作业机的制作方法

本发明涉及作业机。

背景技术：

作为使头移动来进行各种作业的作业机，专利文献1公开有向电路基板安装电子元件的元件安装机。这样的作业机中使头移动的引导装置存在从导轨悬吊并支撑引导装置的移动体的悬垂式。这样的悬垂式的引导装置例如如专利文献1那样存在以下结构：在架设于前柱及后柱的一个框架配置对一对导轨及移动体赋予驱动力的驱动装置。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2012-044128号公报

技术实现要素：

发明所要解决的课题

上述那样的作业机存在减少伴随着头的移动而产生的振动的影响而提高作业精度的要求。另外，作业机例如以每设置面积的生产率的提高作为目的来谋求机械整体的小型化。

本说明书目的在于提供提高机械整体的刚性而减少伴随着头的移动而产生的振动的影响的作业机。

用于解决课题的技术方案

本说明书公开第一作业机，具备：基台；一对前柱，设置于上述基台的前部的左右；一对后柱，设置于上述基台的后部的左右；框架构造体，架设于上述一对前柱及上述一对后柱；第一头及第二头，在上述基台的上方的相互不重复的可动范围内分别进行预定的作业；第一引导装置，在比上述基台的左右方向的中央靠左侧的位置设置于上述框架构造体，使上述第一头沿上述基台的前后方向移动；及第二引导装置，在比上述基台的左右方向的中央靠右侧的位置设置于上述框架构造体，使上述第二头沿上述基台的前后方向移动，上述第一引导装置具有：平行的第一左导轨及第一右导轨，沿上述基台的前后方向延伸；及第一移动体，设置成能够在悬吊于上述第一左导轨及上述第一右导轨的状态下沿上述基台的前后方向移动，并支撑上述第一头，上述第二引导装置具有：平行的第二左导轨及第二右导轨，沿上述基台的前后方向延伸；及第二移动体，设置成能够在悬吊于上述第二左导轨及上述第二右导轨的状态下沿上述基台的前后方向移动，并支撑上述第二头，上述框架构造体具备：左框架，在下部设置有上述第一引导装置的上述第一左导轨；右框架，在下部设置有上述第二引导装置的上述第二右导轨；中央框架，配置于上述左框架与上述右框架之间，并在下部设置有上述第一引导装置的上述第一右导轨及上述第二引导装置的上述第二左导轨；前框架，将上述一对前柱彼此连接，并且将上述左框架、上述右框架及上述中央框架的各前端连接；及后框架，将上述一对后柱彼此连接，并且将上述左框架、上述右框架及上述中央框架的各后端连接。

本说明书公开第二作业机，具备：基台；一对前柱，设置于上述基台的前部的左右；一对后柱，设置于上述基台的后部的左右；框架构造体，架设于上述一对前柱及上述一对后柱；第一头，在上述基台的上方的可动范围内进行预定的作业；及第一引导装置，设置于上述框架构造体，使上述第一头沿上述基台的前后方向移动，上述第一引导装置具有：平行的第一左导轨及第一右导轨，沿上述基台的前后方向延伸；及第一移动体，设置成能够在悬吊于上述第一左导轨及上述第一右导轨的状态下沿上述基台的前后方向移动，并支撑上述第一头，上述框架构造体具备：左框架，在下部设置有上述第一引导装置的上述第一左导轨；右框架，在下部设置有上述第一引导装置的上述第一右导轨；前框架，将上述一对前柱彼此连接，并且将上述左框架及上述右框架的各前端连接；及后框架，将上述一对后柱彼此连接，并且将上述左框架及上述右框架的各后端连接，上述第一引导装置的上述第一左导轨及上述第一右导轨配置于上述第一头的上述可动范围和上述一对前柱及上述一对后柱与上述框架构造体连接的在上述基台的左右方向上的支撑范围重复的范围内。

发明效果

根据第一作业机的结构，一对前柱及一对后柱通过具备左右框架、前后框架及中央框架的框架构造体而连接。由此，作业机能够维持机械整体的外形尺寸并且通过框架构造体的构造刚性来提高作为机械整体的刚性。因此，能够提高伴随着第一头及第二头的移动而产生的振动的频率，因此该振动的抑制、管理变得容易。作为结果，能够减少该振动的影响而实现作业精度的提高。

