专利名称：弹性表面波谐振器及使用了该谐振器的弹性表面波滤波器的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种特别是用于手机等的弹性表面波谐振器(surface acoustic waveresonator)及使用了该谐振器的弹性表面波滤波器(surface acoustic wave filter)。
背景技术：
传统的弹性表面波滤波器的结构如图13所示。
图13所示的弹性表面波滤波器，通过在压电基板上1上形成作为弹性表面波谐振器的串联谐振器2和并联谐振器3，并通过将它们进行连接而获得滤波特性。此外，这些谐振器使用了多对的叉指式换能器(interdigital transducer)或在叉指式换能器的两侧设置了反射电极的部件。
另外，作为与该申请的发明有关联的现有技术文献信息，有例如专利文献1(日本专利公开公报特开2001-119260号)为公众所知。
然而，采用上述结构，在频率较高时不能充分确保谐振器的Q值，即使构成滤波器，在插入损失、陡峭度的改善方面也会受到限制。
发明内容
本发明的目的是为了解决上述以往的课题，提供一种可以改善弹性表面波谐振器的Q值、具有插入损失低且陡峭度高的弹性表面波谐振器和弹性表面波滤波器。
为达到上述目的的本发明，是将叉指式换能器(以下称为“IDT”)和在叉指式换能器两侧设置反射电极的弹性表面波谐振元件多个互相并联连接，并使并联连接的弹性表面波谐振元件的谐振频率与其它并联连接的弹性表面波谐振元件的谐振频率彼此全部相同。
本发明，即能改善弹性表面波谐振器的Q值，又能降低弹性表面波滤波器的插入损失，从而改善滤波特性的陡峭度。
图1是实施例1的弹性表面波谐振器的电极结构的示意图。
图2是弹性表面波谐振元件的放大图。
图3是对图1所示的弹性表面波谐振器和传统的弹性表面波谐振器的频率特性进行比较的示意图。
图4是通过模拟而求出在图1所示的弹性表面波谐振器所具备的3个弹性表面波谐振元件中，电极指的间距不同时的弹性表面波谐振器的谐振的Q值的曲线图。
图5是通过模拟而求出将多个谐振频率相同而结构互不相同的弹性表面波谐振元件并联时的谐振的Q值的曲线图。
图6是其他例子的弹性表面波谐振器的电极结构的示意图。
图7是其他例子的弹性表面波谐振器的电极结构的示意图。
图8是用来说明图7所示的弹性表面波谐振器的波动降低的效果的曲线图。
图9是表示通过模拟求出假设从图7所示的弹性表面波谐振器的IDT的两端分别到第15根为止的电极指的间距为2.31μm，剩下的电极指15的间距为2.33μm时的频率特性的结果的曲线图。
图10是实施例2的弹性表面波谐振器的电极结构的示意图。
图11是对图10所示的弹性表面波滤波器和传统的弹性表面波滤波器的频率特性进行比较的示意图。
图12是本发明实施例3的弹性表面波滤波器的电极结构的示意图。
图13是传统的弹性表面波滤波器的电极结构的示意图。
具体实施例方式
实施例1下面，对本发明的实施例1进行说明。图1是本发明实施例1的弹性表面波谐振器10的结构的一个例子的示意图。图1所示的弹性表面波谐振器10是一种所谓的单端口谐振器(one-port resonator)，包括接收来自外部的输入信号的信号输入端子T1、向外部输出信号的信号输出端子T2，以及由39°Y切面X轴传播(39°Y-cut，X-propagating)钽酸锂构成的压电基板11。而且，在压电基板11的表面上，3个弹性表面波谐振元件14在同一弹性表面波传播路径上被排成一列而形成。
弹性表面波谐振元件14，具备IDT12和分别靠近其两端设置的2个反射器13(反射电极)。这些具有相同结构的弹性表面波谐振元件14、即谐振频率实质上相同的弹性表面波谐振元件14，有3个被并联连接，并被串联连接在信号输入端子T1和信号输出端子T2之间、即信号路径上。此时，在弹性表面波谐振器10中的多个IDT12之间所设置的反射器13的数目为2个。
