超声波马达的制作方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及应用于光学装置等的马达。更特别地，本发明涉及应用于光学装置等的超声波马达。
【背景技术】
[0002]在此之前，在此类超声波马达中，通过施加高频电压周期性振动的振子在压力下与滑动构件接触以驱动该滑动构件。
[0003]然而，在日本特开2001-292584号公报描述的现有技术中，所设置的一个弹簧构件17和多个橡胶片15、16和18具有支撑振动体14 (对应于本发明的振子)的振动节点(node)部的功能和对振动体加压以在振动体和轨道Ila(对应于本发明的滑动构件)之间产生摩擦力的功能，并且，为了该目的，弹簧构件17通过各个橡胶片介于固定板19和振动体14之间。因此，例如，当由于振动、掉落等被施加冲击力时，固定板和振动板的相对位置会不良地偏离，这引起不能正确控制轨道Ila的位置的问题。
[0004]为了解决该问题，本发明的目的是在移动方向上不引起任何颤振(rattle)的情况下保持振子，由此改善振子支撑构件的进给精度。
【发明内容】
[0005]为了实现上述目的，根据本发明，提供了一种马达，其具有振子，所述振子通过施加于该振子的高频驱动电压振动；滑动构件，所述滑动构件与所述振子摩擦接触；加压部，所述加压部用于将所述振子压至所述滑动构件；基体，所述振子固定至所述基体；振子支撑构件，所述振子支撑构件保持所述基体；以及连接部，所述连接部用于将所述振子与所述振子支撑构件连接，所述振子和所述滑动构件通过振动相对移动，其中，所述连接部包括滚动构件和施力构件，所述滚动构件在所述加压部的加压方向上使所述基体自由地向所述振子支撑构件移动，所述施力构件在与所述加压部的加压方向垂直的方向上对所述滚动构件施力。
[0006]根据本发明，振子所固定到的基体和振子支撑构件在加压方向上具有柔韧性(flexibility)而在移动方向上没有任何颤振的情况下被相对保持，以在移动方向上不引起任何颤振的情况下保持振子，从而振子支撑构件的进给精度能够得到提高。
[0007]从以下参照附图对示例性实施方式的说明，本发明的其他特征将变得明显。
【附图说明】
[0008]图1是根据本发明的实施方式的超声波马达的主要部分的截面图。
[0009]图2是根据本发明的实施方式的超声波马达的主要部分的在移动方向上的截面图。
[0010]图3是示出了根据本发明的实施方式的超声波马达被组合(incorporate)在光学装置的镜筒部中的状态的主要部分的截面图。
【具体实施方式】
[0011]现在将参照附图详细说明本发明的优选实施方式。在图中，相同的部分以相同的附图标记表示。
[0012]图1是示出了本发明的实施方式的超声波马达的主要部分的截面图(示出了驱动方向上的垂直截面)，图2是示出了本发明的实施方式的超声波马达的主要部分的在移动方向上的截面图。此外，将基于作为示例的直接作用类型(线性类型)超声波马达描述本实施方式，但是本实施方式还可应用于诸如转动类型等的其他类型。
[0013]超声波马达200包括振动板101。振动板101包括待接合部分101a。该待接合部分1la通过粘合等固定于基体102的接合突出部102a(参见图2)。基体102由方形框体构成且由树脂或金属制成，厚度比振动板101的厚度大。
[0014]此外，压电元件103通过粘结剂等固接于振动板101。振动板101被设定为当高频电压被施加于压电元件103时振动板101在长边方向以及短边方向上均引起共振。应当注意，振动板101和压电元件103构成了振子100。振子100被构成为当高频驱动电压被施加于振子100时引起超声波振动。
[0015]结果，在图2中，形成于振动板101的压力接触部1lb的顶端引起如图2所示的这种椭圆运动。当待施加于压电元件103的高频电压的频率或相位变化时，转动方向或者椭圆比率能够适当改变从而产生期望的运动。结果，振动板与配对物、即作为滑动构件的滑动件104摩擦接触，由此产生驱动力以使该滑动件相对移动，从而振子100自身能够沿着作为移动方向的光轴(图1中的垂直纸面方向，即图2中的左右方向)被驱动。通过紧固件(螺钉)将滑动件104固定于后述的单元支撑构件116。
[0016]在图1和图2中，振子支撑构件105与基体102连接，振子100通过如下连接部件固定于基体102。在图2中，作为滚动构件的两个辊106经由振动板101的压力接触部1lb布置于两侧。即，作为滚动构件的圆柱辊106被布置于振子100的在移动方向上的前部和后部这两个部位。
[0017]如图2所示，振子支撑构件105具有形成为向下延伸的两个延伸部105a，辊106和板簧107被组合在由延伸部105a和基体102的连接部102b形成的空间中。作为具有预定弹性的施力构件的板簧107抵接基体102的连接部102b，辊106被夹在板簧107和延伸部105a之间且可在加压方向上移动。
[0018]板簧107与图2的右方空间中的一个辊106组合在一起。通过组合状态下的板簧107的施加力，振子支撑构件105经由一个(在图2中的右侧的)辊106受到在图2中的左向上的施力，基体102受到在图2中的右向上的施力。
[0019]此时，沿与如后所述的振子的加压方向A垂直的方向B(见图2)施加力。结果，以与上述相同的方式，位于图2中的左侧且组合在另一个组合空间中的另一个辊106也被夹在作为振子支撑构件105的连接突起的另一个延伸部105a和基体102的另一个连接部102b之间。
[0020]根据上述构造，能够实现如下连接部件:其中，通过辊的操作在移动方向(图2中的左右方向)上不引起任何颤振并且几乎不在后述的加压方向A(图2中的上下方向)上产生滑动阻力。
[0021]此时，板簧107的施加力被设定为大于在振子支撑构件105和后述的待驱动部(参见图3中的305和306)的操作开始和停止时产生的加速和减速所导致的惯性力。通过该设定，基体102、振子100和振子支撑构件105可在移动方向上不产生由于驱动期间惯性力所导致的相对位移的情况下稳定地实现驱动控制。
[0022]如后述的那样，加压板108将弹性构件109夹在加压板和压电元件103之间，且被构造成利用柔韧性对该压电元件103进行加压和保持。
[0023]加压弹簧110介于弹簧保持构件111和弹簧底板112之间，且被构成为加压弹簧单元。此时，布置在弹簧保持构件111的顶端的大径部Illa松配合于弹簧底板112的嵌合部112a，因此单元状态可被保持为在组装之后抵抗加压弹簧110的弹簧力。
[0024]在