一种基于电润湿驱动原理的射频开关装置及其制备方法与流程

文档序号:11112478阅读:来源:国知局
技术总结
本发明公开了一种基于电润湿驱动原理的射频开关装置及其制备方法,该装置包含:下极板,上极板,置于下极板和上极板之间的液滴。其中,下极板包含:依次设置的第一衬底、驱动电极层、介质层、射频电极层和第一疏水层。上极板包含:依次设置的第二衬底、接地电极和第二疏水层。液滴置于第一疏水层与第二疏水层之间。本发明的射频开关装置通过驱动水溶液移动至不同的位置,控制射频电路的通断,具有控制简单、自动化程度高等特点,极大地拓展了微流控及射频开关等技术的应用范围。

技术研发人员:王伟;周嘉
受保护的技术使用者:复旦大学
文档号码:201710034220
技术研发日:2017.01.18
技术公布日:2017.05.10

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