本实用新型涉及一种电子加速器钛膜冷却装置，尤其涉及一种电子加速器水冷格栅结构。
背景技术：
电子加速器正常运行过程中主要耗材有钛膜和电子枪，钛膜一般寿命为2000小时，电子枪一般寿命为3000-5000小时，但电子枪的寿命除自身品质外还受外界很多因素的影响，其中最主要的是真空的的影响。因此，为保障电子枪的寿命，加速器工作时必须的满足电子枪正常工作的真空度需求，但加速器的钛膜更换从窗口拆卸至设备恢复运行一般需要24小时左右时间，所以保护钛膜的寿命是至关重要的，而钛膜的损坏因素主要是：散热、金属疲劳、人为损坏；排除客观因素，钛膜散热至关重要，现在的普遍采用在钛膜下方设置风嘴，采用强迫风冷的方式冷却，由于进气量较大在电子束的作用下会产生大量的臭氧，因此常规技术手段为架设大排量的废气排放风机，这样一来，增大了设备的损耗，市面上也有通过在扫描盒内部安装水冷格栅后在钛膜与水冷格栅贴合来保证钛膜的散热与支撑；但是现有水冷格栅的加工复杂，一致性较差，导致钛膜冷却效果差，真空受影响等。
电子束引出后其行进路线呈扇形向外扩散，但现有的格栅板在设计和加工上的原因，其格栅板的角度分布不符合最大扫描角分布原理，导致电子束在格栅齿上通过率低致使扫描均匀性差，钛膜散热不均匀、钛膜寿命短等，而且电子束扫描过程中由于扫描特性与扫描角度分布问题，电子束在穿透钛膜时会导致格栅和钛膜两端热量沉积较大，容易造成格栅两端的钛膜过热，导致格栅板变热，格栅板过热容易产生变形，减少水冷格栅的使用寿命。
技术实现要素：
本实用新型一种电子加速器水冷格栅结构，包括板材主体1，所述板材主体1由六个面组成，所述板材主体1还包括第一深孔2、第二深孔3，与第一深孔2相连的沉孔4以及设置在板材主体1中部的格栅板5和圆孔6，所述格栅板5设置有若干个，所述格栅板5之间存在间隙，所述格栅板5与板材主体1的水平面的夹角自板材主体1中心向两侧逐渐变小，位于板材主体1中心的格栅板5垂直于板材主体水平面，所述夹角为90-67.5度，位于板材主体1两侧的格栅板5对称设置，所述格栅板5还设置有加强筋52。
进一步，所述第一深孔2设置有两条，所述第一深孔2对称设置在板材主体1两端，所述圆孔6设置在两条深孔之间，所述第二深孔3两端分别与第一深孔2和沉孔4相连，所述沉孔4设置有六个，所述沉孔4一端与板材主体1上表面平齐，另一端与第一深孔2以及第二深孔3相连。
进一步，所述第一深孔2一侧分别设置有方形孔7，所述方形孔7设置在格栅板5与第一深孔2之间，所述方形孔7两端设置有圆孔6。
进一步，所述圆孔6设置有多个，所述圆孔6设置为通孔。
进一步，所述板材主体1的六面，其相对的面互为平行面，相邻的面互为垂直面，所述板材主体1六面其表面平面度一致。
进一步，所述板材主体1的材质为紫铜板材，所述板材主体1结构为长方体。
进一步，所述格栅板5中部还设置有加强件8，所述加强筋52设置有四条，所述加强筋52设置在方形孔7与加强件8正中间。
本实用新型一种电子加速器水冷格栅结构，结构简单，确保水冷格栅的整体性与一致性，通过水冷格栅有效解决了钛膜散热和保证钛膜的负压吸附支撑，防止钛膜疲劳，大大提高了钛膜的使用寿命，减少钛膜更换频率，所述格栅板5与板材主体1的水平面的夹角自板材主体1中心向两侧逐渐变小，其倾斜角度正对应电子束行进角度，大大增强了电子束通过格栅的均匀性，设置的加强筋52大大加强了格栅板5的结构强度，相对于冷却介质来说，水冷却比气冷却即经济又方便且更加环保，节约生产成本。
附图说明
图1为本实用新型整体结构示意图；
图2为本实用新型B-B刨面结构示意图；
图3为本实用新型A-A剖面结构示意图；
图4为本实用新型圆孔结构示意图；
图5为本实用新型沉孔结构示意图；
图6为本实用新型格栅板结构示意图。
