1.一种高精度线性马达一次对位平台,包含:一平台,该平台上设有多个枢设孔;一平台基座,该平台基座上设有多个线性马达驱动组件、多个电磁铁及多个限位开关,各线性马达驱动组件上设有该平台,其特征在于:各线性马达驱动组件设有:一长滑轨、二长滑轨滑块、一主动承座、一线性马达动子、一线性马达定子、一短滑轨、一短滑轨滑块、一荷重盘基座及一荷重盘;其中该长滑轨、各长滑轨滑块、该短滑轨及该短滑轨滑块利用该主动承座,呈垂直角度相叠设置,各限位开关各设于各主动承座外侧,并于该平台基座上设有多个回授量测系统,各回授量测系统各设有一光学读头及一光学尺,各线性马达动子一侧处各设有该光学读头,该平台基座上设有各光学尺以对应各光学读头,令该平台以各线性马达驱动组件驱动,使该平台呈沿x轴方向及y轴方向移动状态,并以各光学读头及各光学尺感测移动距离,提升该平台移动对位的精确度。
2.如权利要求1所述的高精度线性马达一次对位平台,其特征在于:其中各长滑轨上设有各长滑轨滑块,各长滑轨一侧处平行设置该线性马达定子,并于各长滑轨滑块上各锁设有各主动承座。
3.如权利要求1所述的高精度线性马达一次对位平台,其特征在于:其中各主动承座底侧锁设有各线性马达动子,各主动承座顶侧设有该短滑轨及该短滑轨滑块,该短滑轨滑块上锁设有该荷重盘及该荷重盘基座。
4.如权利要求1所述的高精度线性马达一次对位平台,其特征在于:其中该平台上设有各枢设孔,利用多个枢设件通过各枢设孔锁设各荷重盘与该平台。
5.如权利要求1所述的高精度线性马达一次对位平台,其特征在于:其中该荷重盘基座其顶侧设有多个枢设孔,该荷重盘基座其底侧设有一容置槽,该容置槽内供容置该短滑轨滑块;该荷重盘上设有一转盘,该转盘上设有多个枢设孔;利用多个枢设件将各荷重盘基座及各荷重盘锁设于各短滑轨滑块上。
6.如权利要求1所述的高精度线性马达一次对位平台,其特征在于:其中各长滑轨上各设有多个枢设孔锁设于该平台基座外缘四边,各长滑轨滑块其顶侧各设有多个枢设孔,并于各长滑轨滑块其底侧各设有一长滑槽,各长滑槽与各长滑轨卡设结合。
7.如权利要求1所述的高精度线性马达一次对位平台,其特征在于:其中该主动承座上设有多个枢设孔锁设于各长滑轨滑块,该主动承座其中段处设有一凹槽锁设该短滑轨,该主动承座其一侧边设有一片体,该片体与该光学读头枢设固定。
8.如权利要求1所述的高精度线性马达一次对位平台,其特征在于:其中该短滑轨滑块其顶侧设有多个枢设孔,该短滑轨滑块其底侧设有一短滑槽,该短滑槽与该短滑轨卡设结合。
9.如权利要求4或5所述的高精度线性马达一次对位平台,其特征在于:其中各枢设件为相同型态及尺寸的螺丝。
10.如权利要求1所述的高精度线性马达一次对位平台,其特征在于:其中各枢设孔为相同孔径,并于各枢设孔内缘设有内螺纹。