图2是图1所示的弹性表面波谐振元件14的放大图。弹性表面波谐振元件14中，例如，设定IDT12及反射器13的电极的膜厚约为0.4μm、IDT12的交插宽度W约为40μm、IDT12所具备的电极指15的根数约为200根、反射器13的电极根数为50根、IDT12的电极指15的间距P1约为2.33μm、反射器13的电极的间距P2约为2.38μm。此外，图2是弹性表面波谐振元件14的简略图。图中，IDT12所具备的电极指15的根数为10根，反射器13的电极的根数为4根。
弹性表面波谐振元件14的谐振频率，主要由电极的膜厚和电极指15的间距P1所决定。而且，图1所示的3个弹性表面波谐振元件14，由于电极的膜厚及电极指15的间距P1等采用了相同结构，所以，并联的弹性表面波谐振元件14的谐振频率彼此全部相同。
图3是通过模拟而求出具有上述结构的弹性表面波谐振器10的频率特性和图13所示的传统弹性表面波滤波器中的串联谐振器2的频率特性的图。图3中用实线表示的曲线G1表示图1所示的弹性表面波谐振器10的频率特性。另一方面，图3中用虚线表示的曲线G2表示图13所示的具备1个IDT、其两侧各有1个反射器的传统的弹性表面波谐振器的频率特性。该传统的弹性表面波谐振器包括1个IDT，该IDT具有600根电极指，此数目与图1所示的弹性表面波谐振元件14的3个IDT12所具备的电极指15的总计数相同。其它条件与弹性表面波谐振器10相同。
通过比较图3所示的曲线G1和曲线G2，可以发现曲线G1从谐振点至反谐振点呈向上拱的曲线。若用谐振的Q值来进行比较的话，曲线G1所示的本发明的弹性表面波谐振器10的谐振频率约为840MHz(各弹性表面波谐振元件14的谐振频率也约为840MHz)，谐振的Q值约为870。另一方面，曲线G2所示的传统的弹性表面波谐振器的Q值约为830，可见本发明的弹性表面波谐振器10，其谐振的Q值有所改善。
此外，上面说明的是将3个谐振频率相同的弹性表面波谐振元件14并联而构成弹性表面波谐振器10的例子，而所谓谐振频率相同，也包括例如因制造偏差等误差因素而在并联的多个弹性表面波谐振元件14之间产生谐振频率的差异的情况。例如，并联的多个弹性表面波谐振元件14的谐振频率中，最大和最小的之差在0.03％以下时，谐振频率实质上是相同的。
图4是通过模拟而求出在图1所示的弹性表面波谐振器所具备的3个弹性表面波谐振元件14中，电极指15的间距P1不同时的弹性表面波谐振器10的谐振的Q值的图。图4所示的图解中，横轴所示的间距差是以百分比来表示3个弹性表面波谐振元件14中的最大和最小的间距之差。例如，在图1所示的弹性表面波谐振器10中，其中一端的弹性表面波谐振元件14的电极指15的间距P1比中间的弹性表面波谐振元件14的电极指15的间距P1窄0.05％，而另一端的弹性表面波谐振元件14的电极指15的间距P1比中间的弹性表面波谐振元件14的电极指15的间距P1宽0.05％时，表示为间距差0.1％。
图4中，设定用于模拟的各弹性表面波谐振元件14的IDT12及反射器13的电极的膜厚为0.4μm，IDT12的交插宽度W为40μm，IDT12所具备的电极指15的根数为200根，反射器13的电极的根数为50根、反射器13的电极的间距P2为2.38μm。另外，将3个弹性表面波谐振元件14中，中间的弹性表面波谐振元件14所具备的IDT12的电极指15的间距P1设为2.33μm。
如图4所示，弹性表面波谐振器10的谐振的Q值，在间距差为0％时为870；间距差为0.02％时为855；间距差为0.04％时为807；间距差为0.1％时为532；间距差为0.2％时为248。由此可以证实，当多个弹性表面波谐振元件14的间距差在0.03％以下(相当于谐振频率之差在0.03％以下)时，弹性表面波谐振器10，比起图13所示的传统弹性表面波谐振器(串联谐振器2)，能够改善谐振的Q值。
另外，以上说明的是将3个有相同结构的弹性表面波谐振元件14并联而构成弹性表面波谐振器10的例子，但并不局限于将多个有相同结构的弹性表面波谐振元件14并联的例子，弹性表面波谐振器10也可采用并联多个谐振频率相同而结构不同的弹性表面波谐振元件14的结构。
