一种六自由度线缆拖动装置的制造方法
【技术领域】
[0001] 本发明涉及光刻设备领域，尤其涉及一种六自由度线缆拖动装置。
【背景技术】
[0002] 在光刻装置中，利用磁浮平面电机作为运动台的结构，目前主要分为两种类型；动 磁铁式和动线圈式。不论对于哪种形式的磁浮平面电机，都有连接动子结构的线缆，具体 地，所述磁浮平面电机包括磁浮平面电机动子、磁浮平面电机定子W及线缆，所述线缆的一 端通过连接件与所述磁浮平面电机动子固接，当磁浮平面电机运动时，送些线缆会给磁浮 平面电机动子的控制带来一定的推力干扰，为了减小送一部分干扰，需要配合磁浮平面电 机，加入一个线缆拖动装置，使线缆与磁浮平面电机动子做同步跟随运动。
【发明内容】
[0003] 本发明提供一种六自由度线缆拖动装置，W实现线缆与磁浮或者气浮平面电机动 子做同步跟随运动。
[0004] 为解决上述技术问题，本发明提供一种六自由度线缆拖动装置，与磁浮或者气浮 平面电机同步运动，包括X向电机、Y向电机W及用于连接所述X向电机和所述Y向电机的 连接机构，
[0005] 所述连接机构的一端延伸至磁浮或者气浮平面电机定子的底部，另一端延伸至所 述磁浮或者气浮平面电机定子的上方。
[0006] 较佳地，所述X向电机包括X向电机定子线圈、X向电机动子磁铁W及X向电机动 子导轨，所述X向电机定子线圈与所述X向电机动子导轨均沿X方向固定于所述连接机构 上，所述X向电机动子磁铁限位于所述X向电机动子导轨内，并与所述线缆一头和磁浮或者 气浮平面电机动子的连接端固接。
[0007] 较佳地，所述Y向电机包括Y向电机动子线圈和Y向电机定子磁钢，所述Y向电机 定子磁钢固定于所述磁浮或者气浮平面电机定子的底部，所述Y向电机动子线圈与所述连 接机构固接，并能够在所述Y向电机定子磁钢上沿Y方向运动，所述线缆另一头与所述Y向 电机动子线圈连接端固接。
[0008] 较佳地，所述X向电机动子磁铁包括第一连接件、两组第一磁钢阵列W及两组第 一背铁，所述两组第一磁钢阵列分设于所述X向电机定子线圈的两侧，每个第一磁钢阵列 远离X向电机定子线圈的一侧固定有一个第一背铁，所述第一连接件将所述的两组第一磁 钢阵列W及两组第一背铁固定形成一个U型块，所述U型块的开口处固定连接有向外翻折 的导轨滑块，所述导轨滑块限位于所述X向电机动子导轨相对应的凹槽内。
[0009] 较佳地，所述X向电机定子线圈和Y向电机动子线圈均采用PCB板式线圈。
[0010] 较佳地，所述PCB板式线圈包括外部线圈板，所述外部线圈板内设有依次排列的 方形线圈。
[0011] 较佳地，所述外部线圈板上设有若干层间连接孔，每个层间连接孔对应所述方形 线圈的一层导线；所述外部线圈板上还设有若干H相线圈引接线孔，引入H相电流。
[0012] 较佳地，所述X向电机动子磁铁的阵列排列方式为主磁极磁铁N、主磁极磁铁Hl、 主磁极磁铁S、主磁极磁铁肥，依次循环。
[0013] 较佳地，所述X向电机动子磁铁组成的阵列的总宽度Ws> 3XWi，所述Wi为相邻的 两个方形线圈中必线的间距。
[0014] 较佳地，所述Y向电机定子磁钢包括第二背铁、设于所述第二背铁上的X向磁钢阵 列和两组YZ向磁钢阵列，所述两组YZ向磁钢阵列分设于所述X向磁钢阵列的两侧。
[0015] 较佳地，所述YZ向磁钢阵列的排列方式为磁铁N、磁铁H1、磁铁S、磁铁肥，依次循 环；所述X向磁钢阵列的排列方式为磁铁N、磁铁H、磁铁S。
[0016] 较佳地，所述Y向电机动子线圈包括四个YZ向发力体和一个X向发力体，两个所 述YZ向发力体与一个所述YZ向磁钢阵列的位置相对应，另外两个所述YZ向发力体与另一 个所述YZ向磁钢阵列的位置相对应，所述X向发力体与所述X向磁钢阵列的位置相对应。
