安装基板制造系统以及安装基板制造方法与流程

本公开涉及制造在基板安装了部件的安装基板的安装基板制造系统以及安装基板制造方法。

背景技术：

安装基板制造系统具备连结了多台将电子部件安装于基板的部件搭载装置的部件安装线。在各个部件搭载装置中反复执行将从部件供给部取出的部件通过部件安装机构搭载至基板的部件安装动作。在这样的部件安装动作中的搭载位置精度不恒定，由于随着运转时间的经过的经时变化，例如在部件搭载机构中使搭载头移动的梁的经时热变形等各种主要因素而变动。为了防止由这样的变动主要因素而导致的搭载位置精度的降低，已知一种部件搭载装置，具备将反映了部件的位置偏离倾向的修正数据向各部件搭载装置反馈从而对部件搭载位置进行修正的功能，其中，部件的位置偏离倾向是根据设置在部件安装线的检查装置的检查结果来计算的(例如，参照日本特开2016-58603号公报)。

技术实现要素：

本公开的安装基板制造系统具备：部件搭载部，具有搭载头和搭载头移动部，所述搭载头具有对部件进行保持并搭载至基板的保持件，所述搭载头移动部使所述搭载头移动至用于将所述保持件所保持的所述部件搭载至所述基板的部件搭载位置的目标位置；检查部，拍摄通过所述部件搭载部搭载了所述部件的所述基板，从而对搭载于所述基板的所述部件的搭载位置进行检查；修正值计算部，使用通过所述检查部获取的检查结果来计算用于修正所述目标位置的修正值，在获取了新的检查结果的情况下，使用所述新的检查结果来更新所述修正值；目标位置计算部，使用所述修正值来计算所述目标位置；和修正值变更部，在所述部件搭载部停止了运转后重新开始运转来进行基于所述部件搭载部的部件搭载的情况下，将在即将停止运转之前所使用的最新修正值变更为与最新修正值不同的修正值。

本公开的安装基板制造方法包括：部件搭载工序，通过部件搭载部将部件搭载至基板，其中，所述部件搭载部具有搭载头和搭载头移动部，所述搭载头具有对所述部件进行保持并搭载至所述基板的保持件，所述搭载头移动部使所述搭载头移动至用于将所述保持件所保持的所述部件搭载至所述基板的部件搭载位置的目标位置；检查工序，拍摄在所述部件搭载工序中搭载了所述部件的所述基板，从而检查搭载于所述基板的所述部件的搭载位置；修正值计算工序，使用在所述检查工序中获取的检查结果来计算用于修正所述目标位置的修正值，在获取了新的检查结果的情况下，使用所述新的检查结果来更新所述修正值；目标位置计算工序，使用所述修正值来计算所述目标位置；和修正值变更工序，在所述部件搭载工序中在停止了运转后重新开始运转来再次执行部件搭载工序的情况下，将在即将停止运转之前所使用的最新修正值变更为与所述最新修正值不同的修正值。

根据本公开，能够抑制在停止了连续生产后的重新开始运转时的装配位置精度的降低。

附图说明

图1是表示本公开的一实施方式的安装基板制造系统的结构的框图。

图2是本公开的一实施方式的安装基板制造系统中的部件搭载装置的俯视图。

图3a是本公开的一实施方式的安装基板制造系统中的部件搭载装置的经时变化的状态检测的说明图。

图3b是本公开的一实施方式的安装基板制造系统中的部件搭载装置的经时变化的状态检测的说明图。

图3c是本公开的一实施方式的安装基板制造系统中的部件搭载装置的经时变化的状态检测的说明图。

图4a是本公开的一实施方式的安装基板制造系统中的检查装置进行的搭载位置检查的说明图。

图4b是本公开的一实施方式的安装基板制造系统中的检查装置进行的搭载位置检查的说明图。

图5是表示本公开的一实施方式的安装基板制造系统中的部件搭载装置的控制系统的结构的框图。

图6是表示本公开的一实施方式的安装基板制造系统中的信息处理装置的结构的框图。

图7是本公开的一实施方式的安装基板制造系统中的与重新开始运转时的修正值相关的设定画面的说明图。

图8是表示本公开的一实施方式的安装基板制造系统中的部件搭载动作的流程图。

图9是表示本公开的一实施方式的安装基板制造系统中的重新开始运转时的处理的流程图。

具体实施方式

在说明实施方式之前，先简单地说明以往中的问题点。在包含上述在先技术例的现有技术中，在使连续生产停止并经过了某一程度的时间后重新开始运转时，会产生搭载位置精度降低这样的不良情况。即，在上述反馈中的修正值中，包含由随着运转时间的经过而机构各部分的温度上升所引起的经时变动成分。然而，在生产停止后，机构各部分的温度降低从而恢复为冷却状态，因此，若直接应用生产停止时的修正值，则不能准确地进行部件搭载位置的修正，从而搭载位置精度降低。在这样的现有技术中，在反馈反映了部件的位置偏离倾向的修正数据的结构中，存在导致在停止了连续生产后的重新开始运转时的搭载位置精度降低这样的课题。

因此，本公开的目的在于，提供一种能够抑制在停止了连续生产后的重新开始运转时的搭载位置精度降低的安装基板制造系统以及安装基板制造方法。

接下来，参照附图，对本公开的实施方式进行说明。首先，参照图1，对具有将电子部件安装于基板来制造安装基板的功能的安装基板制造系统1的结构进行说明。在图1中，安装基板制造系统1是串联连接基板供给装置m1、焊料印刷装置m2、部件搭载装置m3、m4、m5、检查装置m6、回流焊装置m7和安装基板回收装置m8而构成的。各装置由基板搬运传送带来连接，由上游侧(图中为左侧)的基板供给装置m1供给的基板依次交接给下游侧装置。而且，结束了以下所示的部件搭载作业的安装基板被安装基板回收装置m8回收。

