技术特征：
技术总结
本发明公开了一种射频滤波器的制作方法和射频滤波器。包括：S110、提供压电基板；S120、在压电基板上形成金属电极层，并对其进行图形化；在图形化的金属电极层上涂覆光刻胶层，并对光刻胶层进行曝光、显影，以形成与图形化的金属电极层相一致的图形；在压电基板上形成初始的温度补偿层，初始的温度补偿层的厚度与金属电极层的厚度一致；剥离曝光、显影后的光刻胶层，并在图形化的金属电极层和初始的温度补偿层上形成最终的温度补偿层；在最终的温度补偿层的表面形成钝化层。制作工艺简单，无需对温度补偿层的表面进行化学机械研磨工艺处理，从而可以简化射频滤波器的制作工艺，降低制作射频滤波器的制作成本，提高经济效益。
技术研发人员：刘建生;陈海龙;张树民;王国浩;汪泉
受保护的技术使用者：杭州左蓝微电子技术有限公司
技术研发日：2018.07.12
技术公布日：2018.11.23