图5是通过模拟而求出了将多个谐振频率相同而结构各不相同的弹性表面波谐振元件14并联而构成弹性表面波谐振器10时的谐振的Q值的图。图5所示的是，弹性表面波谐振器10中的3个弹性表面波谐振元件14各自具备的IDT12，其电极指15的根数分别取不同的数，而且使各弹性表面波谐振元件14的谐振频率相同时的弹性表面波谐振器10的谐振的Q值。此时，要改变间距P1以补正因改变电极指15的根数而导致的谐振频率的偏移。
首先，图1所示的弹性表面波谐振器10，是并联了3个电极指15的根数为200根的弹性表面波谐振元件14而得到的，即，是各弹性表面波谐振元件14的电极指15的根数为200根、200根、200根的组合。于是，在图5中，电极的根数取200根，而其Q值在纵轴上则表示为870。
另外，将1个IDT12的电极指15的根数为300根、间距P1取2.330μm的弹性表面波谐振元件14和2个IDT12的电极指15的根数为150根、间距P1取2.329μm的弹性表面波谐振元件14并联而构成的弹性表面波谐振器10，在图5中，电极的根数取300根，而其Q值在纵轴上则表示为857。
另外，将1个IDT12的电极指15的根数为400根、间距P1取2.330μm的弹性表面波谐振元件14、1个电极指15的根数为150根、间距P1取2.329μm的弹性表面波谐振元件14和1个电极指15的根数为50根、间距P1取2.321μm的弹性表面波谐振元件14并联而构成的弹性表面波谐振器10，在图5中，电极的根数取400根，而其Q值在纵轴上则表示为838。
另外，将1个IDT12的电极指15的根数为500根、间距P1取2.330μm的弹性表面波谐振元件14和2个电极指15的根数为50根、间距P1取2.321μm的弹性表面波谐振元件14并联而构成的弹性表面波谐振器10，在图5中，电极的根数取500根，而其Q值在纵轴上则表示为833.5。
另外，例如，与图13所示的串联谐振器2一样，具备1个IDT，其电极指的根数为600根的传统的弹性表面波谐振器，在图5中，电极的根数取600根，而其Q值在纵轴上则表示为830。
如图5所示，当并联了多个相同的弹性表面波谐振元件14时(电极的根数为200根时)，改善Q值的效果最好，而在并联多个谐振频率相同、电极指15的根数各不相同的弹性表面波谐振元件14而构成弹性表面波谐振器10时(电极的根数为300、400、500时)，与图13所示的传统例的弹性表面波谐振器(串联谐振器2)的情况(电极的根数为600根时)相比，也能够改善谐振的Q值。
另外，众所周知，象弹性表面波谐振元件14那样的单端口谐振器，在符合电极指15的根数的信号的频率下，容易发生波动(ripple)。因此，如果象图1所示的弹性表面波谐振器10那样，将多个电极指15的根数相等的弹性表面波谐振元件14进行并联，各弹性表面波谐振元件14中波动发生的频率会相等，因而会出现波动重叠，波动的峰值增大的可能。
因此，通过并联多个IDT12所具备的电极指15的根数各不相同而谐振频率相等的弹性表面波谐振元件14来构成弹性表面波谐振器10，能够改变在各弹性表面波谐振元件14中发生的波动的频率，减少波动重叠，因此，可以在改善谐振的Q值的同时，降低波动的峰值。
以上说明的是，弹性表面波谐振器10通过并联3个弹性表面波谐振元件14而构成的例子。但被并联的弹性表面波谐振元件14并不局限于3个，例如，也可以是2个或4个以上。
众所周知，按照惯例，以相同的电极间距形成IDT和反射器时，IDT的放射电导(radiation conductance)的峰值的频率低于反射器的反射特性的中心频率。因此，通常，是通过使反射器的间距略大于IDT的间距，使得IDT的放射电导的峰值频率与反射器的反射特性的中心频率大致相同，从而来改善谐振的Q值。但是，如果使用电极指的反射率较大的压电材料，IDT的电极指的根数变多，IDT自身则会起到反射器的功能，实质上与配置了与IDT有相同间距的反射器时的情况一样，会使谐振的Q值恶化。
因此，本发明是通过分割IDT来减少各自的IDT的根数，一面改善谐振的Q值，一面通过将其并联而得到所希望的特性。