焊料印刷装置m2在由基板供给装置m1供给的基板印刷部件接合用焊料。部件搭载装置m3、m4、m5是安装基板制造系统1中的部件搭载部，将部件搭载至印刷有焊料的基板上。检查装置m6是安装基板制造系统1中的检查部，对搭载有部件的基板中的部件的搭载位置进行检查。回流焊装置m7通过对检查后的基板进行加热使焊料熔融固化，从而将被搭载的部件与基板焊接。

上述各装置经由通信网络2相互连接，进而经由通信网络2与信息处理装置3连接。由此，在安装基板制造系统1中，进行基板供给装置m1～安装基板回收装置m8的各装置间的信号、信息、数据的交换，并且能够将检查装置m6的检查结果向上游侧装置反馈。与此同时，利用信息处理装置3对从各装置上传到信息处理装置3的各种数据进行信息处理，并能够利用各装置下载被处理后的信息。

接下来，参照图2，对在安装基板制造系统1中作为部件搭载部的部件搭载装置m3、m4、m5的结构以及功能进行说明。在图2中，在架台4的上表面的中央沿x方向(基板搬运方向)配设有基板搬运部5。基板搬运部5搬运从上游侧装置交接的基板6，使基板6定位并保持在以下所说明的部件搭载机构的搭载作业位置。

在基板搬运部5的两侧配置有部件供给部7a、7b，在部件供给部7a、7b并列设置有多个带式供给器8。带式供给器8将保持了安装对象的部件的载带进行间距进给，由此向部件搭载机构的部件吸附位置供给部件。在架台4的上表面且在x方向的一侧端部沿与x方向正交的y方向配设有y轴梁9。在y轴梁9，沿着y方向移动自如地结合有两台x轴梁10a、10b，并且具备能够使x轴梁10a、10b分别沿y方向移动的线性马达。

在两台x轴梁10a、10b，搭载头11a、11b分别安装成能够在x方向上移动自如，并且还具备使搭载头11a、11b沿x方向移动的线性马达。搭载头11a、11b是具有多个保持头的多连型头，在各保持头的下端部具有作为对部件进行保持并搭载至基板6的保持件的吸附嘴11a(参照图3a)。

x轴梁10a以及y轴梁9构成xy工作台12a(参照图5)，通过驱动xy工作台12a，从而搭载头11a沿x方向、y方向移动。此外，x轴梁10b以及y轴梁9构成xy工作台12b(参照图5)，通过驱动xy工作台12b，从而搭载头11b沿x方向、y方向移动。即，xy工作台12a、12b成为使搭载头11a、11b移动的搭载头移动部。

由此，两个搭载头11a、11b利用吸附嘴11a从各自对应的部件供给部7a、7b的带式供给器8的部件吸附位置吸附保持部件并取出，从而将部件搭载至基板6的部件搭载位置。部件搭载位置是指基板6的应搭载部件的设计上的位置。在上述结构中，xy工作台12a、12b以及搭载头11a、11b使保持了部件的搭载头11a、11b移动，由此构成将部件搭载至基板6的部件搭载机构。

在由该部件搭载机构进行的部件搭载动作中，作为搭载头移动部的xy工作台12a、12b使搭载头11a、11b移动至用于将吸附嘴11a所保持的部件搭载至基板6的部件搭载位置的目标位置。在此，目标位置是指在xy工作台12a(12b)的坐标系中的搭载头11a(11b)的移动目标坐标。

即，本实施方式所示的作为部件搭载部的部件搭载装置m3、m4、m5构成为具有：搭载头11a、11b，具有对部件进行保持并搭载至基板6的保持件；和搭载头移动部，使搭载头11a、11b移动至用于将保持件所保持的部件搭载至基板6的部件搭载位置的目标位置。

在部件供给部7a、7b和基板搬运部5之间分别配置有部件辨识摄像机14a、14b。当已从部件供给部7a、7b取出了部件的搭载头11a、11b在部件辨识摄像机14a、14b的上方移动时，部件辨识摄像机14a、14b分别对被搭载头11a、11b保持的状态的部件进行拍摄。对该拍摄结果进行辨识处理，由此检测被搭载头11a、11b保持的状态的部件的位置偏离。

在搭载头11a、11b且位于x轴梁10a、10b的下表面侧，分别装配有与搭载头11a、11b一体地移动的基板辨识摄像机13a、13b。搭载头11a、11b进行移动，由此基板辨识摄像机13a、13b移动至被基板搬运部5定位的基板6的上方，对基板6进行拍摄。通过对该拍摄结果进行辨识处理，从而辨识在基板6上的部件搭载位置。在由搭载头11a、11b进行的向基板6的部件搭载动作中，考虑部件辨识摄像机14a、14b对部件的辨识结果和基板辨识摄像机13a、13b对基板的辨识结果来进行搭载位置的修正。

另外，在以下描述中，为了省略冗余来简化记载，在表示前述结构的部件搭载部的情况下，关于以一对的方式存在的要素，除非需要进行区别，否则将部件供给部7a、7b、x轴梁10a、10b、搭载头11a、11b、xy工作台12a、12b、基板辨识摄像机13a、13b和部件辨识摄像机14a、14b仅统称简写为部件供给部7、x轴梁10、搭载头11、xy工作台12、基板辨识摄像机13和部件辨识摄像机14。

