1.一种精细线路的双面板制作方法,其特征在于,工艺制作流程如下:
步骤a:基材下料,基材为pi材料,基材的厚度≥20μm;
步骤b:镭射钻孔,将基材进行镭射钻孔,最小孔径≥25μm;
步骤c:等离子处理,等离子处理基材孔内残胶和清洁基材表面;
步骤d:真空溅镀,在基材的表面和孔内真空溅镀上一层导电介质层;
步骤e:第一次镀铜,在基材的表面及孔内的导电介质层上镀上一层第一镀铜层,使基材的表面及孔内具备超薄的基底铜;
步骤f:第二次镀铜,在第一镀铜层的基础上进行加厚镀铜得到第二镀铜层,第二镀铜层的厚度依产品孔铜及细线路制作厚度要求,使基材的表面及孔内具备产品所需的孔铜及细线路所需的面铜;
步骤g:微蚀处理,在铜表面进行微蚀处理,微蚀粗化和清洁铜表面;
步骤h:真空贴膜,在铜表面上真空压合干膜,干膜的厚度10-20μm;
步骤i:线路曝光,将线路图形曝光转移到干膜上,采用ldi曝光机曝光或平行曝光机和玻璃菲林曝光;
步骤j:干膜显影,将干膜图形显影出,显影点为50-70%;
步骤k:蚀刻脱膜,真空蚀刻去除无干膜覆盖处的第一镀铜层和第二镀铜层,然后脱膜去除干膜层,显现出线路初步图形;
步骤l:闪蚀,闪蚀蚀刻去除非线路区域,将线路图形完全蚀刻出。
2.如权利要求1所述的一种精细线路的双面板制作方法,其特征在于:步骤b镭射钻孔中,最小孔径为50、75或100μm。
3.如权利要求1所述的一种精细线路的双面板制作方法,其特征在于:步骤d真空溅镀中,导电介质层为镍、铬、铜、钛、铝、钯或镉。
4.如权利要求1所述的一种精细线路的双面板制作方法,其特征在于:步骤d真空溅镀)中,导电介质层厚度为100-300nm。
5.如权利要求1所述的一种精细线路的双面板制作方法,其特征在于:步骤e第一次镀铜中,第一镀铜层的厚度为2-4μm。
6.如权利要求1所述的一种精细线路的双面板制作方法,其特征在于:步骤f第二次镀铜中,第二次镀铜层的厚度为6-8μm,两次镀铜总体面铜厚度为8-12μm。
7.如权利要求1所述的一种精细线路的双面板制作方法,其特征在于:步骤f第二次镀铜中,二次镀铜总体面铜厚度为9μm或12μm。
8.如权利要求1所述的一种精细线路的双面板制作方法,其特征在于:步骤h真空贴膜中,干膜的厚度为15μm,干膜解析度≤30μm。
9.如权利要求1所述的一种精细线路的双面板制作方法,其特征在于:步骤l闪蚀中,采用的闪蚀药水包含有蚀刻抑制剂,蚀刻抑制剂吸附在线路的顶面及侧面,线距处没有吸附或少量吸附蚀刻抑制剂,在闪蚀过程中,线距的导电介质层被快速蚀刻去除,线路的顶面及侧面因有蚀刻抑制剂保护被微量均匀蚀刻,得到所需的精细线路。
10.如权利要求1所述的一种精细线路的双面板制作方法,其特征在于:还包括设置在步骤j之后且位于步骤k之前的步骤m烘干和步骤n等离子处理,步骤m:烘干,烘干板子上水分,烘干温度80-120℃,烘干时间15-45min;步骤n:等离子处理,等离子处理去除线距处的干膜根部边缘残胶。