[0017] 较佳地，每个所述YZ向发力体包括H个方形线圈，每个所述方形线圈有两个出线 端，所述出线端一端通过所述层间连接孔与另外两个所述方形线圈短接，所述出线端另一 端接至H相线圈引接线孔，接H相电流中的一相。
[001引较佳地，所述四个YZ向发力体满足如下关系式；Wi=St/3,Wz= (n+1/2)T，其 中，Wi为每个YZ向发力体中相邻两个方形线圈中必线的间距；Wz为处于同一YZ向磁钢阵 列上的两个YZ向发力体中必线之间的间距；T为YZ向磁钢阵列中磁铁N和磁铁S之间的 间距，n为大于等于5的正整数。（实施例一）
[0019] 较佳地，所述X向发力体接直流电，四个所述YZ向发力体均接U、V、WH相交流电， 且U、WH相交流电正接，V相交流电反接。
[0020]较佳地，所述四个YZ向发力体满足如下关系式；Wi= 4t/3,Wz= (n+1/2)T，其 中，Wi为每个YZ向发力体中相邻两个方形线圈中必线的间距；Wz为处于同一YZ向磁钢阵 列上的两个YZ向发力体中必线之间的间距；T为YZ向磁钢阵列中磁铁N和磁铁S之间的 间距，n为大于等于4的正整数。（实施例二）
[0021] 较佳地，所述X向发力体接直流电，四个所述YZ向发力体均接U、V、WH相交流电， 且H相交流电均正接。
[0022] 与现有技术相比，本发明提供的六自由度线缆拖动装置，与磁浮或者气浮平面电 机同步运动，包括X向电机、Y向电机W及用于连接X向电机和Y向电机的连接机构，其中， 所述连接机构的一端延伸至磁浮或者气浮平面电机定子的底部，另一端延伸至所述磁浮或 者气浮平面电机定子的上方；所述X向电机包括X向电机定子线圈、X向电机动子磁铁W及 X向电机动子导轨，所述X向电机定子线圈与X向电机动子导轨均沿X方向固定于所述连接 机构上，所述X向电机动子磁铁限位于所述X向电机动子导轨内，并与线缆和磁浮或者气浮 平面电机动子的连接端固接；所述Y向电机包括Y向电机动子线圈和Y向电机定子磁钢，所 述Y向电机定子磁钢固定于所述磁浮或者气浮平面电机定子的底部，所述Y向电机动子线 圈与所述连接机构固接，并能够在所述Y向电机定子磁钢上沿Y方向运动，所述线缆与所述 Y向电机动子线圈连接端固接。本发明利用X向电机拖动线缆沿X向同步跟随；Y向电机通 过连接机构拖动线缆沿Y向同步跟随，从而实现线缆与磁浮或者气浮平面电机动子的同步 运动。
【附图说明】
[0023] 图1为本发明一【具体实施方式】的六自由度线缆拖动装置与磁浮或者气浮平面电 机安装后的H维结构图（由上向下看）；
[0024] 图2为本发明一【具体实施方式】的六自由度线缆拖动装置与磁浮或者气浮平面电 机安装后的H维结构图（由下向上看）；
[0025] 图3为本发明一【具体实施方式】的六自由度线缆拖动装置的H维结构图；
[0026] 图4为本发明一【具体实施方式】的六自由度线缆拖动装置中X向电机的H维结构 图；
[0027] 图5为本发明一【具体实施方式】的六自由度线缆拖动装置中X向电机的局部外观 图；
[0028] 图6为本发明一【具体实施方式】的六自由度线缆拖动装置中X向电机的电磁结构 图；
[0029] 图7为本发明一【具体实施方式】的六自由度线缆拖动装置中X向电机的动子磁铁阵 列充磁方向示意图；
[0030] 图8为本发明一【具体实施方式】的六自由度线缆拖动装置中X向电机的控制方式说 明示意图；
[0031] 图9为本发明一【具体实施方式】的六自由度线缆拖动装置中Y向电机的整体外观 图；