在部件搭载装置m3中且在架台4的上表面，以从周围包围被基板搬运部5定位的状态的基板6的配置方式，竖立设置有四个基准位置柱15(1)～15(4)作为用于检测部件搭载装置m3的状态的基准点。在检测部件搭载装置m3的状态时，通过利用xy工作台12进行移动的基板辨识摄像机13对基准位置柱15(1)～15(4)的位置进行拍摄。利用图像辨识部24(参照图5)对该拍摄结果进行辨识处理，由此能够检测搭载头11由于xy工作台12的热变形而从标准状态位移的经时变化的状态，即部件搭载装置m3的状态，并且将表示该状态的数值数据输出。

参照图3a、图3b以及图3c来说明该状态的检测。首先，图3a表示利用xy工作台12使搭载头11移动从而使基板辨识摄像机13位于辨识对象的基准位置柱15的上方的状态。作为基准点的基准位置柱15的位置被固定于安装有部件搭载装置m3的架台4。在使搭载头11移动时，以基准位置柱15的标准位置数据所表示的位置为目标进行移动。而且，利用基板辨识摄像机13对基准位置柱15进行拍摄，由此获取图3b所示的辨识图像。

即，在基板辨识摄像机13的辨识画面13a中出现了如下状态，表示基准位置柱15的上表面的图像从辨识画面13a的光学坐标原点位置偏离了与y轴梁9、x轴梁10、搭载头11的热变形的状态对应的位置偏离矢量p(x方向分量px、y方向分量py)。即，在无热变形的状态下，即y轴梁9、x轴梁10和搭载头11在冷却状态下，显示在辨识画面13a中的基准位置柱15的图像与光学坐标系的原点一致，温度上升热变形越大，则表示基准位置柱15的位置偏离状态的位置偏离矢量p越大。位置偏离矢量p相对地表示通过基准位置柱的图像来确定的基准位置柱的位置。

如图3c所示，通过以包围基板6的方式配置的四个基准位置柱15(1)～15(4)来执行以基准位置柱15为对象的位置偏离检测。由此，求出分别与四个基准位置柱15(1)～15(4)对应的位置偏离矢量p。这些位置偏离矢量p的组合是通过矢量分量来表示该部件搭载装置的状态的数值数据。而且，在由后述的修正值变更部28来变更修正值时，参照这样输出的数值数据。

而且，在y轴梁9、x轴梁10a、10b的上表面且位于各自的长度方向的大致中央，分别装配有作为温度测量部的温度传感器t1、t2、t3。温度传感器t1、t2、t3测量y轴梁9、x轴梁10a、10b的温度，并输出表示由部件搭载装置m3的持续运转所带来的升温状态的数值数据。另外，不需要将温度传感器t1、t2、t3的全部设为测量对象，只要将这些之中的至少一个作为代表点的温度来测量即可。即，在此处所示的例子中，设定了将至少一个代表点的温度作为表示部件搭载装置m3的状态的数值数据来使用。另外，部件搭载装置m4、m5也与部件搭载装置m3同样具备计算使用了基准位置柱、温度传感器的数值数据，即表示部件搭载装置m4、m5的状态的数值数据的功能。

利用作为检查部的检查装置m6来检查通过部件搭载装置m3、m4、m5搭载了部件的基板6。在此，拍摄搭载有部件的基板6，从而对搭载于该基板6的部件的搭载位置进行检查。即，如图4a所示，搭载有部件16的基板6被搬入至设置在检查装置m6的基板搬运部17。在基板搬运部17的上方配设有利用摄像机移动机构19而能够在水平方向上移动的检查用摄像机18。使检查用摄像机18向检查对象的部件16的上方移动，并由检查处理部(省略图示)对拍摄的图像进行辨识处理，由此取得图4b所示的搭载位置偏离量δxn、δyn。

搭载位置偏离量δxn、δyn表示在设计数据中应与部件16的中心点16c一致的部件搭载位置6a和实际上搭载至基板6的部件16的中心点16c的位置偏离状态。另外，此处为了方便说明，仅图示出一个检查对象的部件16，但是在实际的部件安装作业中，在一个基板6存在由部件搭载装置m3、m4、m5依次安装的多个部件16，求出关于各个部件16的搭载位置偏离量δxn、δyn。

这样求出的搭载位置偏离量δxn、δyn是通过作为检查部的检查装置m6获取的检查结果。在安装基板制造系统1中，使用这样获取的检查结果来计算用于修正前述的目标位置的修正值，并利用修正值计算部25(图5)的功能来进行更新修正值的处理，其中，该修正值用于在获取了新的检查结果的情况下使用新的检查结果来修正目标位置。即，利用检查装置m6将多个基板依次作为对象而获取的检查结果经由通信网络2依次反馈给部件搭载装置m3、m4、m5。

在部件搭载装置m3、m4、m5中，利用目标位置计算部26(图5)的功能来进行使用修正值计算目标位置的处理，其中，修正值是使用依次取得的这些检查结果来计算的。另外，作为修正值的计算方法，能够适当选择将检查结果即搭载位置偏离量δxn、δyn乘以规定比例而得到的值作为修正值的方式等各种计算方式。

在本实施方式所示的安装基板制造系统1中，在使用这些检查结果来计算用于修正目标位置的修正值时，如下所述，参照表示部件搭载装置m3、m4、m5中的xy工作台12的热变形的经时变化的状态的数值数据。

在此，对部件搭载装置m3中的状态的经时变化进行说明。在部件搭载作业中，以高频率执行使搭载头11在部件供给部7和基板6之间反复移动的安装循环，因此y轴梁9、x轴梁10由于来自线性马达的发热而温度上升，从而会产生升温部分热膨胀所带来的热变形。

由于该热变形，在运转开始前的冷却状态下维持了本来的直线形状的xy工作台12根据发热状况而变形为复杂的曲线形状。而且，该变形随着从运转开始的经过时间而变化，在经过一定时间后，热变形成为饱和状态，收敛为恒定形状。而且之后，由于运转停止，随着温度降低而热变形逐渐消除，在完全冷却后恢复为初始形状。

