各荷重盘基座38锁设固定于各短滑轨滑块37上；其中各枢设件7为相同型态及尺寸的螺丝；其中各枢设孔11，321，331，3321，371，381，383，392，393，394为相同孔径，并于各枢设孔321，3321，371，381，392内缘设有内螺纹；

该多个回授量测系统6包含有：一光学读头61及一光学尺62，各线性马达动子34其一侧处各设有该光学读头61，该平台基座2上设有各光学尺62于对应各光学读头61的位置处；

该多个电磁铁4包含有：基底座41及磁铁42；

该多个限位开关5设于各主动承座33外侧；

借此，请参阅图4，并辅以图3所示，该两个x轴方向、两个y轴方向的各线性马达驱动组件3，受各线性马达动子34驱动可带动各主动承座33在各长滑轨31上滑移，并让各主动承座33上的各光学读头61移动，再经由各光学尺62测量移动行程，使各主动承座33成为可移动的支点，并由各限位开关5来限定其左右移动最大行程，各线性马达驱动组件3上的各主动承座33一起进行对位作业时，x轴方向的各主动承座33可带动y轴方向的各荷重盘39在各短滑轨36上滑移，y轴方向的各主动承座33可带动x轴方向的各荷重盘39在各短滑轨36上滑移，各荷重盘39平均分布锁设于该平台1下方形成支撑点，使该平台1的各个支撑点负载力平均，并于对位完成后由该平台基座2上的各电磁铁4吸附该平台1，避免该平台1停止动作时产生抖动情形，让该平台1定位工作物进行检测；

本发明该平台1利用两个x轴方向、两个y轴方向的线性马达驱动组件3驱动，配合各回授量测系统6及各长滑轨31、各短滑轨36的设置，可减低该平台1移动摩擦阻力、提升对位精度、承载重负荷，并借由各线性马达驱动特性来消除x轴方向、y轴方向的移动间隙产生现象，因此，具有较高对位精度和百奈米等级的一次对位效果，适用于各种液晶面板制造、半导体制造、检查设备、网印设备或印刷电路板制造设备中，对位平台进行对位移动的作业。

请参阅图5，并辅以图3所示，本发明可利用一平台1、一平台基座2、多个线性马达驱动组件3、多个电磁铁4、多个限位开关5及多个回授量测系统6组成；该平台基座2上设有两个x轴方向、一个y轴方向的各线性马达驱动组件3、各电磁铁4、各限位开关5及各回授量测系统6，两个x轴方向、一个y轴方向的各线性马达驱动组件3上设有该平台1。

请参阅图6，并辅以图3所示，本发明可利用一平台1、一平台基座2、多个线性马达驱动组件3、多个电磁铁4、多个限位开关5及多个回授量测系统6组成；该平台基座2上设有一个x轴方向、两个y轴方向的各线性马达驱动组件3、各电磁铁4、各限位开关5及各回授量测系统6，一个x轴方向、两个y轴方向的各线性马达驱动组件3上设有该平台1。

综上所述，当知本发明确实可为相关产业广为利用，极具有进步性与新颖性，且发明于申请前未见公开，已符合专利法之规定，依法提出发明专利申请，惟以上所述，仅为本发明的其中较佳实施例而已，当不能以之限定本发明实施的范围；即大凡依本发明申请专利范围所作的均等变化与修饰，皆应仍属本发明专利涵盖的范围内。