另外，框架构造体通过在左框架、右框架及中央框架的下部设置有各导轨来支撑悬垂式的第一引导装置及第二引导装置。由此，作业机能够可靠地承受第一引导装置及第二引导装置的载荷，能够抑制伴随着第一头及第二头的移动而产生的振动。

根据第二作业机的结构，一对前柱及一对后柱通过具备左右框架及前后框架的框架构造体而连接。由此，作业机能够维持机械整体的外形尺寸并且通过框架构造体的构造刚性来提高作为机械整体的刚性。因此，能够提高伴随着第一头的移动而产生的振动的频率，因此该振动的抑制、管理变得容易。作为结果，能够减少该振动的影响而实现作业精度的提高。

另外，框架构造体通过在左框架及右框架的下部设置有各导轨来支撑悬垂式的第一引导装置。由此，作业机能够可靠地承受第一引导装置的载荷，能够抑制伴随着第一头的移动而产生的振动。

附图说明

图1是表示第一实施方式的两台元件安装机的立体图，且将一方的元件供给装置、上部罩、操作盘省略而示出。

图2是将图1的一方的元件安装机放大而示出的立体图。

图3是将图1的一方的元件安装机放大而示出的俯视图。

图4是图3的iv-iv剖视图。

图5是将第二实施方式的元件安装机放大而示出的立体图。

图6是与图5的元件安装机的图4对应的剖视图。

具体实施方式

1.第一实施方式

以下，参照附图对将作业机具体化的实施方式进行说明。作业机使头移动来进行各种作业。在本实施方式中，例示出作业机为元件安装机的方式。元件安装机是在电路基板上的预定的安装位置安装电子元件而生产基板产品的生产装置。以下，将“电路基板”仅称为“基板”，将电子元件仅称为“元件”。

1-1.元件安装机1的结构

如图1所示，元件安装机1例如沿基板bd的搬运方向并设多个，构成生产基板产品的生产线。元件安装机1具备基台2、基板搬运装置10、元件供给装置20、两台元件移载装置30、前柱部件60、后柱部件70、框架构造体80及控制装置90等。

在以下的说明中，将元件安装机1的水平宽度方向(从图1的左上朝向右下的方向)称为x轴方向或者左右方向。另外，将元件安装机1的水平进深方向(从图1的左下朝向右上的方向)称为y轴方向或者前后方向。将与x轴及y轴垂直的铅垂方向(图1的上下方向)称为z轴方向或者上下方向。

基板搬运装置10设置于基台2，由传送带等构成。基板搬运装置10将基板bd沿搬运方向(本实施方式中为x轴方向)依次搬运。基板搬运装置10使基板bd定位于元件安装机1的机内的预定位置。而且，基板搬运装置10在执行了元件安装机1的安装处理之后，将基板bd向元件安装机1的机外搬出。

元件供给装置20设置于基台2，供给向基板bd安装的元件。元件供给装置20具有以能够更换的方式设置于沿x轴方向排列配置的多个槽的多个供料器21。收纳多个元件的载带卷绕于供给带盘22而装填于对应的供料器21。供料器21使载带进给移动，在位于供料器21的前端侧的供给位置能够拾取地供给元件。

两台元件移载装置30分别在将由元件供给装置20供给的元件拾取并向基板bd移载的安装处理中使用。在本实施方式中，两台元件移载装置30分别沿元件安装机1的左右方向排列配置，被框架构造体80支撑。两台元件移载装置30的详细结构将后述。

如图2所示，前柱部件60具备一对前柱61和连接部件62。一对前柱61设置于基台2的前部的左右。在本实施方式中，一对前柱61通过具有沿基台2的左右方向延伸的部位的连接部件62将前端部连接而构成一体的门型构造体。

后柱部件70在基台2的前后方向上与前柱部件60分离配置。后柱部件70具备一对后柱71和连接部件72。一对后柱71设置于基台2的后部的左右。在本实施方式中，一对后柱71通过具有沿基台2的左右方向延伸的部位的连接部件72连接而构成一体的门型构造体。

框架构造体80架设于一对前柱61及一对后柱71。框架构造体80是通过支撑两台元件移载装置30并且连接前柱部件60及后柱部件70而提高机械整体的刚性的强度部件。框架构造体80的详细结构将后述。