如果在产生了这样的热变形的状态下执行部件安装作业，则导致在由于xy工作台12的变形而搭载头11的水平方向的位置不稳定的情况下部件16被搭载至基板6的结果。即，在偏离了基板6中的本来的部件搭载位置的状态下，部件被搭载至基板6。而且，该位置偏离量在时间序列上不是恒定的，而是根据xy工作台12的热变形的状态的不同而不同。

为了抑制由这样的xy工作台12的热变形的状态的经时变化而引起的搭载位置偏离，在本实施方式所示的安装基板制造系统1中，通过如前述那样地依次反馈利用检查装置m6而获取的检查结果，来修正由上述的经时变化而引起的搭载位置偏离。然而，在这样地依次反馈检查结果的方式中，由于用于修正搭载位置偏离的修正值总是与该时间点的状态对应的值，所以在部件搭载装置m3中停止了运转后重新开始运转的情况下，会产生如下所述那样的不良情况。

即，在部件搭载装置m3中，在停止了运转后，xy工作台12的热变形的程度随着运转停止后的经过时间而降低，部件搭载装置m3的状态变化。因此，在重新开始运转的情况下，如果直接应用即将停止运转之前所使用的修正值，则在重新开始运转后的部件搭载动作中，不能适当地修正搭载位置偏离，从而会导致搭载位置精度的降低。

为了消除这样的不良情况，在本实施方式所示的安装基板制造系统1中，选择性地执行如以下所示的处理，使得可适当且合理地进行运转重新开始时的修正值的处理。即，在部件搭载装置m3停止了运转后重新开始运转来进行部件搭载的情况下，不是无条件地直接使用在即将停止运转之前所使用的最新修正值，而是根据预先登记的“与重新开始运转时的修正值相关的设定”来进行修正值的计算以及变更。

该设定是预先规定在停止了运转后重新开始运转的情况下的修正值的变更方式的设定，通过图7所示的设定画面来输入，并存储至设定信息存储部23(参照图5)。如图7所示，在部件搭载装置m3具备的触摸面板31的显示画面31a，显示“与重新开始运转时的修正值相关的设定”23a的设定画面。“与重新开始运转时的修正值相关的设定”23a包括“重新开始运转时的处理设定”46以及“修正值的计算”47这两个项目。而且，通过对登记操作按钮48进行操作，从而输入的内容被登记并存储至设定信息存储部23。

在“重新开始运转时的处理设定”46中，通过向两个选项式的复选框46a、46b的打勾输入，从而能够预先选择“总是计算最佳修正值”(设定(1))或者“根据需要计算最佳修正值”(设定(2))的任意设定。在选择了设定(1)的“总是计算最佳修正值”的情况下，利用修正值变更部28(参照图5)的处理功能，执行将在即将停止运转之前所使用的最新修正值变更为与最新修正值不同的修正值的处理。

此外，在选择了设定(2)的“根据需要计算最佳修正值”的情况下，首先，利用最新修正值使用判断部27(参照图5)的处理功能，执行判断可否使用在即将停止运转之前所使用的最新修正值的处理。在此，在最新修正值使用判断部27判断不可使用之前刚刚使用的最新修正值的情况下，利用修正值变更部28(参照图5)的处理功能，执行将最新修正值变更为与最新修正值不同的修正值的处理。即，在设定(2)中，只有在判断不可使用最新修正值而需要变更修正值的情况下，才执行计算最佳修正值的处理。

进而，在“重新开始运转时的处理设定”46中，通过向复选框46c的打勾输入，从而能够选择是否执行“需要变更修正值时通知操作人员”的通知处理。通过对该通知处理的执行进行选择，从而在判断为不可使用最新修正值而需要变更修正值的情况下，对部件搭载装置m3的操作人员(操作者)进行请求变更修正值的通知。利用修正值变更要求部29(参照图5)的处理功能来进行该处理。

在“修正值的计算”47中，通过向两个选项式的复选框47a、47b的打勾输入，在计算由修正值变更部28进行的修正值的变更中的修正值时，能够预先选择应用“基于过去修正值来计算”或者“使用数据表来计算”的任一个。如果选择“基于过去修正值来计算”，则在修正值的变更中参照在设置在信息处理装置3的控制部40的过去修正值存储部43(参照图6)中存储的过去修正值。即，修正值变更部28将最新修正值变更为存储于过去修正值存储部43的一个过去修正值或基于至少一个过去修正值而求出的修正值。

在基于该过去修正值的计算中，在重新开始运转时，将通过状态检测部21而获取的当前的数值数据和存储于设备状态存储部22的过去的数值数据进行比较，从而选择在获得与当前的数值数据相同或者类似的数值数据的时期所使用的至少一个过去修正值。而且，将最新修正值变更为选择出的至少一个过去修正值中的一个过去修正值、或者基于选择出的至少一个过去修正值而求出的修正值。与当前的数值数据类似是指落在根据当前的数值数据求出的数值范围内。可设为根据预先确定的规则来计算该数值范围。例如，可根据相对于当前的数值数据的百分率来确定数值范围的上限和下限。

即，在本实施方式中，如果表示装置状态的数值数据是相同或者类似的状态，则判断部件搭载装置m3中的搭载位置的位置偏离也是表示同样倾向的状态。因此，从存储于过去修正值存储部43的过去修正值中检索符合数值数据相同或者类似这样的条件的修正值，从而选择一个相当的修正值并设为变更后的修正值。另外，在很难从过去修正值中仅确定一个相当的修正值的情况下，扩大类似的条件从而使用被选择出的多个修正值来求出变更后的修正值。在这种情况下，进行以被选择出的多个修正值为对象来计算平均值的运算处理等。另外，即使在能仅确定一个相当的修正值的情况下，也可以基于被确定的修正值来求出变更后的修正值。例如，可以进行将被确定的修正值乘以规定的系数的运算处理。