图6是本发明实施例1的其它例的弹性表面波谐振器10a的结构的一例示意图。图6所示的弹性表面波谐振器10a包括，接收来自外部的输入信号的信号输入端子T1、向外部输出信号的信号输出端子T2，以及由39°Y切面X轴传播钽酸锂构成的压电基板11。而且，在压电基板11表面上的同一弹性表面波传播路径上，多个例如3个IDT12被排成一列而设置，各IDT12之间分别设置有1个反射器13a。进而，分别靠近排成一列的IDT12的两端部还设置有2个反射器13，多个IDT12彼此并联，并被连接在信号输入端子T1和信号输出端子T2之间。此时，在弹性表面波谐振器10a的IDT12之间设置的反射器13a，由分别位于两侧的IDT12所共用。
而且，设IDT12和反射器13、13a的电极膜厚约为0.4μm，IDT12的交插宽度W约为40μm，IDT12的电极指15的根数为200根，分别设置在3个IDT12之间的各反射器13a的电极的根数为20根，两端部的反射器13的电极的根数为50根，IDT12的电极指间距P1约为2.33μm，反射器13、13a的电极间距P2约为2.38μm。
如果测定如上述所得到的弹性表面波谐振器10a的谐振的Q值，则约为870，可以得到与如图1所示的弹性表面波谐振器10那样，分别构成各自的弹性表面波谐振元件14而将其并联而成的产品相同的Q值。另外，由于在弹性表面波谐振器10a中可以将在弹性表面波谐振器10的各IDT12之间设置的2个反射器13置换成1个反射器13a，因此，能够缩小弹性表面波谐振器10a的形状。
另外，最好是IDT12之间的反射器13a的电极的根数越多越好，但由于根数增多，其形状也会变大，因此，没有必要比两端部的反射器13中的电极的根数更多。
图7是本发明实施例1的其它例的弹性表面波谐振器10b的结构的一例示意图。图7所示的弹性表面波谐振器10b是一种所谓的单端口谐振器，包括接收来自外部的输入信号的信号输入端子T1、向外部输出信号的信号输出端子T2，以及由39°Y切面X轴传播钽酸锂构成的压电基板11。而且，压电基板11的表面上形成有4个弹性表面波谐振元件14a。
弹性表面波谐振元件14a，包括IDT12a和靠近其两端部设置的反射器13。该相同的弹性表面波谐振元件14a、即谐振频率相同的弹性表面波谐振元件14a，并联有4个，并被连接在信号输入端子T1和信号输出端子T2之间。另外，弹性表面波谐振元件14a还以2个为一组排成一列而配置，而每组彼此并不排成列，而是横向排列配置。
另外，设各弹性表面波谐振元件14a的电极的膜厚约为0.4μm，IDT12a的交插宽度W约为40μm，IDT12a的电极指15的根数为150根、反射器13的电极的根数为50根，反射器13的电极的间距P2为2.38μm。而且，设IDT12a的电极指15的间距P1(间隔)在两端部为2.28μm。并且设从IDT12a的两端部数起第15根之后的电极指15之间的间距P1为2.33μm，即，在IDT12a的中心附近，电极指15之间的间距P1为2.33μm。而且，还将从IDT12a的两端部至第15根为止的电极指15的间距P1设成从2.28μm向2.33μm逐渐增加。
通常，在象图7所示的弹性表面波谐振器10b那样的单端口谐振器中，如果减少IDT12a的电极指15的根数，则在谐振点附近容易出现波动。因此，图7所示的弹性表面波谐振器10b，通过使靠近IDT12a两端部的电极指15的间距P1和中央附近的电极指15的间距P1不同，来降低波动，这样，既能够降低波动又可以改善谐振的Q值。
图8是用来说明弹性表面波谐振器10b的波动(ripple)降低的效果的曲线图。图8(a)是表示通过模拟而求出图7所示的弹性表面波谐振器10b的频率特性的结果的曲线图；图8(b)是表示通过模拟而求出图7所示的弹性表面波谐振器10b的IDT12a的电极指15的间距P1全部取相同的2.33μm时的频率特性的结果的曲线图。图8中，横轴表示被输入到信号输入端子T1的信号的频率，纵轴以分贝表示由信号输入端子T1接收到的信号从信号输入端子T1输出时的传输量。