控制装置90主要由cpu、各种存储器、控制电路构成。控制装置90执行向基板bd安装元件的安装处理。上述的安装处理是多次重复基于控制程序执行、拾取由元件供给装置20供给的元件并将元件向基板bd上的预定的安装位置移载的拾取和放置循环的处理。

另外，控制装置90在安装处理中控制后述的安装头35的动作的情况下，输入从多个设置于元件安装机1的各种传感器输出的信息、基于图像处理等的识别处理的结果。而且，控制装置基于控制程序、各种传感器的信息、各种识别处理的结果，向元件移载装置30送出控制信号。由此，控制被安装头35保持的元件的位置及角度。

另外，控制装置90为了进一步提高安装处理的精度而进行伴随着安装头35的动作而产生的振动的抑制、管理。例如，在安装处理的执行期间使安装头35移动至安装位置的上方的情况下，控制装置90基于安装头35的移动的开始位置、结束位置、移动速度、移动的部件的质量等，对直至伴随着该移动产生的振动的振幅成为允许值以下为止的衰减时间进行计算。而且，控制装置90在待机了计算出的衰减时间之后，使保持元件的吸嘴36下降而在预定的安装位置向基板bd安装元件。通过伴随着这样的振动的管理而执行的安装处理，实现安装处理的精度提高。

另外，元件安装机1的安装处理的执行期间的振动成为由于产生与衰减时间相当的待机时间而使安装处理所需要的循环时间延长的原因。此处，对于元件安装机1所产生的振动而言，各部件的刚性越高则频率越高，频率越高则衰减时间越短。若元件安装机1的各部件的刚性变高，则能够期待缩短由于安装处理中的振动而引起的待机时间。因此，元件安装机1期望设置于基台2的前柱部件60及后柱部件70、将它们连接并且支撑两台元件移载装置30的框架构造体80为高刚性。

1-2.元件移载装置30的详细结构

如图2所示，元件移载装置30具备y轴引导装置31、线性马达32、x轴引导装置33及安装头35。y轴引导装置31使安装头35沿基台2的前后方向(y轴方向)移动。y轴引导装置31具有一对导轨311、四个引导块312及y轴移动体313。一对导轨311由沿基台2的前后方向延伸且平行地配置的左导轨311l及右导轨311r构成。

四个引导块312分别能够滑动地与一对导轨311卡合。y轴移动体313固定于四个引导块312的下部。由此，y轴移动体313构成为在悬吊于左导轨311l及右导轨311r的状态下能够沿基台2的前后方向移动。如上述那样，y轴引导装置31是从一对导轨311悬吊并支撑y轴移动体313的悬垂式，能够较大地确保左右方向的可动范围。

线性马达32具备马达轴321、马达块322及冷却装置323。马达轴321是在一对导轨311的y轴方向之间与一对导轨311平行地配置的固定件。在马达轴321沿轴向配置有多个环状的永磁铁。多个永磁铁配置为相邻的两个永磁铁的磁极的朝向相互不同。

马达块322是以贯通于马达轴321的方式配置并沿马达轴321的延伸方向移动的可动件。马达块322具有沿着马达轴321的延伸方向配置的多个线圈。冷却装置323由未图示的导热管、风扇等构成。冷却装置323通过将由于线性马达32的驱动而产生的热向外部散热来冷却线性马达32。

y轴引导装置31的y轴移动体313固定于线性马达32的马达块322的下部。线性马达32由于向马达块322的线圈供电而产生推力。线性马达32通过控制向线圈的供电，使固定于马达块322的y轴移动体313移动至y轴方向的预定位置。

x轴引导装置33使安装头35沿基台2的左右方向(x轴方向)移动。x轴引导装置33具有x轴导轨331及x轴移动体332。x轴导轨331以沿x轴方向延伸的方式配置于y轴移动体313。x轴移动体332能够滑动地与x轴导轨331卡合。x轴移动体332通过未图示的驱动装置移动至x轴方向的预定位置。作为上述的驱动装置，例如可应用滚珠丝杠装置、线性马达。

安装头35通过未图示的夹紧件而固定于x轴移动体332。安装头35具有能够拆装地设置的多个吸嘴36。安装头35能够绕与z轴平行的r轴旋转且能够升降地支撑各个吸嘴36。控制吸嘴36相对于安装头35的升降位置、角度、负压的供给状态。吸嘴36通过被供给负压，吸附由元件供给装置20的供料器21供给的元件。