或者，如果选择“使用数据表来计算”，则在修正值的变更中参照定义了部件搭载装置m3的停止时间和修正值的相关关系的数据表。停止时间是指从部件搭载装置m3的运转的停止起到运转的重新开始为止的时间。

在此，如果部件搭载装置m3的停止时间相同，则判断部件搭载装置m3中的搭载位置的位置偏离也是表示同样的倾向的状态。因此，对于通过测量而取得的停止时间，通过参照上述数据表，能够推测测量出该停止时间的时间点的适当的修正值。即，在本实施方式中，如图5所示，控制部20具备对部件搭载装置m3的停止时间进行测量的停止时间测量部34，同时还具备前述数据表35。而且，修正值变更部28将最新修正值变更为基于由停止时间测量部34测量出的停止时间和数据表35中定义的相关关系而求出的修正值。

为了能够进行像上述那样的重新开始运转时的修正值的处理，在本实施方式中，使构成安装基板制造系统1的部件搭载装置m3以及信息处理装置3的控制系统分别如图5、图6所示那样地构成。首先，参照图5，对部件搭载装置m3的控制系统的结构进行说明。在此，在部件搭载装置m3的控制功能中，主要记载了与修正值的计算以及更新相关的功能。

搭载头11、xy工作台12、基板辨识摄像机13、部件辨识摄像机14、部件供给部7、基板搬运部5和触摸面板31与内置于部件搭载装置m3的控制部20(参照图5)连接。控制部20对基板搬运部5进行控制，由此执行部件搭载装置m3中的搬运基板6的动作。控制部20控制部件供给部7，由此进行由带式供给器8向搭载头11的部件供给。而且，控制部20控制搭载头11、xy工作台12，由此执行向被基板搬运部5定位并保持的基板6的部件搭载。触摸面板31是操作输入以及显示单元，显示用于向控制部20的操作输入的输入画面以及各种设定画面。

控制部20具备作为内部功能要素的状态检测部21、设备状态存储部22、设定信息存储部23、图像辨识部24、修正值计算部25、目标位置计算部26、最新修正值使用判断部27、修正值变更部28和修正值变更要求部29。进而，控制部20经由通信接口30与通信网络2连接。由此，在与构成安装基板制造系统1的其他装置之间进行信号、数据的交换的同时能够向信息处理装置3上传数据以及从信息处理装置3下载数据。

状态检测部21对作为部件搭载部的部件搭载装置m3的状态进行检测，并将表示该状态的数值数据输出。输出的多个数值数据被存储至设备状态存储部22。修正值变更部28将在重新开始运转时由状态检测部21获取的当前的数值数据和存储于设备状态存储部22的过去的数值数据进行比较，选择在获得与当前的数值数据相同或者类似的数值数据的时期所使用的至少一个过去修正值。而且，将最新修正值变更为选择出的至少一个过去修正值中的一个过去修正值、或者基于选择出的至少一个过去修正值而求出的修正值。

另外，在此，虽然示出了将过去的数值数据存储至设置在部件搭载装置m3的设备状态存储部22的例子，但是也可设为将过去的数值数据存储至设置在信息处理装置3的控制部40的设备状态存储部44。

在此，作为状态检测部21的结构，能够选择对前述的基准位置柱15进行拍摄并辨识的第一结构和对设置在部件搭载装置m3的代表点的温度进行测量的第二结构。在状态检测部21的第一结构中包括：基板辨识摄像机13，利用xy工作台12进行移动；基准位置柱15，作为固定于架台4的至少一个基准点；和图像辨识部24，将根据由基板辨识摄像机13拍摄的基准位置柱15的图像确定的、部件搭载装置m3中的基准位置柱15的位置作为表示部件搭载装置m3的状态的数值数据而输出。

此外，在状态检测部21的第二结构中包括温度测量部(温度传感器t1、t2、t3(参照图2))，该温度测量部对部件搭载装置m3的至少一个代表点的温度进行测量，从而将该温度作为表示部件搭载装置m3的状态的数值数据而输出。

另外，取代通过状态检测部21检测部件搭载装置m3的状态，可以使用具备如下部件的结构，即，具备：停止时间测量部34，通过控制部20的计时功能对部件搭载装置m3的停止时间进行测量；和数据表35，定义了该停止时间和修正值的相关关系。数据表35被存储至控制部20或控制部40。

在这种情况下，修正值变更部28将最新修正值变更为基于由停止时间测量部34测量出的从部件搭载装置m3的运转停止起到重新开始为止所需要的时间和数据表35中定义的相关关系而求出的修正值。另外，在变更修正值时，如前述那样基于过去修正值来计算还是使用数据表35来计算的选择，被规定在预先登记的“与重新开始运转时的修正值相关的设定”(参照图7)中。

设定信息存储部23存储图7所示的前述的“与重新开始运转时的修正值相关的设定”23a。图像辨识部24对基于基板辨识摄像机13、部件辨识摄像机14的拍摄结果进行辨识处理。由此，进行辨识基板6的位置的基板辨识和辨识被搭载头11保持的部件的位置的部件辨识。还对由基板辨识摄像机13进行的基准位置柱15的拍摄结果进行辨识处理，由此输出表示基于热变形的状态的数值数据。