如图8(b)所示，当IDT12a的电极指15的间距P1全部取相同的2.33μm时，如参照符号B所示，在825MHz附近会出现波动。另一方面，如图8(a)所示，当使用图7所示的弹性表面波谐振器10b时，如参照符号A所示，即使在825MHz附近也不会出现波动。如上所述，图7所示的弹性表面波谐振器10b的波动降低效果已得到证实。
此外，在图7所示的弹性表面波谐振器10b中，使得IDT12a的电极指15的间距P1从两端部至第15根之间的与中间部的不同较为理想，但并不局限于从两端部到第15个电极指为止，也可采用以下结构，使得IDT12a所具备的多根电极指15中的一部分电极指15之间的间距P1在IDT12a的两端部不同于中间部位的间距P1。
另外，以上说明的是IDT12a的中间部附近的电极指15的间距P1和IDT12a的两端部的电极指15的间距P1之差被设为0.05μm的例子，但中间部附近和两端部的间距P1之差也可以为例如中间部附近的间距P1的0.5％～3％左右。
另外，以上说明的是IDT12a的两端部至第15根为止的电极指15的间距P1朝中间部方向逐渐增加的例子，但并不局限于逐渐增加的例子，可以是IDT12a的两端部的间距与中央部附近的间距P1不同，也可以是IDT12a的两端部的电极指15的多个的间距P1为大致相同。
图9是表示通过模拟求出假设从图7所示的弹性表面波谐振器10b的IDT12a的两端分别至第15根为止的电极指15的间距P1为2.31μm，剩下的电极指15的间距P1为2.33μm时的特性的结果的曲线图。如图9所示，即使在使IDT12a的两端部的电极指15的间距P1相同而不逐渐加大的情况下，也如参照符号C所示，在825MHz附近不会产生波动，波动的降低效果得到了证实。
实施例2下面，对本发明的实施例2进行说明。本发明的实施例1记述了弹性表面波谐振器的结构，而本发明的实施例2的不同点在于记述使用了该弹性表面波谐振器的梯形弹性表面波滤波器的结构。
图10是本发明实施例2的弹性表面波滤波器21的结构的一例示意图。图10所示的弹性表面波滤波器21，是梯形弹性表面波滤波器的一个例子，包括接收来自外部的输入信号的信号输入端子T1、向外部输出信号的信号输出端子T2、用于接地的接地端子T3和由39°Y切面X轴传播钽酸锂构成的压电基板11。而且，压电基板11的表面上形成有并联谐振器16和串联谐振器17。
此外，信号输入端子T1、信号输出端子T2以及接地端子T3也可以是用来将压电基板11的表面上所形成的配线图案(wiring pattern)或弹性表面波滤波器21与外部电路连接的连接器等。
串联谐振器16是设置在信号输入端子T1和信号输出端子T2之间、即被串联在从信号输入端子T1到信号输出端子T2之间的信号路径上的弹性表面波谐振器，例如使用图6所示的弹性表面波谐振器10a。而且，作为串联谐振器16，也可使用如图1所示的弹性表面波谐振器10或图7所示的弹性表面波谐振器10b。另外，并联谐振器17是设置在信号输出端子T2和接地端子T3之间、即被连接在信号路径和地面之间的弹性表面波谐振器。
串联谐振器16与图6所示的弹性表面波谐振器10a一样，在压电基板11表面上的同一弹性表面波传播路径上，有多个例如3个IDT12被排成一列而设置，各IDT12之间分别设置有反射器13a。进而靠近排成一列的IDT12的两端部还分别设置有反射器13，多个IDT12彼此被并联在信号输入端子T1和信号输出端子T2之间。
设串联谐振器16和并联谐振器17的电极的膜厚约为0.4μm。而且，还设串联谐振器16的IDT12的交插宽度约为40μm、IDT12的电极指15的根数为200根、设置在IDT12之间的反射器13a的电极的根数为20根、设置在串联谐振器16的两端部的反射器13的电极的根数分别为50根、IDT12的电极指间距P1约为2.33μm、反射器13、13a的电极间距P2约为2.38μm。