如上述那样构成的两台元件移载装置30构成为沿x轴方向排列配置，能够相互独立地动作。具体而言，如图3及图4所示，两台元件移载装置30的各安装头35在基台2的上方的相互不重复的可动范围rm1、rm2内分别进行向基板bd安装元件的作业。此处，可动范围rm1、rm2是由y轴引导装置31及x轴引导装置33的机械结构规定的范围，且定义为对使安装头35移动至左右两端及前后两端时的安装头35进行包围的范围。此外，图3及图4示出两台元件移载装置30的x轴方向的可动范围rm1、rm2。

以下，为了简化说明，如图2的()内示出对应的附图标记那样，在两台元件移载装置30中，也将构成左侧(基板bd的搬运方向的上游侧)的y轴引导装置31称为第一引导装置40，也将线性马达32称为第一驱动装置45，也将安装头35称为第一头46。另外，也将构成第一引导装置40的一对导轨311的左导轨311l及右导轨311r称为第一左导轨41及第一右导轨42。

并且，在两台元件移载装置30中，也将构成右侧(基板bd的搬运方向的下游侧)的y轴引导装置31称为第二引导装置50，也将线性马达32称为第二驱动装置55，也将安装头35称为第二头56。另外，也将构成第二引导装置50的一对导轨311的左导轨311l及右导轨311r称为第二左导轨51及第二右导轨52。

1-3.框架构造体80的详细结构

在本实施方式中，框架构造体80在架设于作为一体的门型构造体的前柱部件60及后柱部件70的状态下固定。在本实施方式中，如图3所示，在俯视元件安装机1时，框架构造体80成为包围该元件安装机1的外周的矩形状。框架构造体80形成为在下方及上方开口的箱状，实现确保构造刚性。

如图3所示，框架构造体80具备左框架81、右框架82、中央框架83、前框架84及后框架85等。左框架81沿基台2的前后方向(y轴方向)延伸，从前柱部件60的左端部向后柱部件70的左端部架设。另外，如图4所示，左框架81的与y轴方向正交的截面形状的外形在上下方向上较长地形成。在左框架81的下部设置有第一引导装置40的第一左导轨41。

右框架82以基台2的左右方向的中央作为中心线，形成为左框架81的线对称形状。如图3所示，右框架82沿基台2的前后方向(y轴方向)延伸，从前柱部件60的右端部向后柱部件70的右端部架设。另外，如图4所示，右框架82的与y轴方向正交的截面形状的外形在上下方向上较长地形成。在右框架82的下部设置有第二引导装置50的第二右导轨52。

如图3所示，中央框架83配置于x轴方向上的左框架81和右框架82之间。中央框架83沿y轴方向延伸，从前柱部件60的中央部向后柱部件70的中央部架设。另外，如图4所示，中央框架83的与y轴方向正交的截面形状的外形形成为在上下方向上较长的矩形。在中央框架83的下部设置有第一引导装置40的第一右导轨42及第二引导装置50的第二左导轨51。

如图3所示，前框架84及后框架85沿x轴方向延伸，与x轴方向正交的截面形状的外形在上下方向上较长地形成。前框架84将一对前柱61的上部彼此连接，并且将左框架81、右框架82及中央框架83的各前端连接。后框架85将一对后柱71的上部彼此连接，并且将左框架81、右框架82及中央框架83的各后端连接。

此处，在本实施方式中，一对前柱61通过连接部件62连接，构成作为一体的门型构造体的前柱部件60。另外，在本实施方式中，一对后柱71通过连接部件72连接而构成作为一体的门型构造体的后柱部件70。根据这样的结构，能够更加提高基台2的左右方向的刚性。而且，上述前柱61部件及后柱71部件通过框架构造体80而连接，由此元件安装机1的作为机械整体的刚性变高，能够更加减少振动的产生。

在本实施方式中，框架构造体80将上下方向宽度几乎相同地形成的左框架81、右框架82、前框架84及后框架85连接而形成外廓。另外，框架构造体80成为在左框架81与右框架82之间配置有中央框架83而进一步提高刚性的构造。另外，通过各框架81～86的截面形状在上下方向上较长地形成而提高截面系数，从而提高框架构造体80的弯曲刚性。由此，能够提高伴随着第一头46及第二头56的移动而产生的振动的x轴方向及y轴方向的频率。