修正值计算部25使用由检查装置m6获得的检查结果来计算用于修正目标位置的修正值，在获取了新的检查结果的情况下，使用新的检查结果并进行更新修正值的处理。目标位置计算部26使用通过修正值计算部25来算出并被更新的修正值来计算目标位置。最新修正值使用判断部27在部件搭载装置m3停止了运转后重新开始运转来进行部件搭载的情况下，判断可否使用即将停止运转之前所使用的最新修正值。

基于设备的运转停止时间或者表示由状态检测部21输出的装置状态的数值数据来进行该使用可否的判断。即，在基于设备的运转停止时间的情况下，在部件搭载装置m3停止运转到重新开始为止所需要的时间比预先设定的时间长的情况下，最新修正值使用判断部27判断为不可使用该最新修正值。此外，在基于表示装置状态的数值数据的情况下，最新修正值使用判断部27将在部件搭载装置m3停止运转前状态检测部21输出的数值数据和在重新开始运转时状态检测部21输出的数值数据进行比较，在比较的结果为差比预先设定的阈值大的情况下，判断为不可使用。

在部件搭载装置m3停止了运转后重新开始运转来进行部件搭载的情况下，修正值变更部28根据预先登记的“与重新开始运转时的修正值相关的设定”23a(参照图7)的设定，执行将在即将停止运转之前所使用的最新修正值变更为与最新修正值不同的修正值的处理。即，在设定为总是计算最佳修正值的情况下，修正值变更部28无条件地将最新修正值变更为与最新修正值不同的最佳修正值。此外，在设定为根据需要来计算修正值的情况下，只有在最新修正值使用判断部27判断为不可使用最新修正值的情况下，修正值变更部28才将最新修正值变更为与最新修正值不同的最佳修正值。

在最新修正值使用判断部27判断为不可使用最新修正值的情况下，修正值变更要求部29进行向部件搭载装置m3的操作者请求变更修正值的处理。将通知作为操作者的操作人员需要变更修正值的信息显示在例如触摸面板31上，由此进行该处理。只有在存储于设定信息存储部23的“与重新开始运转时的修正值有关的设定”23a(参照图7)的“重新开始运转时的处理设定”46中选择了执行通知处理的情况下，才进行该通知。

通过进行该通知，从而能够使负责该装置的操作人员了解如下状况，即判断为需要在该装置中变更修正值并自动地进行修正值的变更。由此，在操作人员判断为对该修正值的变更不适当且输入了该意思的答复的情况下，保留变更修正值的处理，从而能够避免自动地设定不适当的修正值的情况。

接下来，参照图6，对信息处理装置3的结构进行说明。在图6中，监视器32、输入装置33与信息处理装置3的控制部40连接。控制部40作为内部处理功能具备通信处理部41、检查结果存储部42、过去修正值存储部43和设备状态存储部44。进而，控制部40经由通信接口45与通信网络2连接。

监视器32是显示装置，显示基于输入装置33的输入操作时的操作画面、表示存储于控制部40的各部分的数据的数据画面等。通信处理部41与构成安装基板制造系统1的各装置经由通信网络2来进行数据通信处理。由此，进行来自构成安装基板制造系统1的各装置的数据的上传以及向各装置下载存储于信息处理装置3的数据。

检查结果存储部42存储基于检查装置m6的检查结果。过去修正值存储部43存储部件搭载装置m3中过去所使用的多个修正值。与图5所示的设备状态存储部22同样，设备状态存储部44存储部件搭载装置m3中从状态检测部21输出的过去的数值数据。

该安装基板制造系统1如上述那样地构成，以下对由安装基板制造系统1执行的安装基板制造方法进行说明。首先，关于通过构成安装基板制造系统1的部件搭载装置m3来执行部件搭载动作，按照图8的流程进行说明。在此，表示在部件搭载装置m3中连续地执行基板搭载的通常运转状态下的部件搭载动作。该部件搭载动作相当于在安装基板制造方法中通过前述结构的作为部件搭载部的部件搭载装置m3将部件搭载至基板的部件搭载工序。

在该安装基板制造方法中，通过检查装置m6按每个基板执行对在部件搭载工序中搭载了部件的基板进行拍摄来对搭载于基板的部件的搭载位置进行检查的检查工序，获取的检查结果依次存储至信息处理装置3的检查结果存储部42。

首先，在开始部件搭载动作时，进行基板搬入结束的确认(st1)。在此，待机到能够确认基板搬入为止，如果确认了搬入结束，则判断是否需要装置状态检测(st2)。在此，判断搬入该基板的时刻是否相当于应该执行装置状态检测的时刻。即，判断是否与预先设定的装置状态检测的间隔的时刻相当，或者判断该基板是否与应该执行装置状态检测的第规定张数的基板相当。

在此，在相当的情况下，进入下一步骤来执行装置状态的检测(st3)。在此，通过状态检测部21输出表示装置状态的数值数据，输出的数值数据存储至设备状态存储部22。此外，在装置状态的检测之后和在跳过装置状态的检测的情况下，进行检查结果的取得(st4)。在此，经由通信网络2取得存储于信息处理装置3的检查结果存储部42的检查结果中、最新的未取得的检查结果。在此，在无最新的未取得的检查结果的情况下，跳过检查结果的取得。

接下来，使用取得的检查结果来计算用于修正目标位置的修正值(st5)。在没能在(st4)中取得检查结果的情况下，直接使用上次计算出的修正值。即，在此，使用在之前执行的检查工序中获取的检查结果来计算用于修正目标位置的修正值，在获取了新的检查结果的情况下，使用新的检查结果来更新修正值(修正值计算工序)。另外，在此，虽然记载了在基板搬入后进行到(st5)为止的一连串的处理的流程，但是也可以在基板的搬入前执行到(st5)为止的处理。