另外，并联谐振器17的结构如下，在压电基板11上，有1个IDT18被连接设置在信号输出端子T2和接地端子T3之间，靠近该IDT18的两端部分别设置有反射器19。而且，设IDT18的电极指的交插宽度W约为40μm、IDT18的电极指的根数为200根、IDT18的电极指间距P1约为2.44μm、反射器19的电极间距P2约为2.42μm。
图11是对有上述结构的弹性表面波滤波器21的频率特性和图13所示的传统的弹性表面波滤波器的频率特性进行比较后的曲线图。图11中，以实线曲线G3表示图10所示的弹性表面波滤波器21的频率特性，以虚线G4表示图13所示的传统弹性表面波滤波器的频率特性。
由此，如图11所示，曲线G3所表示的弹性表面波滤波器21的频率特性，与曲线G4所表示的传统弹性表面波滤波器中的频率特性相比，在通带(pass band)的高频一侧(865MHz附近)，频带变宽，并且陡峭度也得以改善，这已得到确认。
另外，在图10所示的弹性表面波滤波器21中，只有串联谐振器16并联了多个IDT12，但并联谐振器17也同样可以并联多个IDT18，例如，也可使用弹性表面波谐振器10、10a、10b。
实施例3下面，对本发明的实施例3进行说明。本实施例3和实施例2的不同之处在于，在实施例2中，是使用了单端子对弹性表面波谐振器的梯形弹性表面波滤波器，而本实施例3则适用于使用了多端子对弹性表面波谐振器的弹性表面波滤波器。
图12是本发明实施例3的弹性表面波滤波器22的结构的一例示意图。图12所示的弹性表面波滤波器22，是梯形弹性表面波滤波器的一个例子，包括接收来自外部的输入信号的信号输入端子T1、向外部输出信号的信号输出端子T2、用于接地的接地端子T3和由39°Y切面X轴传播钽酸锂构成的压电基板11。而且，压电基板11的表面上形成有多端子对弹性表面波谐振器23。
多端子对弹性表面波谐振器23，在压电基板11上的同一弹性表面波传播路径上，IDT12a、12b和反射器13、13a、13b被排成一列而予以设置。而且，多端子对弹性表面波谐振器23中，设置有多个IDT12a，例如3个，并在各IDT12a之间还分别设置有反射器13a，进而，靠近排成一列的IDT12a的一个端部附近设置有反射器13，而靠近另一端部设置有反射器13b，多个IDT12a彼此并联，并在信号输入端子T1和信号输出端子T2之间与信号路径串联连接。
另外，IDT12b被设置成IDT12b的一端部靠近反射器13b，而靠近IDT12b的另一端部则设置有反射器13。而且，IDT12b被连接在信号输出端子T2和接地端子T3之间，即信号路径和接地之间。
具有这种结构的多端子对弹性表面波谐振器23，是一种在压电基板11上的同一弹性表面波传播路径上，IDT12、12a、12b和反射器13、13a、13b排成一列而构成的单一的弹性表面波谐振器，并构成具备信号输入端子T1、信号输出端子T2及接地端子T3的多端子对弹性表面波滤波器22。
此时，3个IDT12a、靠近IDT12a的反射器13、2个反射器13a和反射器13b构成串联谐振器；反射器13b、IDT12b和靠近IDT12b的反射器13构成并联谐振器。而且，串联谐振器的一个端部的反射器13b和并联谐振器的一个端部的反射器13b被共同使用。
在此，多端子对弹性表面波滤波器22的电极膜厚约为0.4μm。另外，还设IDT12a及IDT12b的交插宽度W约为40μm、IDT12a的电极指的根数为200根、IDT12b的电极指的根数为200根、反射器13a的电极的根数为20根、反射器13b的电极的根数为20根、反射器13的电极的根数为50根、IDT12a的电极指的间距P1约为2.33μm、IDT12b的电极指的间距P1约为2.44μm、反射器13a的间距P2约为2.38μm、反射器13b的间距P2约为2.41μm、靠近IDT12a的反射器13的间距P2约为2.38μm、靠近IDT12b的反射器13的间距P2约为2.42μm。
通过采用这样的结构，与图10所示的弹性表面波滤波器21相比，由于可以减少1个反射器，因此，可以使多端子对弹性表面波滤波器22比弹性表面波滤波器21更小型化。另外，与图10所示的弹性表面波滤波器21一样，比起图13所示的传统弹性表面波滤波器，通带变宽，并且陡峭度得以改善。