另外，在本实施方式中，框架构造体80通过前框架84及后框架85确保框架构造体80所要求的x轴方向的刚性(例如由安装头35的规定动作产生的x轴方向的振动的频率为阈值以上的刚性)。由此，除了前框架84及后框架85之外，框架构造体80不具有将左框架81及右框架82连接的部件。由此，能够实现框架构造体80的轻量化，而且能够减少框架构造体80的制造成本、设置成本。

另外，通过上述那样的结构，作为结果，框架构造体80成为在上下方向上开口的箱状，确保在左框架81与中央框架83之间收容第一驱动装置45的空间及在右框架82与中央框架83之间收容第二驱动装置55的空间。详细而言，第一驱动装置45配置于x轴方向上的左框架81与中央框架83之间，将基台2的前后方向的两端部支撑于前框架84及后框架85。同样，对于第二驱动装置55而言，x轴方向上的第二驱动装置55设置于右框架82与中央框架83之间，将基台2的前后方向的两端部支撑于前框架84及后框架85。

具体而言，如图3所示，作为线性马达32的第一驱动装置45及第二驱动装置55将各自的马达轴321的y轴方向的两端部支撑于前框架84及后框架85。而且，第一驱动装置45向第一移动体43赋予使第一头46沿基台2的前后方向移动的驱动力。同样，第二驱动装置55向第二移动体53赋予使第二头56沿基台2的前后方向移动的驱动力。

另外，如上述那样，在左框架81的下部设置有第一引导装置40的第一左导轨41。在本实施方式中，如图4所示，第一左导轨41配置于第一头46的可动范围rm1和一对前柱61及一对后柱71与框架构造体80连接的在基台2的左右方向上的支撑范围rs重复的范围内。图4由虚线示出左侧的前柱61及左侧的后柱71的机内侧的端面。

另外，在右框架82的下部设置有第二引导装置50的第二右导轨52。在本实施方式中，如图4所示，第二右导轨52配置于第二头56的可动范围rm2和一对前柱61及一对后柱71与框架构造体80连接的基台2的左右方向的支撑范围rs重复的范围内。图4由虚线示出右侧的前柱61及右侧的后柱71的机内侧的端面。

此处，上述的支撑范围rs是相对于前柱部件60及后柱部件70为了连接框架构造体80而接触的x轴方向的范围。支撑范围rs相当于以下范围：通过左框架81直接或者间接被一对前柱61的一方及一对后柱71的一方支撑的x轴方向的范围和右框架82直接或者间接被一对前柱61的另一方及一对后柱71的另一方支撑的x轴方向的范围表示的范围。

根据这样的结构，左框架81从第一左导轨41受到的向下方的载荷作为屈曲载荷大致向存在于支撑范围rs的左侧的前柱61及左侧的后柱71传递。同样，右框架82从第二右导轨52受到的向下方的载荷作为屈曲载荷大致向存在于支撑范围rs的右侧的前柱61及右侧的后柱71传递。

由此，可由该动作产生振动的第一引导装置40及第二引导装置50经由框架构造体80而通过前柱部件60及后柱部件70的屈曲强度来支撑。作为结果，元件安装机1构成为，提高作为机械整体的构造的刚性而抑制振动的产生，并且提高产生的振动的频率。

另外，在中央框架83的下部设置有第一引导装置40的第一右导轨42及第二引导装置50的第二左导轨51。在本实施方式中，如图4所示，第一右导轨42配置于x轴方向上的第一头46的可动范围rm1的内侧。同样，第二左导轨51配置于x轴方向上的第二头56的可动范围rm2的内侧。

此处，如图2所示，一对前柱61及一对后柱71分别形成为，基台2的左右方向(x轴方向)两侧的侧面611、711成为同一平面状。如图1所示，这是用于在元件安装机1构成生产线的情况下能够成为尽可能与相邻的其他元件安装机1接近的设置的结构。由此，能够缩短包含元件安装机1在内的生产线而提高作业施设的面积生产率。

并且，如图1所示，在一对前柱61的侧面611及一对后柱71的侧面711配置有将各侧面(611、711)彼此连接的左右一对连接板89。通过这样的结构，能够利用连接板89的抗拉强度使元件安装机1作为机械整体提高前后方向的刚性。因此，特别是y轴方向的刚性变高，能够提高伴随着第一头46及第二头56的移动而产生的振动的y轴方向的频率。