接下来，进行基板辨识(st6)。即，通过基板辨识摄像机13来拍摄基板6，利用图像辨识部24对拍摄结果进行辨识处理，由此辨识基板6的位置。接下来，进行部件保持(st7)，利用搭载头11从部件供给部7取出部件。接下来，进行部件辨识(st8)。即，使取出了部件的搭载头11移动至部件辨识摄像机14的上方，拍摄部件，并利用图像辨识部24对拍摄结果进行辨识处理从而辨识部件的位置。

接下来，进行目标坐标的计算(st9)。在此，计算成为保持了部件的搭载头11为了搭载部件而进行移动的移动目标的xy工作台坐标系的位置坐标。在该计算中，考虑由基板的设计数据给出的搭载位置坐标、部件辨识结果以及基板辨识结果、以及在(st5)中求出的修正值来计算目标坐标。此时，在多连型搭载头11中的多个吸附嘴11a处保持有部件的情况下，计算这些多个部件的各自的目标坐标。即，在此，使用在(st5)中通过计算获取的修正值，来计算搭载头11为了搭载部件而进行移动的目标位置(目标位置计算工序)。

接下来，进行部件搭载(st10)。即，将移动至上述目标位置的搭载头11s保持的部件搭载至基板6的部件搭载位置。接下来，确认作业对象部件是否已全部搭载(st11)，在存在未搭载部件的情况下，返回至(st7)并反复执行部件保持以后的各步骤。而且，若在(st11)中确认了已搭载全部部件，则进行基板搬出(st12)。接下来，执行修正值的上传(st13)。

在此，将在(st9)的目标坐标计算中使用的修正值与该日期时间的记录一起上传到信息处理装置3。另外，在(st3)中执行了装置状态检测的情况下，由状态检测部21输出的数值数据也一并上传到信息处理装置3。上传的修正值以及数值数据分别存储至信息处理装置3的过去修正值存储部43、设备状态存储部44。

接下来，在由安装基板制造系统1执行的安装基板制造方法中，关于在部件搭载装置m3停止了运转后重新开始运转来再次执行部件搭载工序的情况的重新开始运转时的处理，按照图9的流程进行说明。首先，在重新开始运转时，进行基板搬入结束的确认(st21)。在此，待机到能够确认基板搬入为止，如果确认了搬入结束，则确认重新开始运转时的修正值设定(st22)。即，确认关于计算目标位置所使用的修正值的计算准则的设定内容。

在此，参照存储于控制部20的设定信息存储部23的“与重新开始运转时的修正值相关的设定”23a(参照图7)，确认该运转时的设定为“总是计算最佳修正值”(设定(1))或者“根据需要计算最佳修正值”(设定(2))的哪一设定。在此，在设定内容为“总是计算最佳修正值”(设定(1))情况下，直接进入用于变更为最佳修正值的修正值变更处理(st27)。在此，在部件搭载工序中部件搭载装置m3停止了运转后重新开始运转来再次执行部件搭载工序的情况下，利用修正值变更部28的处理功能，执行将在即将停止运转之前所使用的最新修正值变更为与最新修正值不同的修正值的修正值变更处理(修正值变更工序)。

在本实施方式中，被构成为在信息处理装置3的过去修正值存储部43预先存储多个过去修正值。而且，在上述修正值变更工序中，将在即将停止运转之前所使用的最新修正值变更为存储于过去修正值存储部43的过去修正值、或者基于至少一个过去修正值而求出的修正值。在基于该过去修正值的修正值变更中，参照表示装置状态的数值数据。

即，在本实施方式中，在图8中说明的部件搭载工序中，通过状态检测部21来执行检测作为部件搭载部的部件搭载装置m3的状态的状态检测工序，并将表示状态的数值数据输出，将输出的过去的多个数值数据存储至设备状态存储部22(或信息处理装置3的设备状态存储部44)。另外，在此，虽然记载了在基板搬入后进行到(st27)为止的一连串的处理的流程，但是也可以在基板搬入前执行到(st27)为止的处理。

在(st27)的修正值变更处理中，将在重新开始运转时状态检测工序中获取的当前的数值数据和存储的过去的数值数据进行比较，选择在获得与当前的数值数据相同或者类似的数值数据的时期所使用的至少一个过去修正值。而且，将成为变更对象的最新修正值变更为选择出的至少一个过去修正值中的一个过去修正值、或者基于选择出的至少一个过去修正值而求出的修正值。

作为由状态检测部21执行状态检测工序的方式，选择对前述的基准位置柱15进行拍摄并辨识的第一结构、和对设置在部件搭载装置m3的代表点的温度进行测量的第二结构来执行。在状态检测工序的第一结构中，执行图像辨识工序，即，通过利用xy工作台12进行移动的基板辨识摄像机13来拍摄作为固定于安装有部件搭载装置m3的架台4的至少一个基准点的基准位置柱15，从而将根据由基板辨识摄像机13拍摄的基准位置柱15的图像而确定的部件搭载装置m3中的基准位置柱15的位置，作为表示部件搭载装置m3的状态的数值数据而输出。此外，在状态检测工序的第二结构中，测量部件搭载装置m3的至少一个代表点的温度(参照图2所示的温度传感器t1、t2、t3)，并将该温度作为表示部件搭载装置m3的状态的数值数据而输出。

另外，取代执行通过状态检测部21检测部件搭载装置m3的状态的状态检测工序，可以执行利用控制部20的计时功能来测量部件搭载装置m3的停止时间的停止时间测量工序。在这种情况下，在(st27)的修正值变更工序中，将成为变更对象的最新修正值变更为基于在停止时间测量工序中测量出的部件搭载装置m3从运转停止起到重新开始为止所需要的时间、和定义了停止时间与修正值的相关关系的数据表35中定义的相关关系而求出的修正值。在此，使用的数据表35被存储至控制部20或控制部40。