其中：1、板材主体；2、第一深孔；3、第二深孔；4、沉孔；5、格栅板；51、格栅；52、加强筋；6、圆孔；7、方形孔；8、加强件。
具体实施方式
下面结合附图对本实用新型作进一步说明。
根据图1-图6所示的本实用新型一种电子加速器水冷格栅结构，包括板材主体1，所述板材主体1由六个面组成，所述板材主体1还包括第一深孔2、第二深孔3，与第一深孔2相连的沉孔4以及设置在板材主体1中部的格栅板5和圆孔6，所述格栅板5设置有若干个，所述格栅板5之间存在间隙，所述格栅板5与板材主体1的水平面的夹角自板材主体1中心向两侧逐渐变小，位于板材主体1中心的格栅板5垂直于板材主体水平面，所述夹角为90-67.5度，位于板材主体1两侧的格栅板5对称设置，所述格栅板5还设置有加强筋52。
进一步，所述第一深孔2设置有两条，所述第一深孔2对称设置在板材主体1两端，所述圆孔6设置在两条深孔之间，所述第二深孔3两端分别与第一深孔2和沉孔4相连，所述沉孔4设置有六个，所述沉孔4一端与板材主体1上表面平齐，另一端与第一深孔2以及第二深孔3相连。
进一步，所述第一深孔2一侧分别设置有方形孔7，所述方形孔7设置在格栅板5与第一深孔2之间，所述方形孔7两端设置有圆孔6。
进一步，所述圆孔6设置有多个，所述圆孔6设置为通孔。
进一步，所述板材主体1的六面，其相对的面互为平行面，相邻的面互为垂直面，所述板材主体1六面其表面平面度一致。
进一步，所述板材主体1的材质为紫铜板材，所述板材主体1结构为长方体。
进一步，所述格栅板5中部还设置有加强件8，所述加强筋52设置有四条，所述加强筋52设置在方形孔7与加强件8正中间。
本实用新型一种电子加速器水冷格栅结构，所述格栅板5设置有若干个，所述格栅板5设置在板材主体1中部，所述格栅板5还设置有格栅51，所述格栅板5以格栅51为中心向两侧呈扇形排列，其格栅板5之间存在间隙，其两端最外侧的的格栅板5与格栅51的角度都是67.5度，所述格栅板5之间的间隙与电子束行进方向相对应，所述电子束穿过格栅板的均匀性为-5％—5％。
所述加强筋52设置有四条，分别设置在格栅板5两端，所属加强筋52设置在方形孔7和加强件8的正中间位置，所述加强筋52用于加强格栅板5的结构强度。
本实用新型一种电子加速器水冷格栅结构，其材质为紫铜板材，且长宽厚都要大于设计要求，然后按照设计要求用CNC机床进行6个平面和6个沉孔4的加工，其中第一深孔2、第二深孔3和沉孔4一次成型，完成深孔工艺后把其放在电火花穿孔工装上面装夹固定好进行平面度与垂直度测量，测量完成后，按照预先设计要求逐一进行穿孔，穿孔的位置要在方形孔7和圆孔6的中心位置上，与要线切割的孔保证一面平行，这样穿孔时略有偏差也能做出合格产品，穿孔完成后，把其放到快走丝机器上面固定好，按照设计要求进行线切割，加工完成后清洗烘干。
本实用新型一种电子加速器水冷格栅结构，结构简单，确保水冷格栅的整体性与一致性，通过水冷格栅有效解决了钛膜散热和保证钛膜的负压吸附支撑，防止钛膜疲劳，大大提高了钛膜的使用寿命，减少钛膜更换频率，所述格栅板5与板材主体1的水平面的夹角自板材主体1中心向两侧逐渐变小，其倾斜角度正对应电子束行进角度，大大增强了电子束通过格栅的均匀性，设置的加强筋52大大加强了格栅板5的结构强度，相对于冷却介质来说，水冷却比气冷却即经济又方便且更加环保，节约生产成本。
以上内容是结合具体的优选实施方式对本实用新型所作的进一步详细说明，不能认定本实用新型的具体实施只局限于这些说明。对于本实用新型所述技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型构思的前提下，还可以做出若干简单推演或替换，都应当视为属于本实用新型的保护范围。