1-4.第一实施方式的结构的效果

根据上述那样的元件安装机1的结构，一对前柱61及一对后柱71通过框架构造体80而连接。由此，元件安装机1能够维持机械整体的外形尺寸并且通过框架构造体80的构造刚性来提高作为机械整体的刚性。因此，能够提高伴随着第一头46及第二头56的移动而产生的振动的频率。作为结果，该振动的抑制、管理变得容易，能够减少该振动的影响而实现安装精度的提高。

另外，框架构造体80通过在左框架81、右框架82及中央框架83的下部设置有各导轨(41、42、51、52)来支撑悬垂式的第一引导装置40及第二引导装置50。由此，元件安装机1能够通过基台2、前柱部件60、后柱部件70及框架构造体80可靠地承受第一引导装置40及第二引导装置50的载荷，能够抑制伴随着第一头46及第二头56的移动而产生的振动。

2.第二实施方式

2-1.元件安装机101的结构

第二实施方式的作业机(元件安装机101)相对于第一实施方式的元件安装机1主要是框架构造体80的结构不同。针对其他的共用的结构，与第一实施方式实质相同，因此省略详细的说明。具体而言，如图5所示，元件安装机101具备基台102、基板搬运装置10、元件供给装置20(图5中省略)、一台元件移载装置30(第一引导装置140)、前柱部件160、后柱部件170、框架构造体180及控制装置90等。

相对于第一实施方式的元件安装机1具备两台元件移载装置30的结构，本实施方式的元件安装机101具备一台元件移载装置30。因此，与第一实施方式的元件安装机1相比，元件安装机101及基台102的x轴方向的宽度成为大致一半。上述的元件移载装置30与第一实施方式中的两台元件移载装置30同型，具备第一引导装置140、第一驱动装置145及第一头146等。

前柱部件160是通过具有沿x轴方向延伸的部位的连接部件162将在基台102的前部的左右设置的一对前柱61连接而构成的一体的门型构造体。同样，后柱部件170是通过具有沿x轴方向延伸的部位的连接部件172将在基台102的后部的左右设置的一对后柱71连接而构成的一体的门型构造体。

2-2.框架构造体180的详细结构

框架构造体180是支撑一台元件移载装置30并且通过连接前柱部件160及后柱部件170而提高机械整体的刚性的强度部件。框架构造体180与从第一实施方式的框架构造体80除去中央框架83的结构相同地构成，具备左框架81、右框架82、前框架84及后框架85等。

如图6所示，左框架81在下部设置有第一引导装置140的第一左导轨41。右框架82在下部设置有第一引导装置140的第一右导轨42。前框架84与第一实施方式相同，将一对前柱61彼此连接，并且将左框架81及右框架82的各前端连接。后框架85将一对后柱71彼此连接，并且将左框架81及右框架82的各后端连接。

如图6所示，第一引导装置140的第一左导轨41及第一右导轨42配置于第一头46的可动范围rm1和一对前柱61及一对后柱71与框架构造体180连接的基台102的左右方向的支撑范围rs重复的范围内。图6由虚线表示一对前柱61及一对后柱71的机内侧的端面。

另外，第一驱动装置145配置于左框架81与右框架82之间。另外，如图5所示，第一驱动装置145将基台102的前后方向的两端部支撑于前框架84及后框架85。具体而言，作为线性马达32的第一驱动装置145将马达轴321的y轴方向的两端部支撑于前框架84及后框架85。第一驱动装置145向第一移动体43赋予使第一头146沿基台102的前后方向移动的驱动力。

通过这样的结构，与第一实施方式的结构相同，框架构造体180从第一引导装置140接受的向下方的载荷作为屈曲载荷大致向存在于支撑范围rs的一对前柱61及一对后柱71传递。由此，可通过该动作而产生振动的第一引导装置140经由框架构造体180而由前柱部件160及后柱部件170的屈曲强度支撑。作为结果，元件安装机101构成为，提高作为机械整体的构造刚性而抑制振动的产生，并且提高所产生的振动的频率。