相对于此，在设定内容是“根据需要计算最佳修正值”(设定(2))情况下，在修正值变更处理前执行用于判断是否需要变更修正值的一连串的处理。在此，首先，在部件搭载工序中，在停止了运转后重新开始运转来再次执行部件搭载工序的情况下，判断可否使用在即将停止运转之前所使用的最新修正值(最新修正值使用判断工序)。

为了该判断，在此进行装置状态检测(st23)。即，通过状态检测部21来执行检测部件搭载装置m3的状态的装置状态检测工序，并输出表示装置的状态的数值数据。而且，在前述的最新修正值使用判断工序中，将在部件搭载装置m3停止运转前执行的装置状态检测工序(参照图8所示的(st2))中输出的数值数据，与在重新开始运转时执行的装置状态检测工序(st23)中输出的数值数据进行比较。

而且，在比较的结果为差比预先设定的阈值大的情况下，判断为装置的状态变动而应用同一修正值是不适当的，从而不可使用最新修正值。关于上述状态检测部21的状态检测工序的执行方式，与前述例子同样地选择对基准位置柱15进行拍摄并辨识的第一结构、和对设置在部件搭载装置m3的代表点的温度进行测量的第二结构来执行。

另外，取代执行由状态检测部21来检测部件搭载装置m3的状态的状态检测工序，可以执行利用控制部20的计时功能来测量部件搭载装置m3的停止时间的停止时间测量工序。即，在最新修正值使用判断工序中，在部件搭载装置m3停止运转到重新开始为止所需要的时间比预先设定的时间长的情况下，推测装置状态的变动大，以同样的理由判断为不可使用最新修正值。

这样，如果基于(st23)的装置状态检测的结果或者停止时间测量的结果而判断了可否使用最新修正值，则基于这些结果来判断是否需要变更修正值(st24)。即，在判断为能够直接使用即将停止运转之前所使用的最新修正值的情况下，不需要变更修正值，在这种情况下进入(st28)。

相对于此，在判断为不可使用最新修正值的情况下，判断为需要变更修正值。而且，在这种情况下，判断是否需要通知操作人员。在此，参照存储于设定信息存储部23的“与重新开始运转时的修正值相关的设定”23a(参照图7)，由此确认在“重新开始运转时的处理设定”46中是否选择了执行“在需要变更修正值的情况下通知给操作人员”的通知处理。在此，在没有选择执行该通知处理的情况下，判断为不需要通知操作人员，从而进入(st27)。

而且，在选择了执行该通知处理的情况下，判断需要通知操作人员，成为通知操作人员以及输入待机的状态(st26)，即，在最新修正值使用判断部27判断为不可使用最新修正值的情况下，利用修正值变更要求部29(参照图5)的功能，向部件搭载装置m3的操作人员(操作者)请求变更修正值。而且，如果从操作人员输入了允许变更修正值的意思的回答，则进入(st27)，执行修正值变更处理。

在此，执行的修正值变更处理与设定(1)的情况所执行的处理同样。即，在上述处理步骤中，设定(2)的情况所执行的处理方式如下：在部件搭载工序中停止了运转后重新开始运转来再次执行部件搭载工序的情况下，执行判断可否使用在即将停止运转之前所使用的最新修正值的最新修正值使用判断工序，在此，在判断为不可使用的情况下，包括将最新修正值变更为与最新修正值不同的修正值的修正值变更工序。

这样，如果在(st27)中进行了修正值变更处理，则依次执行基板辨识(st28)、部件保持(st29)、部件辨识(st30)、目标坐标计算(st31)、部件搭载(st32)、确认作业对象部件是否已全部搭载(st33)、基板搬出(st34)以及修正值上传(st35)的各步骤。上述(st28)～(st35)的各处理步骤与图8中(st6)～(st13)所示的各处理步骤同样。

如上所述，在本实施方式所示的安装基板制造系统以及安装基板制造方法中，拍摄由部件搭载部搭载了部件的基板来检查部件的搭载位置，使用检查结果来计算用于修正搭载的目标位置的修正值，在获取了新的检查结果的情况下使用新的检查结果来更新修正值，在使用修正值来计算所述目标位置的结构中，在部件搭载部停止了运转后重新开始运转来进行基于部件搭载部的部件搭载的情况下，将在即将停止运转之前所使用的最新修正值变更为与基于检测了装置状态的结果而计算出的最新修正值不同的修正值。由此，能够避免直接使用与由于运转停止而变动的装置状态不适合的修正值的情况，从而能够抑制在停止了连续生产后的重新开始运转时的搭载位置精度的降低。

此外，在同样的结构中，在部件搭载部停止了运转后重新开始运转来进行基于部件搭载部的部件搭载的情况下，判断可否使用在即将停止运转之前所使用的最新修正值，在判断不可使用最新修正值的情况下，将最新修正值变更为与基于检测了装置状态的结果而计算出的最新修正值不同的修正值。由此，除上述效果以外，能够将对修正值进行变更的处理仅限定于需要变更的情况，从而能够使适当管理修正值的数据管理效率化。

另外，本公开所涉及的安装基板制造系统1的一部分能够通过集成电路等来实现。安装基板制造系统1的一部分例如可以由微型计算机、cpu等构成。即，安装基板制造系统1的一部分的功能可通过组合硬件和软件来实现。在此，软件例如是存储于安装基板制造系统1的存储器的程序。此外，安装基板制造系统1的各存储部能够通过例如硬盘驱动器(hdd)、固态驱动器(ssd)等来实现。

本公开的安装基板制造系统以及安装基板制造方法具有能够抑制在停止了连续生产后的重新开始运转时的搭载位置精度的降低这样的效果，在制造在基板安装有部件的安装基板的领域是有用的。