另外，最好是IDT12a彼此有相同的结构，即电极指的根数及电极指的间距相同等。而对于IDT12b，电极指的根数则可根据设计进行适当的选择。
另外，关于被连接在信号路径和接地之间的IDT12b，也可采用将多个IDT并联连接，并将反射器夹持在各IDT之间的结构。
此外，为了获得本发明的效果，IDT12a彼此之间的反射器13a是必需的，但根据设计，IDT12a和IDT12b之间的反射器13b也可以省去。
产业上的利用可能性本发明涉及的弹性表面波谐振器及弹性表面波滤波器，具有改善谐振器的Q值并获得插入损失低、陡峭度较高的弹性表面波滤波器的效果，可用于手机等通信领域或电视机等的影像领域等的滤波器。
权利要求
1.一种弹性表面波谐振器，其特征在于包括压电基板；设置在上述压电基板的一侧、并分别具备多个电极指的多个叉指式换能器；以及多个反射电极；其中，上述多个叉指式换能器被并联连接；上述多个反射电极分别被设置在上述多个叉指式换能器的两侧；由上述各叉指式换能器和设置在该各叉指式换能器两侧的上述反射电极构成的多个弹性表面波谐振元件的谐振频率实质上相同。
2.根据权利要求1所述的弹性表面波谐振器，其特征在于上述多个叉指式换能器中的至少一部分，设置在其两侧的反射电极的至少其中之一，也被用作其它的上述叉指式换能器的反射电极。
3.根据权利要求1或2所述的弹性表面波谐振器，其特征在于上述多个叉指式换能器在相同的弹性表面波传播路径上被排成一列。
4.根据权利要求1～3中的任一项所述的弹性表面波谐振器，其特征在于上述各叉指式换能器的大致中间部位的电极指间的间隔与上述各叉指式换能器的两端部的电极指间的多个间隔为不同的间隔。
5.根据权利要求4所述的弹性表面波谐振器，其特征在于上述各叉指式换能器的两端部的电极指间的多个间隔大致相同。
6.根据权利要求4所述的弹性表面波谐振器，其特征在于上述各叉指式换能器的两端部的电极指间的多个间隔，分别从最边侧向内侧逐渐变成接近于上述大致中间部位的电极指的间隔。
7.根据权利要求4～6中的任一项所述的弹性表面波谐振器，其特征在于上述各叉指式换能器的两端部的电极指间的多个间隔分别是从最边侧起向内侧到第15根为止的电极指间的间隔。
8.根据权利要求1～7中的任一项所述的弹性表面波谐振器，其特征在于上述多个叉指式换能器的结构大致相同。
9.根据权利要求1～7中的任一项所述的弹性表面波谐振器，其特征在于上述多个叉指式换能器所具有的上述电极指的数目互不相同。
10.一种弹性表面波滤波器，其特征在于包括用于接收来自外部的输入信号的信号输入端子；用于将信号输出到外部的信号输出端子；用于接地的接地端子；压电基板；在上述压电基板的一侧、被设置在上述信号输入端子和上述信号输出端子之间的串联谐振器；以及在上述压电基板的一侧，被设置在上述信号输出端子和上述接地端子之间的并联谐振器；其中，上述串联谐振器是权利要求1～9中的任一项所述的弹性表面波谐振器。
11.根据权利要求10所述的弹性表面波滤波器，其特征在于上述并联谐振器是权利要求1～9中的任一项所述的弹性表面波谐振器。
12.根据权利要求10或11所述的弹性表面波滤波器，其特征在于上述串联谐振器和上述并联谐振器被设置在相同的弹性表面波传播路径上；上述串联谐振器的一端的反射电极也被用作上述并联谐振器的一端的反射电极。
全文摘要
本发明提供了一种弹性表面波谐振器及弹性表面波滤波器，可以改善较高频率的谐振器的Q值，并改善使用了这种谐振器的滤波器的插入损失及滤波器的陡峭度。在压电基板上，并联连接多个设置了梳状电极和在其两侧的反射电极的弹性表面波谐振元件，并使并联连接的弹性表面波谐振元件的谐振频率彼此全部相同，通过采用该结构，可改善谐振的Q值，而且还通过使用该弹性表面波谐振器而构成弹性表面波滤波器，可以谋求插入损失、陡峭度的改善。
文档编号H03H9/02GK1947334SQ20058001302
公开日2007年4月11日 申请日期2005年4月21日 优先权日2004年4月28日
发明者井垣努, 关俊一, 池田和生 申请人:松下电器产业株式会社