2-3.第二实施方式的结构的效果

根据上述那样的元件安装机101的结构，一对前柱61及一对后柱71通过框架构造体180而连接。由此，元件安装机101能够维持机械整体的外形尺寸并且通过框架构造体180的构造刚性来提高作为机械整体的刚性。因此，能够提高伴随着第一头146的移动而产生的振动的频率。作为结果，该振动的抑制、管理变得容易，能够减少该振动的影响而实现作业精度的提高。

另外，框架构造体180通过在左框架81及右框架82的下部设置有各导轨(41、42)来支撑悬垂式的第一引导装置140。由此，元件安装机101能够通过基台102、前柱部件160、后柱部件170及框架构造体180可靠地承受第一引导装置140的载荷，能够抑制伴随着第一头146的移动而产生的振动。

3.第一、第二实施方式的变形方式

3-1.框架构造体80的结构

在第一实施方式及第二实施方式中，框架构造体80、180为形成为在下方及上方开口的箱状的结构。相对于此，框架构造体80、180例如也可以是上方由板、罩部件覆盖的形状。另外，只要能够确保作为整体的刚性，则也可以构成为形成外廓的各框架(81、82、84、85)的至少一部分的截面形状的外形形成为除在上下方向上较长的形状以外的形状，未成为箱状。

另外，在第一实施方式及第二实施方式中，前柱部件60、160构成为，一对前柱61通过连接部件62、162连接而为一体的门型构造体。相对于此，也可以构成为，前柱部件60、160不具有连接部件62、162，上部仅由框架构造体80、180连接。同样，也可以构成为，后柱部件70、170不具有连接部件72、172，上部仅由框架构造体80、180连接。其中，从确保刚性并且减少元件件数的观点出发，优选通过第一实施方式及第二实施方式例示的方式。

3-2.连接板89的结构

在第一、第二实施方式中，一对连接板89分别将一对前柱61及一对后柱71的各侧面(611、711)彼此连接。相对于此，也可以是，框架构造体80、180分别形成为x轴方向两侧的侧面801成为与上述的各侧面(611、711)同一平面状，通过一对连接板89而与一对前柱61及一对后柱71连接。

根据这样的结构，元件安装机1、101通过一对连接板89的抗拉强度，作为机械整体能够进一步提高前后方向的刚性。作为结果，能够提高伴随着安装头35的移动而产生的前后方向的振动的频率，因此该振动的抑制、管理变得容易，能够减少该振动的影响而实现安装精度的提高。并且，连接板89也可以是连接基台2、102的侧面的结构。

3-3.作业机的基本结构

在第一实施方式及第二实施方式中，构成为，第一驱动装置45、145及第二驱动装置55是线性马达32。相对于此，第一驱动装置45、145及第二驱动装置55只要能够向第一移动体43及第二移动体53赋予使第一头46、146及第二头56沿基台2、102的前后方向(y轴方向)移动的驱动力，则也可以应用滚珠丝杠装置等直动装置。例如，在第一驱动装置45、145及第二驱动装置55为滚珠丝杠装置的情况下，丝杠轴的两端部被前框架84及后框架85支撑。

在第一实施方式及第二实施方式中，例示并说明作业机为生产基板产品的元件安装机1、101的方式。相对于此，作业机只要是使头移动而进行各种作业的结构，则也可以是除元件安装机以外的各种作业机。具体而言，作业机也可以是能够与元件安装机1、101一起构成生产线的焊料印刷机、对安装有元件的电路基板进行检查的检查装置。

附图标记说明

1、101...元件安装机2、102...基台10...基板搬运装置20...元件供给装置30...元件移载装置31(40、50、140)...y轴引导装置(第一引导装置、第二引导装置)311...导轨311l(41、51)...左导轨(第一左导轨、第二左导轨)311r(42、52)...右导轨(第一右导轨、第二右导轨)312...引导块313(43、53)...y轴移动体(第一移动体、第二移动体)32(45、55、145)...线性马达(第一驱动装置、第二驱动装置)35(46、56、146)...安装头(第一头、第二头)60、160...前柱部件61...(一对)前柱611...侧面62、162...连接部件70、170...后柱部件71...(一对)后柱711...侧面72、172...连接部件80、180...框架构造体81...左框架82...右框架83...中央框架84...前框架85...后框架801...侧面89...(一对)连接板rm1...(第一安装头的)可动范围rm2...(第二安装头的)可动范围rs...支撑范围bd...基板(电路基板)。